宁波大型网带炉

一、热工系统1.额定温度800℃2.较高温度850℃3.加热元件陶瓷外丝加热管4.加热功率18kw5.空炉保温功率约9kw6.温区个数1个7.控温点数2点8.热偶K分度9.控温稳定度±1℃(恒温平台)10.炉膛温度均匀度±6℃（恒温800℃,1h）二、冷却系统1.冷却结构无2.产品降温随炉降温3.安全保护4.报警指示超温、断偶、停水、停气等声光报警保护5.设备安全升温速率≤5℃/min，在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。网带炉的发展前景如何？宁波大型网带炉

光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。宁波大型网带炉网带炉的基本结构级应用！

1.使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2.绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；3.加热元件：石墨加热棒；4.冷却方式：气冷+循环风冷降温；5.控温稳定度：2℃，具有PID参数自整定功能；6.炉膛温度均匀度：5℃（恒温1500℃）；7.气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；8.极限真空:10-3torr级；9.抽气速率：空载下，30min达到10-2torr10.升温功率：170kW；11.升温速率：15℃/min（空载）；12.降温速率：1450℃至80℃,240分钟13.腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）

下面为大家介绍一下全自动HMDS真空烤箱的技术指标。1.HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。2.低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）3.温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）4.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）为什么大家都选择合肥真萍科技的网带炉，原因真萍告诉您。

无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。下面为大家介绍一下真萍科技无氧干燥箱。一、技术指标与基本配置：1.使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；2.炉膛腔数:2个,上下布置；3.炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度4.温度和氧含量记录:无纸记录仪；二、氧含量（配氧分析仪）：1.高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.控温稳定度：1℃；2.3温度均匀度：2%℃（260℃平台）；真萍科技为您提供定制各种尺寸网带炉。温州固化网带炉

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精密鼓风烘箱适用于电子元器件、橡胶、塑料、装饰材料等行业对温度均匀性要求比较严格的实验。下面为大家介绍一下真萍科技精密鼓风烤箱的箱体结构。1.门与门框之间采用高性能密封材料及独特的橡胶密封结构，密封、耐高温性、抗老化性好。2.箱内风道采用双循环系统，不锈钢多翼式离心风轮及循环风道组成，置于箱体背部的电加热器热量通过侧面风道向前排出，经过干燥物后再被背部的离心风轮吸入，形成合理的风道，能使热空气充分对流，使箱内温度相当大限度达到均匀。提高了空气流量加热的能力，大幅改善了干燥箱的温度均匀性。3.加热器用不锈钢电加热管，升温快，寿命长。宁波大型网带炉

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