在选择前级泵时也考虑了水环罗茨真空机组的**终压力要求。对极限真空的要求很高(高达1×10-3Pa~1×10-2Pa的压力)。通常使用双级旋转叶片油封。机械泵或两级机械泵用作前级泵。极端真空需要单级油封机械泵作为(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之间的前级泵。极端真空需要往水环罗茨真空机组或液环在133和1333pa之间。真空泵用作前级泵。当选用往复式或液环式粗真空泵作为水环罗茨真空机组的前级泵时,前级泵的抽速一般为水环罗茨真空机组的1/2-1/4,不能太大,否则将超过压缩比。很大,导致水环罗茨真空机组的排气温度很高,无法正常工作。选择前级泵时,还必须考虑水环罗茨真空机组泵送气体中是...
在选择前级泵时也考虑了水环罗茨真空机组的**终压力要求。对极限真空的要求很高(高达1×10-3Pa~1×10-2Pa的压力)。通常使用双级旋转叶片油封。机械泵或两级机械泵用作前级泵。极端真空需要单级油封机械泵作为(1×10-2Pa和1×10-1Pa)之间的前级泵。极端真空需要往水环罗茨真空机组或液环在133和1333pa之间。真空泵用作前级泵。当选用往复式或液环式粗真空泵作为水环罗茨真空机组的前级泵时,前级泵的抽速一般为水环罗茨真空机组的1/2-1/4,不能太大,否则将超过压缩比。很大,导致水环罗茨真空机组的排气温度很高,无法正常工作。选择前级泵时,还必须考虑水环罗茨真空机组泵送气体中是...