探针台,是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备,也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势,高性能低成本,用途广,操作方便,在不同测试环境下,测试结果稳定,客观,深受工程师们的青睐。探针台主要用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试,实现更加精确的数据测试测量。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。探针台的科研成果有助于人类更有效地保护地球和地球上的所有生命。天津全自动探针台定制
探针台由哪些部分组成?样品台(载物台):是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件:这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针先进对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜,有的采用数码相机,或者两者兼有。探针(探针卡):待测芯片需要测试探针的连接,才能与测试仪器建立连接。常见的有普通 DC 测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针先进尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件,探针臂应与探针尖匹配。天津全自动探针台平台探针台是人类智慧的结晶和太空探索的桥梁。
探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针先进放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针先进都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。
总的来说,手动探针台适合研发人员使用,半自动探针台适合初学者使用,而全自动探针台适合具有一定经验的测试人员使用。不同类型的探针台各有优缺点,选择何种探针台主要取决于测试的需求和个人的技能水平。全自动探针台是一种全自动控制的探针台,可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台,全自动探针台具有更高的精度和效率,可以在短时间内完成大量的测试操作。全自动探针台通常还配备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能,以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。全自动探针台通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。探针台的发展需要国际合作和共同努力。
不同的显微镜,显微镜的支架会有所不同,通常有立柱安装和龙门安装两种配置。定位器平台用于放置定位器(探针座)、形状和尺寸根据测试应用不同会有不同的设计形式。样品台(载物台)用于承载待测样品,通常根据晶圆尺寸设计,常用的尺寸从2~12英寸。除了承载样品的功能,样品台还可根据测量需求,设计为带测量通路和带精密控温的形式。精密移动组件。以上承载平台都配套了相应的移动定位功能,方便用户对显微镜、待测样品及定位器进行精密的移动。通常有X-Y-Z-R-T这些方向移动功能。定位器。定位器(又称探针座),帮助用户实现探针的精密移动定位。因此,结构的稳定性、驱动丝杆精度、导向机构的直线度、往复精度、长期使用时以上指标的可靠性都是选购定位器时应当考虑的主要指标。探针台的技术需要不断推陈出新。上海手动探针台厂家
探针台是推进太空探索和航天事业的重要一环。天津全自动探针台定制
设计需要提前考虑的方面有:腔体和外部管件的接口 预留位置和接口大小、与外部接线端子的预留位 置和数量、整个腔体端盖的锁紧形式、观察窗口和照明系统的位置和数量、液氮管道的接口形 式、取放片窗口位置和大小,主要包括以下几方面的设计。(1)真空腔体密封性设计;(2)腔体内对特种气体的防腐蚀性、防毒性设计; (3)腔体的电磁屏蔽设计;(4)电气接插头的防潮、防水设计;(5)操作区的安全设计;(6)维修、维护的方便性设计。天津全自动探针台定制
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