半导体制造:光刻工艺的“守护神”在芯片光刻环节,温度波动Jin0.1℃就足以导致光学元件热变形,造成曝光位置漂移。极测精密温控设备提供的±0.002℃恒温环境,使光刻机光学系统保持稳定,直接提升芯片良品率。在蚀刻工艺中,温湿度波动可能引发刻蚀过度或不足。精密温控设备提供的稳定环境保障了刻蚀速率的均匀性,确保芯片电路完整性。航空航天:微米级精度的幕后功臣航空发动机涡轮叶片加工中,0.05℃的温度波动可能导致机床热变形,使叶片加工精度不达标。极测精密温控设备维持的恒温环境,保障了叶片曲面精度和表面质量。在航空航天材料测试环节,设备将湿度波动精确控制在±2%RH内,满足极端严苛的测试要求。光学仪器:纯净与稳定的双重保障在光学镜片研磨中,温度波动会导致研磨盘与镜片材料热膨胀系数差异,影响镜片曲率精度。恒温环境确保研磨精度稳定。同时,洁净环境防止镜片表面污染,避免后续镀膜工序产生缺陷。新能源电池:水分与温度的双重管控在电极涂布工艺中,湿度变化会影响浆料水分含量,导致涂布不均匀。极测精密温控设备提供的±0.5%RH湿度稳定性,确保电极涂布一致性。在电池组装环节,恒温环境避免了不同材料热胀冷缩差异导致的密封不良问题。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求.冷水机组精密温控场景
在实际应用中,极测的温控设备已经在众多半导体制造企业中发挥了重要作用。某有名芯片制造企业在引入极测的温控设备后,光刻工艺的精度得到了明显提升。由于温度控制更加精zhun,芯片上的电路图案更加清晰、准确,有效减少了因温度问题导致的图案偏差和缺陷,产品良率大幅提高。现已服务多家芯片半导体前列企业与国家重点实验室。 同时极测(南京)具备全场景非标定制能力。可根据不同客户的需求根据温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数,进行灵活定制。电磁屏蔽精密温控供应商晶圆需要经历一系列高精度的蚀刻、涂层、光刻等工艺,这些工艺都需要在特定的温度范围内进行。
控制精度是衡量精密环控设备的关键指标,通常以温度和湿度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密环控设备的控制能力越强。极测(南京)技术有限公司的精密环控设备运用自主研发的高精密控温技术,能达到 0.1% 的控制输出精度。同时,精密环控设备内部的温湿度均匀性也很重要,能确保各个位置的物品处于相同环境条件;而且在长时间运行中,精密环控设备的温湿度控制需保持稳定,波动范围越小越好,像极测的设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。
作为南京拓展科技旗下专注于微环境控制技术的关键企业,极测(南京)技术有限公司打造的超精密仪器室,通过集成自主研发的高精密微环境控制系统,为光刻机、立式干涉仪等精密仪器构建了温度波动极小、洁净度极高(洁净恒温)的理想工作环境,精密仪器室成为支撑高精度测量与科研生产的关键基础设施。
纳米级温控,超高精度温度波动极测运用自主研发的高精密控温技术,控制输出精度达 0.1%,使得环境内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制。为精密仪器打造高精密恒温稳定操作环境。 蕞高ISO class1级洁净,打造无尘空间精密仪器室系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),达到ISO class1,避免灰尘等污染物影响光线传播。设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长精密仪器使用寿命。 全场景非标定制,满足多元化需求精密仪器室可根据用户需求,满足用户不同的温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等多样化的个性要求,保证用户的正常使用。
极测(南京)致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案。
在半导体制造、精密光学检测等领域,环境参数的微小偏差都可能导致产品性能大幅下降。想要实现波动 ±0.005℃的精密温度控制与 ISO Class 3 的洁净度,需要突破传统环境控制的技术瓶颈。 南京拓展科技旗下企业,极测(南京)作为专业的精密温控设备供应商,其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃,洁净度可达一级(优于ISO class1),这一数据在行业内处于前列水平。为精密制造和精密仪器的运行提供了可靠的环境保障。精密温控设备现已服务多家芯片半导体令页军企业,以及国家重点实验室。精密温控通过以下方式根据用户的不同需求进行设备的非标定制。在一些化学蚀刻工艺中,湿度过高或过低都会影响蚀刻速度和精度,蕞终影响芯片的良品率。0.001精密温控参数
例如,光刻工艺中,微小的温度波动会导致曝光位置的漂移,进而影响线路的精确度。冷水机组精密温控场景
这款高精密环控柜是我司单独研发的精密环境控制设备,可达成ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力,能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能,并配备自动安全防护系统,确保长期稳定运行。其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统及局部气浴等,专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用“外环境保障相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量”的逻辑,通过精zhun控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求,采用大风量小温差设计,快速循环过滤空气并带走余热,使关键区域温度波动低至±0.002℃;同时通过多级控温(表冷盘降温+多级电加热升温),将精度从±0.1℃逐步提升至±0.002℃。冷水机组精密温控场景