“环境控制已成为现代科研的'第二实验室。”南京拓展科技总工程师介绍,在生物医药领域,疫苗研发需要持续21天的±0.5℃恒温环境;航空航天材料测试对湿度波动的要求精确到±2%RH;而在芯片制造过程中,光刻环节更是关键与关键。为保证光刻机稳定运行,需要将其置于极高精密的温湿度波动环境内运行。温度和湿度的细微变化,都可能导致光刻机内部的光学元件、机械部件产生热胀冷缩或物理性质改变,进而影响光线传播路径、聚焦精度以及机械运动的准确性,对芯片制造的质量和良率起着决定性作用。
目前,南京拓展科技自主研发的精密环控柜可实现洁净度百级、十级、一级,温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来,经过市场层层筛选,已应用于众多科研与生产场景:某全球半导体企业研发环境温度稳定性达到±0.01℃;某全球通信设备企业研发环境温度稳定性达到±0.005℃;某国家大科学装置实验室温度稳定性达到±0.005℃……南京拓展科技以的精密环控技术,被国家前列科研机构、全球相关行业企业坚定选择。
拥有超高水准洁净度控制能力,可达百级以上洁净标准。上海高精度环境
超高精度温度控制是精密环控柜的一大突出亮点。其自主研发的高精密控温技术,使得控制输出精度达到惊人的0.1%,这意味着对温度的调控能够精细到极小的范围。设备内部温度稳定性在关键区域可达+/-2mK(静态),无论外界环境如何变化,都能保证关键部位的温度处于极其稳定的状态。内部温度规格可在22.0°C(可调),满足不同用户对温度的个性化需求。而且温度水平均匀性小于16mK/m,确保柜内各个角落的温度几乎一致,避免因温度差异导致的实验误差或产品质量问题。再加上设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h,以及压力稳定性可达+/-3Pa,连续稳定工作时间大于144h,为对温湿度、压力要求苛刻的实验和生产提供了可靠的环境保障,让长时间的科研实验和精密制造得以顺利进行。
上海高精度环境精密环控柜为我司自主研发的精密环境控制产品。
在电子设备的显示屏制造过程中,温湿度的稳定控制也不可或缺。显示屏的液晶材料对温度变化非常敏感,温度波动可能导致液晶分子排列紊乱,影响显示屏的显示效果,出现色彩不均、亮度不一致等问题。湿度方面,过高的湿度可能使显示屏内部的电子元件受潮,引发短路故障;过低的湿度则容易产生静电,吸附灰尘,影响显示屏的洁净度。精密环控柜通过精确调节温湿度,为显示屏制造提供了理想的环境条件,确保生产出高质量、高性能的显示屏,满足消费者对电子设备显示效果的高要求。
航空航天零部件加工对于温湿度精度的要求非常高,任何细微偏差都可能引发严重后果。以航空发动机叶片为例,其复杂精妙的曲面造型,搭配极为严苛的性能标准,需要借助高精度数控机床,通过铣削、打磨等一系列精细加工工序来完成。然而,一旦温度出现波动,机床的主轴、导轨等关键部件就会产生热变形,进而导致刀具切削路径偏离原本预设的轨迹,致使叶片曲面精度无法达到标准要求,这将直接对发动机的动力输出以及可靠性造成影响。不仅如此,湿度发生变化时,金属切削刀具极易生锈,这不仅缩短刀具的使用寿命,还会增加加工表面的粗糙度,难以契合航空零部件对表面质量近乎苛刻的要求。设备内部通过风机引导气流循环,控制系统对循环气流每个环节进行处理,使柜内温湿度达到超高控制精度。
刻蚀的目的在于去除硅片上不需要的材料,从而雕琢出精细的电路结构。在这一精细操作过程中,温度的波动都会如同“蝴蝶效应”般,干扰刻蚀速率的均匀性。当温度不稳定时,硅片不同部位在相同时间内所经历的刻蚀程度将参差不齐,有的地方刻蚀过度,有的地方刻蚀不足,直接破坏芯片的电路完整性,严重影响芯片性能。湿度方面,一旦出现不稳定状况,刻蚀环境中的水汽会与刻蚀气体发生复杂的化学反应,生成一些难以预料的杂质。这些杂质可能会附着在芯片表面,或是嵌入刚刚刻蚀形成的微观电路结构中,给芯片质量埋下深深的隐患,后续即便经过多道清洗工序,也难以彻底根除这些隐患带来的负面影响。采用先进的智能自控系统,根据监测数据自动调节环境参数,符合温湿度波动要求。山西光学显微镜环境
关于防微振,除了控制风速降低振动外,在地面增加隔振基础,可有效降低外部微振动的传递。上海高精度环境
设备运行静音高效是精密环控柜的又一优势。采用的 EC 风机,具备更高效、更强大、更安静的运行特点。相比传统风机,EC 风机能够在提供充足风量的同时,有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷单元内部采用高效隔音材质,进一步降低设备噪音,使其运行噪音小于 45dB 。噪音作为一种能量对于生产过程存在难以忽视的影响,极低的噪音恰恰能防止设备收到干扰,影响生产环境。高效的运行则保证了设备能够快速、稳定地调节温湿度和洁净度,满足各类精密实验和生产的需求。上海高精度环境