本发明结构简单，小尺寸可以在满足功能的基础上，还能减轻了设计上对空间的需求，特别是位于静电夹盘下方，大尺寸无法实现结构设计；本发明由于大幅减少了滤波器数量，所以也降低了射频功率泄露量和其他潜在的射频泄漏风险；本发明的mcu与主机之间的通信方式为不需要射频滤波的光纤通信或无线蓝牙通信。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图进行简单介绍，显而易见的，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中的多区加热系统控制示意图；图2为本发明的等离子处理器示意图；图3为本发明的多区加热系统示意图。具体实施方式为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。需要说明的是，在本文中。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务LS-REA系列。油缸强力超薄型夹盘机械结构
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固定盘1的内部设有若干***放置孔2，便于放置钢丝复合管，固定盘1的两侧均设有卡槽3，卡槽3均呈环型结构，固定盘1的一侧设有***夹盘4，***夹盘4的直径和固定盘1的直径相同，***夹盘4靠近固定盘1的一侧设有若干凹槽8，凹槽8的数量和***放置孔2的数量相同且一一对应，***夹盘4远离固定盘1的一侧设有若干限位孔6，若干限位孔6呈环型分布，位于下方的其中两个限位孔6上均设有限位机构7，方便本实用新型的定位，***夹盘4远离固定盘1的一侧设有若干螺孔10，螺孔10的数量和凹槽8的数量相同且一一对应，螺孔10上均设有固定机构9，用于固定钢丝复合管。限位机构7包括固定板71，固定板71远离***夹盘4的一端的内部均设有通槽73，通槽73的内部插均设有限位板74，两个限位机构7的限位板74分别卡接在***夹盘4和固定盘1的前后部下端，限位板74的两端均贯穿所在通槽73，限位板74远离***夹盘4的一端均固定连接有挡板75，便于抵住本实用的下端，防止本实用新型在地面上滑动，固定板71靠近***夹盘4的一侧背面均固定连接有插销72，插销72均插于所在限位孔6的内部，便于将固定板71固定在***夹盘4上，固定机构9包括螺杆91，螺杆91靠近固定盘1的一端均穿过所在螺孔10且均插于对应的凹槽8内部。
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在某些实施方式中，涂层602设置于主体601的顶部表面603上。取决于所期望的实例，涂层602为聚合材料，例如聚亚酰胺材料、聚酰胺材料、或聚四氟乙烯(ptfe)材料的一种或多种。多个空腔626形成于主体601中。空腔626设置于主体601之中，且从顶部表面603延伸至主体601中。空腔626由底部表面628和侧壁630限定。空腔626的深度介于约μm与约1000μm之间，例如介于约300μm与约700μm之间。应考虑空腔626的深度足以容纳形成于基板100上的微结构106，使得当基板100定位在夹持装置600上时，微结构106保持不与主体601接触。涂层602沿着主体601的顶部表面603延伸，且在空腔626的侧壁630和底部表面628上。类似地，涂层602在限定空腔626的侧壁630的支撑构件608上延伸。涂层602的厚度考虑为足够厚而能够将基板100静电夹持至主体601。如此，涂层602相信能经由电极组件612、614而影响施加至基板100的静电力。***电极组件612设置于主体601之中，邻接主体601的顶部表面603。***电极组件612包括耦接至***功率源620的一个或多个导线。在一个实施方式中，***电极组件612为单一导线。或者，***电极组件612包括多个导线。在此实施方式中，***电极组件612的导线可以交错布置的方式设置。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务VL-DP系列。油缸强力超薄型夹盘机械结构
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只要加热器驱动器中的驱动开关支持交流驱动就能实现本发明目的，比如晶闸管(thyristor)。本发明的多区加热器的若干个加热器分对应地对静电夹盘的不同区域进行升温或降温，不同加热区域的加热器相互**，从而实现不同加热区域温度的**控制。加热器驱动器和mcu可以控制静电夹盘不同区域的温度，实现调节静电夹盘温度均匀的作用。作为本发明的一个实施例，当静电夹盘的a加热区域与相邻的b加热区域的温度差别较大时，例如a加热区域的温度低于其相邻的b加热区域的温度时，主机可以接收mcu向其发送的多区加热器所接收的a加热区域和b加热区域的静电夹盘温度，主机再根据该反馈结果，向mcu发送对a加热区域进行升温的指令，mcu将该升温指令转换成升温驱动信号发送至a加热区域对应的加热器1，使得加热器1对静电夹盘进行升温加热，直至a加热区域的静电夹盘温度与b加热区域的静电夹盘温度相等或近似相等。作为本发明的另一个实施例，当静电夹盘的某一加热区域与相邻的加热区域的温度差别较大时，例如该加热区域的温度高于其相邻的加热区域的温度时，主机可以接收mcu向其发送的多区加热器所接收的a加热区域和b加热区域的静电夹盘温度，主机再根据该反馈结果。油缸强力超薄型夹盘机械结构
上海昱彦精密机械有限公司是一家机械设备及零配件、刀具、五金机电、机电设备、电机及配件、电线电缆、工具刃具、金属材料、环保设备、紧固件、模具及配件、电气设备、汽车配件、仪器仪表、电动工具、制冷设备、机床及附件销售，机电设备、数控机床、机械设备安装维修，电脑图文设计制作，模型设计，从事数控机床、机械设备科技专业领域内技术咨询。的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。公司自创立以来，投身于中国台湾千岛卡盘油缸卡爪，日本日研转台刀柄，中国台湾昱伟工装夹治具，中国台湾潭兴数控分度盘，是机械及行业设备的主力军。昱彦精密继续坚定不移地走高质量发展道路，既要实现基本面稳定增长，又要聚焦关键领域，实现转型再突破。昱彦精密创始人刘军岐，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。