这些基元容积的大小随着叶轮的转动而发生周期性的变化。在叶轮旋转的前半周,基元容积逐渐增大,此时与吸气口相通,外界气体在压差的作用下被吸入到基元容积内。随着叶轮继续转动,基元容积逐渐减小,气体被压缩,压...
控制系统需具备多重安全联锁功能:设置介质浓度监测联锁,当泵入口可燃气体浓度超过下限的 25% 时自动停机并通入氮气吹扫;设置温度联锁,泵体温升超过 45℃或轴承温度超过 75℃时触发报警,超过 55℃...
控制系统根据设定真空度值,通过调节泵转速、阀门开度等方式,精确控制气体抽出速率,维持系统真空度稳定在特定值。如在半导体制造设备中,需将真空度稳定维持在10^-9Pa,控制系统会根据测量装置反馈,实时调...
旋片机组的优势在于能获得中高真空(10⁻³Pa),且结构紧凑、成本较低。但其抽气性能受泵油状态影响明显——油蒸气会污染被抽气体,因此不适用于半导体制造等洁净要求高的场合;若处理含可凝性气体,易导致泵油...
工业生产中常见的腐蚀性气体可分为三大类,其特性直接决定了真空机组的选型方向:酸性腐蚀性气体,以氯气(Cl₂)、氟化氢(HF)、二氧化硫(SO₂)为,这类气体遇水会形成酸性溶液(如Cl₂+H₂O→HCl...
高精度测量需使用分子流计或皂膜流量计等设备,对氢气、氦气等轻气体还需考虑泵的抽气选择性——涡轮分子泵对氢气的抽速只为氮气的30%,测量时需针对性校准。测量条件的变化会明显影响抽气速率数值,主要影响因素...
螺杆真空泵的工作原理基于一对或多对精密加工的螺杆转子在泵壳内作同步高速反向旋转,通过螺杆齿槽间的容积变化实现气体的吸入、压缩和排出。在这一过程中,传动方式起到了至关重要的作用。它负责将电机的动力高效、...
螺杆真空泵的工作压力范围受到多种因素的影响,这些因素包括但不限于以下几个方面:螺杆真空泵的结构设计对其工作压力范围具有重要影响。合理的结构设计能够确保泵在正常工作条件下具有稳定的抽气性能和压力承受能力...
随着新型密封材料的不断涌现,螺杆真空泵的密封性能将得到进一步提升。例如,采用高性能聚合物材料、陶瓷材料或复合材料等制成的密封件,将具有更高的耐腐蚀性、耐磨性和耐高温性能。随着智能化技术的不断发展,螺杆...
干式真空泵行业涉及真空学、材料科学、机械科学等多学科知识的交叉融合,需要在技术路径与选择、研发制备等多方面集成相关技术,并在实践中不断检验磨合,形成自己独特生产工艺、技术特点,方能出产性能优越的干式真...
其重点技术在于耐大压差转子设计与强乳化密封系统,能处理含尘、含液及腐蚀性气体的复杂工况,抽速范围可达36~60升/秒。该系统整合了云计算监控功能,通过ELIVACSIMULATIONCENTER实现抽...
抽气效率问题:在含有大量水蒸汽的气体场合中,螺杆真空泵的抽气效率可能会受到一定的影响。为了提高抽气效率,可以采取以下措施:一是优化泵体的结构设计,提高螺杆间的间隙精度和配合度;二是采用变频调速技术来调...
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