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来源: 发布时间:2024年02月08日

    夹取机构将晶圆拖到承载装置上,由升降装置带动承载装置下降到检测位置,能够防止因夹取机构夹不紧,使得晶圆从高处跌落,造成损坏的情况发生,使得晶圆运输更加安全可靠。附图说明图是本实用新型实施例提供的晶圆视觉检测机的晶圆移载机构的立体图;图是本实用新型实施例提供的升降装置的立体图;图是本实用新型实施例提供的移动模块的立体图;图是本实用新型实施例提供的托臂、滑轨和滑块的连接结构示意图。图中,、感应装置;、承接装置;、托臂;、限位部;、承托部;、升降装置;、升降驱动器;、升降板;、安装板;、升降丝杆机构;、联轴器;、移动模块;、固定板;、移动电机;、传动组件;、主动轮;、从动轮;、同步带;、滑轨;、滑块;、连接块。具体实施方式下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电手动共晶机找科研手动型设备。湖南自动共晶机厂家现货

    可同时横跨两条滑轨并在两条滑轨上来回移动。本实用新型的工作过程为:使用者需要搬运晶圆时。泰克光电是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。可先根据晶圆的尺寸,设定两个托臂之间的间距,具体操作为:通过控制系统控制移动电机驱动主动轮转动,带动从动轮和同步带转动,使得固定连接在同步带不同输送侧上的两个连接块带动两个托臂做相向移动或相背运动。晶圆视觉检测机上的夹取机构夹取晶圆后,感应装置感应晶圆的位置,并将位置信息反馈给控制系统。控制系统控制升降电机驱动升降丝杆机构带动升降板上下移动,使得固定在升降板顶侧的固定板随之移动。托臂通过滑轨和滑块滑动连接在固定板的顶侧,固定板在竖直方向上移动时,托臂随之上下移动。江苏高速共晶机怎么样提升UVC LED可靠性,共晶固晶机必不可少! 泰克光电。

    我们都能提供适合的共晶解决方案。到达基片的原料分子不具有表面移动的能量,立即凝结在基片的表面,所以,在具有台阶的表面上以真空蒸发法淀积薄膜时,一般,表面被覆性(覆盖程度)是不理想的。但若可将Crambo真空抽至超高真空(<10–8torr),并且控制电流,使得欲镀物以一颗一颗原子蒸镀上去即成所谓分子束磊晶生长(MBE:MolecularBeamEpitaxy)。(3)溅镀(SputteringDeposition)所谓溅射是用高速粒子(如氩离子等)撞击固体表面,将固体表面的4004的50mm晶圆和Core2Duo的300mm晶圆原子撞击出来,利用这一现象来形成薄膜的技术即让等离子体中的离子加速,撞击原料靶材,将撞击出的靶材原子淀积到对面的基片表面形成薄膜。溅射法与真空蒸发法相比有以下的特点:台阶部分的被覆性好,可形成大面积的均质薄膜,形成的薄膜,可获得和化合物靶材同一成分的薄膜,可获得绝缘薄膜和高熔点材料的薄膜,形成的薄膜和下层材料具有良好的密接性能。因而,电极和布线用的铝合金(Al-Si,Al-Si-Cu)等都是利用溅射法形成的。常用的溅射法在平行平板电极间接上高频()电源,使氩气(压力为1Pa)离子化,在靶材溅射出来的原子淀积到放到另一侧电极上的基片上。为提高成膜速度。

    多个定位槽沿限位杆的长度方向依次间隔布置。在具体使用时,将晶圆依次放置到定位槽内,并通过三根限位杆进行限位固定。可以理解的是,定位槽可使得晶圆固定稳定性得到提高,且使得各个晶圆之间具有间隙,以使每个晶圆都能充分清洗。为了简化设备,本实施例晶圆加工固定装置还包括传动机构。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。传动机构与驱动轮盘和限位盘连接,传动机构用于同步驱动固定架转动和片盒架自转。也即,通过设置传动机构,使得一个驱动机构可同时驱动固定架和片盒架转动。具体而言,传动机构包括行星架,行星架的太阳轮与驱动轮盘连接,且太阳轮的轴线与驱动轮盘的旋转轴线共线设置。口碑好的高精度TO共晶机供销找泰克光电。

    在外力驱动下实现固定架驱动片盒架的转动。片盒架安装在从动轮盘与行星架的行星轮之间,通过行星架的行星轮与太阳轮以及齿圈的连接,构成片盒架的自转部分。限位轮座安装在底板上、轴承安装在限位轮座上,对驱动轮盘进行限位支撑;横向安装轴安装在竖向杆上,与齿圈固定板的安装凸轴构成与槽体连接的部分。片盒架设置有转动杆,转动杆可在限位盘和第二限位盘之间活动,方便晶圆放置和拆卸。本实施例晶圆加工固定装置通过驱动轮盘带动整体多个片盒架转动,可以使浸泡在药液中的晶圆充分清洗,提高终的清洗效果;且可通过行星轮与齿圈的连接,实现片盒架的自转,使晶圆加工更加均匀;同时,支持多种片盒架,通过更换片盒架形式,可以多个相同晶圆同时清洗,也可实现不同尺寸的晶圆同时清洗。可见,本实施例晶圆加工固定装置在固定架旋转的同时,片盒架还可带动晶圆进行自转,避免槽式清洗中单一的抖动形式,结构紧凑简单,能够提高晶圆加工均匀性和终效果。本实施例还提供一种晶圆加工设备,包括本实施例提供的晶圆加工固定装置。自然。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。ASM全自动共晶机找泰克光电。临沂涩谷共晶机厂商

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    本实施例给出的是一个驱动机构通过传动机构同步驱动固定架和片盒架转动的形式,自然也可以是固定架单独驱动,片盒架单独驱动的形式。但是相比,固定架单独驱动、片盒架单独驱动的形式,本实施例晶圆加工固定装置结构更加简单、且紧凑。在本实施例晶圆加工固定装置的片盒架与固定架可以是可拆卸的转动连接,以方便通过更换片盒架实现不同尺寸的晶圆的清洗。综上所述,本实施例晶圆加工固定装置的齿圈固定板和竖向杆安装在底板上,同时由拉杆连接,构成基本框架,也即安装座;从动轮盘安装在竖向杆上,通过连接杆与驱动轮盘连接。泰克光电(TechOptics)是一家专注于共晶机制造的公司。我们致力于为客户提供高质量、高性能的共晶机设备,以满足不同行业的需求。作为共晶机制造领域的者,泰克光电拥有先进的技术和丰富的经验。我们的团队由一群经验丰富的工程师和技术组成,他们在共晶机设计、制造和维护方面拥有深厚的专业知识。泰克光电的共晶机广泛应用于电子、光电子、半导体等行业。我们的设备可以用于焊接、封装、封装和其他共晶工艺。无论是小型电子元件还是大型半导体芯片,我们都能提供适合的共晶解决方案。构成固定架的转动部分。湖南自动共晶机厂家现货