超高洁净环境保障:系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境(每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个),这一洁净级别极大降低了因颗粒物导致的键合缺陷风险。
湿度与压力协同控制:除了温控精度与洁净度,系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH,压力波动控制在±3Pa以内。这种多参数协同控制能力,为键合工艺提供了全方wei、全时段的稳定环境保障。
此外,晶圆在高温环境下可能会因为热膨胀而发生变形,影响成品率。天津精密温控非标定制
极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术,打造超精密温控关键能力:高精密控温技术:动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块,实时捕捉供水温度数据并传输至控制器,通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作,结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如,在半导体极紫外光刻工艺中,该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃,满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。步入式精密温控报价机器设备运行、人员走动等因素也会产生微小振动,在半导体厂房的设计和施工过程中,需要充分考虑这些因素。
极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的专长,同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师,致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景,科学技术成果认定为国际先进水平。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。
三坐标测量仪通过探针接触或非接触式光学扫描等方式,对工件的尺寸、形状和位置进行精确测量。在测量过程中,环境温度的细微变化会引发测量仪自身结构以及被测工件的热胀冷缩。例如,当温度波动 1℃时,对于长度为 1 米的金属工件,其长度变化可达 10 微米左右,这在高精度测量中是不容忽视的误差来源。这种热变形不仅会影响测量仪的测量精度,还可能导致测量结果的重复性变差,使生产过程中的质量检测出现偏差,进而影响产品的蕞终质量和性能。控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。
高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C,湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH,洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。天津精密温控非标定制
极测精密温控设备已成为半导体企业、典型通信设备商、显示面板前列品牌及众多重量级实验室的合作伙伴。天津精密温控非标定制
极测(南京)致力于为全球高精密需求用户打造超精密稳定的研发与生产环境,专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统,目前已拥有结合全场景非标定制能力,满足用户不同温湿度稳定性、洁净度,气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。科学技术成果认定为国际先进水平。服务行业覆盖:半导体芯片、精密光学、精密测量、新能源、航空航天、通信技术等行业。极测在新技术浪潮中奋力向前,攀登环境控制新高度!为用户提供精zhun、稳定、可靠的高精密环境!天津精密温控非标定制