真空镀膜机环境控制室

我司自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，能精细掌控温度变化。温度波动控制可选 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多档，满足严苛温度需求。该系统洁净度表现优异，可达百级、十级、一级。关键区域静态温度稳定性 ±5mK，内部温度均匀性小于 16mK/m，为芯片研发等敏感项目营造理想温场，保障实验数据不受温度干扰。湿度方面，8 小时内稳定性可达 ±0.5%；压力稳定性为 +/-3Pa，设备还能连续稳定工作 144 小时，助力长时间实验与制造。在洁净度上，工作区洁净度优于 ISO class3，既确保实验结果准确可靠，又保障精密仪器正常工作与使用寿命，推动科研与生产进步。精密环境控制设备内部温度规格设定为 22.0 °C 且可灵活调节，以满足不同控温需求。真空镀膜机环境控制室

高精密恒温恒湿技术凭借其无可比拟控制系统，为众多场景带来稳定且理想的环境。这一技术通过高精度传感器，对环境温湿度进行实时监测，误差能控制在极小范围内，温度可至 ±0.0002℃，湿度稳定在 ±1%。其原理在于智能调控系统，依据设定参数，迅速调节制冷、制热与加湿、除湿设备。当温度升高，制冷系统快速启动，降低温度；湿度上升时，高效除湿装置立即运作。在诸多需要严苛环境条件的场景中，它都发挥着关键作用。例如，在需要长期保存对环境敏感的珍贵物品或样本时，它能防止物品因温湿度变化变质、损坏。在进行精密实验时，稳定的温湿度为实验数据的准确性与可靠性提供保障，避免因环境波动干扰实验结果。总之，高精密恒温恒湿技术是维持环境稳定、保障各类工作顺利开展的重要支撑。光学显微镜环境设备采用节能技术，在保障高性能的同时降低能耗，为企业节省运营成本。

由南京拓展科技承建的隧道环境试验系统是高能同步辐射光源验证装置（HEPS-TF）的基础设施，它将为HEPS-TF关键技术的研究提供必不可少的实验环境和场地。该项目系统的建设实施，是对我司超高精度恒温恒湿洁净系统建设能力及技术研发专业性实力的认可。本系统的技术特点是高精度温控以及温度波动模拟，可为“北京光源”后期主体隧道环境建设提供有效数据支撑。最高温度波动度可达到±0.01℃，为实验数据的验证提供可靠保障。本系统还可以实现±0.1℃~±3℃的温度波动模拟，通过温度波动模拟可验证温度精度对实验结果的影响。

刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料，从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中，温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般，干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时，硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐，有的地方刻蚀过度，有的地方刻蚀不足，直接破坏芯片的电路完整性，严重影响芯片性能。湿度方面，一旦出现不稳定状况，刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应，生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面，或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中，给芯片质量埋下深深的隐患，后续即便经过多道清洗工序，也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。涉及超高精度的测量环境要求，如±0.01-0.1℃ , 甚至更高波动要求，则需要搭建精密环控系统。

一家深耕实验室环境控制26年的科技企业，正以±0.002℃的温控精度刷新行业纪录。南京拓展科技有限公司（下称“南京拓展科技”）研发的精密环控系统，为芯片制造、航空航天、生物医药等战略性新兴产业筑起"科技堡垒"。走进某芯片企业百级洁净车间，工程师们正在精密环控系统营造的"微气候"中作业。这里的温度波动需要控制在±0.005℃范围内。这种近乎严苛的环境控制，正是纳米芯片光刻工艺的关键支撑。

“环境控制已成为现代科研的'第二实验室。”南京拓展科技总工程师介绍，在生物医药领域，疫苗研发需要持续21天的±0.5℃恒温环境；航空航天材料测试对湿度波动的要求精确到±2%RH；而在芯片制造过程中，光刻环节更是关键与关键。为保证光刻机稳定运行，需要将其置于极高精密的温湿度波动环境内运行。温度和湿度的细微变化，都可能导致光刻机内部的光学元件、机械部件产生热胀冷缩或物理性质改变，进而影响光线传播路径、聚焦精度以及机械运动的准确性，对芯片制造的质量和良率起着决定性作用。 高精密温湿度控制设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h。广东精密测量环境

为满足多样化需求，箱体采用高质量钣金材质，可按需定制外观颜色。真空镀膜机环境控制室

如在航空航天领域的制造工艺对精度要求极高，任何微小的误差都可能在飞行器高速飞行、复杂环境运行时引发严重后果。精密环控柜在航空航天精密制造过程中扮演着保驾护航的角色。在航空发动机零部件的制造中，如涡轮叶片的加工，叶片的尺寸精度和表面质量直接影响发动机的性能和效率。精密环控柜通过控制生产车间的温湿度，避免加工设备因温度变化产生热变形，确保刀具切削路径的准确性，从而保证涡轮叶片的加工精度符合严格标准。同时，稳定的湿度环境可防止金属材料生锈腐蚀，延长刀具使用寿命，减少因设备故障和材料损耗带来的生产成本增加。

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