国瑞热控半导体加热盘**散热系统,为设备快速降温与温度稳定提供有力支持。系统采用水冷与风冷复合散热方式,水冷通道围绕加热盘均匀分布,配合高转速散热风扇,可在 10 分钟内将加热盘温度从 500℃降至室...
针对晶圆清洗后的烘干环节,国瑞热控**加热盘以洁净高效的特性适配严苛需求。产品采用高纯不锈钢基材,表面经电解抛光与钝化处理,粗糙度 Ra 小于 0.2μm,减少水分子附着与杂质残留。加热面采用蜂窝状导...
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