西安陶瓷基板水导激光加工在航空航天的应用

单晶硅作为半导体产业的基础材料，其切割加工质量直接影响芯片的性能和良率。中科煜宸水导激光加工技术在单晶硅加工领域展现出明显优势。传统激光切割单晶硅时，热影响区大、边缘崩边严重、微裂纹难以避免，严重影响后续工艺。而中科煜宸水导激光技术利用水射流的持续冷却作用，将热影响区控制在极小范围内，加工边缘光滑无崩边，几乎不产生微裂纹。采用中科煜宸“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，从底部用透明玻璃支撑单晶硅片，让加工激光顺利逸散，保护了工件完整性。这一技术不 适用于单晶硅的划片切割，还可用于晶圆减薄、通孔成型等多种工艺，为半导体制造提供了全新的精密加工解决方案。在加工高反射性的铜、金等金属时，水导激光展现出优越的稳定性和效率，切口无氧化且毛刺极少。西安陶瓷基板水导激光加工在航空航天的应用

航空发动机的燃油喷嘴微孔加工对孔径精度、孔壁质量和流量一致性要求极高。中科煜宸水导激光能够加工出直径小至数十微米、深径比高达十比一以上的高质量微孔，孔壁光滑无锥度。水流在加工过程中持续冲刷，杜绝了熔渣堵塞喷孔的风险。这使得喷嘴的燃油雾化效果得到明显改善，燃烧更充分，排放更低。该技术已成功应用于多种型号航空发动机燃油喷嘴的量产制造，为提升发动机燃烧效率和降低油耗提供了可靠的工艺保障，是精密微孔加工领域的可靠方案。南京超快水导激光加工自动化集成方案完善质量控制体系护航，每台水导激光设备出厂前均经过微米级精度检测。

单晶硅作为一种典型的脆硬材料，在水导激光加工过程中面临着崩边、裂纹等严峻挑战。中科煜宸创新研发的“基于双重支撑的单晶硅水导激光加工系统”，通过巧妙的结构设计解决了这一行业难题。该系统采用高透光性玻璃作为底部支撑材料，从底部方向贴合到单晶硅片，与单晶硅片形成一体并支撑单晶硅片；同时通过上下夹具进行夹持固定，在夹具与单晶硅片的接触面加装弹性垫片进行缓冲和防护。这种双重支撑结构既提供了有效的机械支撑，又使得加工过程中的激光能够透过玻璃逸散，防止激光反射对单晶硅造成损伤。采用中科煜宸水导激光双重支撑技术加工的单晶硅片，边缘崩边和裂纹明显减少，成品表面质量大幅提升。

中科煜宸深知，一项新兴技术的成熟不 依赖于设备本身的性能，更需要完善的行业标准来规范市场、引导发展。2026年4月，在第十四届中国数控机床展览会现场，中科煜宸与国机集团苏州电加工机床研究所有限公司签署了 战略合作协议。双方将充分发挥中科煜宸在水导激光、超快激光技术等领域的研发积累和关键设备制造能力，以及苏州电加工在特种加工机床领域的行业地位和标准化建设优势，共同研制水导激光智能制造机床，共建水导激光技术标准体系，建成依托国家产业平台的水导激光技术中试验证产线。这一举措不 确立了中科煜宸在水导激光领域的技术引导者地位，更为整个行业的健康、有序发展奠定了坚实基础。RJ505-400W水导激光加工机床斩获行业专业奖项，以400W大功率性能革新国产精密加工设备升级。

大尺寸金刚石的切割加工对能量控制和路径规划提出了极高要求。中科煜宸开发的“适用于大尺寸金刚石的水导激光切割方法”，通过动态划分区域结合非均匀分层设计，实现了大尺寸金刚石的高效精密切割。该方法沿切缝动态划分中心、过渡、边缘三大区域，并按深度划分浅层与深层边界；加工中采用区域和层深双重差异化参数调控，为各区域配置专属能量、扫描速率及水束压力。切割按中心到边缘的顺序推进，通过过渡区实现参数平滑衔接。中科煜宸水导激光区域差异化参数调控技术的应用，解决了大尺寸金刚石切割中中心贯穿不均、边缘贯穿差的问题，兼顾了贯穿效率和切割质量，为金刚石在电子、光学等高精尖领域的应用开辟了新途径。水导激光革新了激光与材料的相互作用环境。上海无微裂纹水导激光加工与传统加工对比

中科煜宸成功实现了水导激光技术的国产化与产业化突破，打破了国外长期垄断。西安陶瓷基板水导激光加工在航空航天的应用

在3C电子产品快速迭代的背景下，研发阶段的试制样品往往数量少、改型快，传统开模或CNC编程耗时耗力。中科煜宸水导激光作为一种数字化的柔性加工技术，能够直接从CAD文件驱动，快速加工出各种材料的原型零件，无论是玻璃、陶瓷、金属还是复合材料。无需刀具更换，无需模具，数分钟内即可完成一个复杂特征的加工。这极大地加速了产品从设计到验证的循环，缩短了新品上市周期。对于追求速度和创新的3C电子行业而言，水导激光是研发实验室中不可或缺的多功能快速成型利器。西安陶瓷基板水导激光加工在航空航天的应用

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