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基质辅助外延系统工艺室在制备多元化金属/氧化物异质结时，系统的六靶位自动切换功能展现出巨大优势。例如，在研究磁阻或铁电隧道结时，研究人员可以预先装载金属靶（如钴、铁）、氧化物靶（如MgO、BaTiO3）等。在一次真空循环中，系统可依次沉积底电极金属、功能氧化物层和顶电极金属，形成一个完整的器件结构。整个过程在超高真空下完成，确保了各层界面原子级别的洁净度，避免了大气污染导致的界面氧化或退化，这对于研究界面的本征物理性质（如自旋注入、电子隧穿效应）至关重要。金属 / 氧化物外延生长实验，能依托此纯进口 PLD 系统高效完成。基质辅助外延系统工艺室 定期对系统的真空性能进行检测和维护是保证其长期稳定运行的基础。应定期...
发布时间：2025.12.10