自动安全保护系统是精密环控柜的重要保障,为设备的稳定运行和用户的使用安全提供防护。故障自动保护程序时刻监控设备的运行状态,一旦检测到异常情况,如温度过高、压力过大、电气故障等,系统会立即启动相应的保护措施,停止设备的危险运行,避免设备损坏或引发安全事故,实现全天候无忧运行。同时,故障实时声光报警提醒,能及时引起用户的注意。用户可以根据报警信息迅速判断故障类型和位置,及时采取应对措施。此外,远程协助故障处理功能,使用户能够通过网络与专业技术人员取得联系,技术人员可以远程查看设备的运行数据和故障信息,指导用户进行故障排查和修复,缩短了故障处理时间,提高了设备的可用性。制冷单元内部采用高效隔音材质,进一步降低设备噪音,噪音<45dB。安徽激光干涉仪高精度恒温恒湿
如在航空航天领域的制造工艺对精度要求极高,任何微小的误差都可能在飞行器高速飞行、复杂环境运行时引发严重后果。精密环控柜在航空航天精密制造过程中扮演着保驾护航的角色。在航空发动机零部件的制造中,如涡轮叶片的加工,叶片的尺寸精度和表面质量直接影响发动机的性能和效率。精密环控柜通过控制生产车间的温湿度,避免加工设备因温度变化产生热变形,确保刀具切削路径的准确性,从而保证涡轮叶片的加工精度符合严格标准。同时,稳定的湿度环境可防止金属材料生锈腐蚀,延长刀具使用寿命,减少因设备故障和材料损耗带来的生产成本增加。定制恒温恒湿机组如果您的设备需在特定温湿度、洁净度实验室运行,精密环控柜产品可以助您打造高精密环境空间。
光刻设备对温湿度的要求也极高,光源发出的光线需经过一系列复杂的光学系统聚焦到硅片表面特定区域,以实现对光刻胶的曝光,将设计好的电路图案印制上去。当环境温度出现极其微小的波动,哪怕只是零点几摄氏度的变化,光刻机内部的精密光学元件就会因热胀冷缩特性而产生细微的尺寸改变。这些光学元件包括镜片、反射镜等,它们的微小位移或形状变化,会使得光路发生偏差。原本校准、聚焦于硅片特定坐标的光线,就可能因为光路的改变而偏离预定的曝光位置,出现曝光位置的漂移。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务,获得了众多好评。根据高精密行业用户的反馈,对产品进行持续优化,不断提升设备的适用性和稳定性。
超高水准洁净度控制使精密环控柜在众多领域发挥着无可替代的作用。该系统可轻松实现百级以上洁净度控制,内部洁净度可优于 ISO class3 (设备工作区) 。这一特性得益于其先进的空气过滤系统,多层高效过滤器能够有效拦截空气中的尘埃颗粒、微生物等污染物。在对洁净度要求极高的半导体制造领域,微小的尘埃颗粒都可能导致芯片出现瑕疵,影响性能和良品率。精密环控柜提供的超洁净环境,能极大降低尘埃对芯片制造过程的干扰,确保芯片的高质量生产。在生物制药领域,药品的生产过程必须保证无菌无尘,防止微生物污染。其超高的洁净度控制能力,为药品的研发和生产提供了符合标准的洁净空间,保障了药品的安全性和有效性。设备大小可定制,能匹配各种高精密设备型号,及操作空间要求,构建完整环境体系,保障高精密设备正常运行。定制恒温恒湿机组
在超高水准洁净度控制下,该系统设备工作区呈现洁净度,可优于 ISO class3。安徽激光干涉仪高精度恒温恒湿
在芯片这一高科技产品的复杂生产流程里,众多环节对温湿度的波动展现出了近乎苛刻的精密度要求。光刻过程中,利用高精度的光刻设备,将预先设计好的复杂电路图案转移至硅片表面。温度的稳定性起着决定性作用,哪怕有零点几摄氏度的微小波动,都会使光刻胶内部的化学反应速率产生偏差。光刻胶作为一种对光敏感的高分子材料,其反应速率的改变将直接作用于光刻成像效果,致使图案边缘模糊、线条粗细不均,进而让芯片上的线路出现偏差,甚至引发短路故障,让前期投入的大量人力、物力和时间付诸东流。与此同时,湿度因素同样不可小觑。光刻车间若湿度偏高,水汽极易渗透至光刻胶内部,使其含水量上升,感光度随之降低,如同给精密的 “光刻镜头” 蒙上一层雾霭,严重影响光刻精度,导致芯片良品率大打折扣,大幅增加生产成本。安徽激光干涉仪高精度恒温恒湿