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有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室...
过滤和分离 1.超纯水的制备和除菌 用硅藻土或粘土熟料质制成的多孔陶瓷滤芯,已用于饮水、石油油井注水用水等的除菌和...
前驱体法优点是:产物尺寸均一,品质好。缺点是:前驱体的处理比较繁琐,无法进行连续生产。6、模板诱导-水热法模板诱导-水...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也...
(3)“钉扎”理论, 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应,从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生,晶界的增强导致纳米氧...