芯片蚀刻时，刻蚀速率的均匀性对芯片电路完整性至关重要。温度波动如同 “蝴蝶效应”，可能引发刻蚀过度或不足。精密环控柜稳定的温度控制，以及可达 ±0.5%@8h 的湿度稳定性，有效避免因环境因素导致的刻蚀异常，保障芯片蚀刻质量。芯片沉积与封装过程中，精密环控柜的超高水准洁净度控制发挥关键作用。其可实现百级以上洁净度控制，内部洁净度优于 ISO class3，杜绝尘埃颗粒污染芯片，防止水汽对芯片材料的不良影响，确保芯片沉积层均匀、芯片封装可靠。精密环控柜可满足可实现洁净度百级、十级、一级等不同洁净度要求。激光干涉仪温湿度机组
在集成电路制造这一高精密的领域中，芯片生产线上的光刻工序堪称关键的环节，其对温湿度的要求近乎达到苛刻的程度。即便是极其微小的 1℃温度波动，都可能引发严重后果。光刻机内部的光学镜片会因热胀冷缩，致使光路发生细微偏移。这看似毫厘之差，却足以让光刻图案精度严重受损，使得芯片上的电路布线出现偏差，甚至短路等问题，进而大幅拉低芯片的良品率。而在湿度方面，一旦湿度突破 50% 的警戒线，光刻胶便极易受潮，其感光度发生改变，导致曝光效果大打折扣，无疑同样对芯片质量产生不可忽视的负面影响。激光干涉仪温湿度机组精密环境控制设备内部，关键区域静态下温度稳定性高，可达 +/-5mK 精度。
在半导体芯片制造这一复杂且精细的领域，从芯片光刻、蚀刻到沉积、封装等每一步，都对环境条件有着近乎严苛的要求，而精密环控柜凭借其性能成为保障生产的关键要素。芯片光刻环节，光刻机对环境稳定性要求极高。哪怕 0.002℃的温度波动，都可能使光刻机内部的精密光学元件因热胀冷缩产生细微形变，导致光路偏差，使光刻图案精度受损。精密环控柜凭借超高精度温度控制，将温度波动控制在极小范围，确保光刻机高精度运行，让芯片光刻图案正常呈现。
高精密恒温恒湿技术凭借其无可比拟控制系统，为众多场景带来稳定且理想的环境。这一技术通过高精度传感器，对环境温湿度进行实时监测，误差能控制在极小范围内，温度可至 ±0.0002℃，湿度稳定在 ±1%。其原理在于智能调控系统，依据设定参数，迅速调节制冷、制热与加湿、除湿设备。当温度升高，制冷系统快速启动，降低温度；湿度上升时，高效除湿装置立即运作。在诸多需要严苛环境条件的场景中，它都发挥着关键作用。例如，在需要长期保存对环境敏感的珍贵物品或样本时，它能防止物品因温湿度变化变质、损坏。在进行精密实验时，稳定的温湿度为实验数据的准确性与可靠性提供保障，避免因环境波动干扰实验结果。总之，高精密恒温恒湿技术是维持环境稳定、保障各类工作顺利开展的重要支撑。电子显微镜观测时，设备营造的稳定环境，确保成像清晰，助力科研突破。
我司自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档，满足严苛温度需求。该系统洁净度表现优异，可达百级、十级、一级。关键区域静态温度稳定性 ±5mK，内部温度均匀性小于 16mK/m，为芯片研发等敏感项目营造理想温场，保障实验数据不受温度干扰。湿度方面，8 小时内稳定性可达 ±0.5%；压力稳定性为 +/-3Pa，设备还能连续稳定工作 144 小时，助力长时间实验与制造。在洁净度上，工作区洁净度优于 ISO class3，既确保实验结果准确可靠，又保障精密仪器正常工作与使用寿命，推动科研与生产进步。高精密温湿度控制设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h。芯片光刻温湿度控制房
为满足多样化需求，箱体采用高质量钣金材质，可按需定制外观颜色。激光干涉仪温湿度机组
在光学仪器的装配过程中，湿度的控制同样关键。湿度过高容易使光学镜片表面产生水汽凝结，形成水渍，不仅影响镜片的外观，还会降低镜片的光学性能。此外，高湿度环境还可能导致金属部件生锈腐蚀，影响仪器的结构稳定性和使用寿命。精密环控柜通过调节湿度，确保镜片在装配过程中始终处于干燥、洁净的环境中，有效避免了上述问题的发生。这使得生产出的光学仪器，无论是用于科研领域的显微镜、望远镜，还是用于工业检测的投影仪、测量仪等，都能具备光学性能和稳定性，满足不同行业对高精度光学仪器的需求。激光干涉仪温湿度机组