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本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。 背景技术: 在半导体加工设...
有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地,该机械手将半导体晶圆插入到处理室(process chamber),或者将半导体晶圆从处理室...
在电子制造行业,微孔陶瓷真空吸盘发挥着重要作用。随着电子产品日益小型化和精密化,对生产过程中的精度和稳定性要求极高。微孔陶瓷真空吸...
7、复合增韧复合增韧是指在ZrO2陶瓷实际增韧过程中同时采用几种增韧机理,从而提高ZrO2陶瓷增韧效果。在实际应用过程...
车床行业机械臂又名车床自动上下料机械手、上下料机械手,车床自动上下料机械手主要实现机床制造过程的完全自动化,并采用了集成加工技...