低泄漏率密封面采用特殊处理（如刀口密封、软密封），泄漏率可低至1×10⁻⁹ Pa·m³/s，满足超高真空要求。耐腐蚀性接触介质的部...

定期维护内容密封件检查与更换检查：目视观察密封面有无裂纹、变形或磨损；使用氦质谱检漏仪检测泄漏率。更换：金属密封件磨损超过0.1m...

定期维护内容密封件检查与更换检查：目视观察密封面有无裂纹、变形或磨损；使用氦质谱检漏仪检测泄漏率。更换：金属密封件磨损超过0.1m...

更换：金属密封件磨损超过0.1mm或橡胶密封件硬化、压缩长久变形超过20%时需更换。注意：更换后需进行烘烤除气（如150℃×24h...

测试方法：真空侧法：将阀门安装在检漏腔体上，抽真空至1×10⁻⁵ Pa后喷氦气，观察检漏仪读数。大气侧法：对阀门大气侧充氦气至0....