为获得平坦而均匀的光刻胶涂层并使光刻胶与晶片之间有良好的黏附性,通常在涂胶前对晶片进行预处理。预处理第一步常是脱水烘烤,在真空或干燥氮气的机台中,以150~200℃烘烤。工艺目的是除去晶片表面吸附的水分,在此温度下,晶片表面大约保留了一个单分子层的水。涂胶后,晶片须经过一次烘烤,称之软烘或前烘。工艺作用是除去胶中大部分溶剂并使胶的曝光特性固定。通常,软烘时间越短或温度越低会使得胶在显影剂中的溶解速率增加且感光度更高,但对比度会有降低。实际上软烘工艺需要通过优化对比度而保持可接受感光度的试凑法用实验确定,典型的软烘温度是90~100℃,时间从用热板的30秒到用烘箱的30分钟。在晶片显影后,为了后面的高能工艺,如离子注入和等离子体刻蚀,也须对晶片进行高温烘烤,称之后烘或硬烘。这一工艺目的在于:减少驻波效应;激发化学增强光刻胶PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。 整体成型硅橡密封圈,高真空度密封。丽水噪音小真空烘箱适用范围
一般的电热真空干燥箱都采用先加热真空室壁面、再由壁面向工件进行辐射加热的方式。在这种方式下,控温仪表的温度传感器可以布置在真空室外壁。传感器可以同时接受对流、传导、和辐射热。而处于真空室里的玻璃棒温度计只能接受辐射热,更由于玻璃棒黑度不可能达到1,相当一部分辐射热被折射了,因此玻璃棒温度计反映的温度值就肯定低于仪表的温度读数。一般讲,200℃工况时仪表的温度读数与玻璃棒温度计的读数两者相差30℃以内是正常的。如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内,玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小,但不可能消除,而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异,可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。上海快速干燥真空烘箱箱内高真空度真空箱外壳必须有效接地,以保证使用安全。
真空烘箱由高真空度真空泵,箱体,工作室,电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作,适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑,美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理,配上门上的硅胶密封压垫,保证箱内的气密性,并采用玻璃纤维保温,提供高效绝热,节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧,以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用,具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。
一般的电热(鼓风)干燥箱均设有温度均匀度参数:自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%,强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟独电热真空干燥箱不设温度均匀度参数,这是因为真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此,从概念上我们就不能再把通常电热(鼓风)干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体,距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时,晒到太阳的一面很暖和,晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致,同时也缺乏好的评估方法,这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。依据真空泵的性能,抽到压力表为真空泵的极限值为准;
真空干燥箱日常使用和维护:1、产品出厂前都经过严格的测试,一般不要进行修改,如使用时的环境恶劣,环境温度超出适宜范围,会引起温度显示值与箱内实际温度误差,如超出技术指标范围的,可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下,如打开箱门时间过长,关上箱门后即使箱内温度有些变动,这也是正常现象。3、除维修外,不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难,可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作,因此真空度达到干燥物品要求时,应先封闭真空阀,再封闭真空泵电源,待真空度小于干燥物品要求时,再打开真空阀及真空泵电源,继续抽真空,这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润,则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器,防止湿润气体抽进真空泵,造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后,会产生不能抽真空的现象,此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时,有可能会产生慢漏气现象,此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座,调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。 真空烘箱专为干燥热敏性、易分解和易氧化物质而设计。丽水整体成型硅橡密封圈真空烘箱
真空箱不需连续抽气使用时,应先关闭真空阀,再关闭真空泵电源。丽水噪音小真空烘箱适用范围
橡胶配方中硫化体系的类型按照制品不同性能的要求,橡胶配方选用不同的硫化体系。通常,普通硫磺硫化体系,其硫化温度选取范围为130-160℃,具体需要根据所使用的促进剂的活性温度和制品的物理机械性能来确定。有效、半有效硫化体系,硫化温度一般掌握在160-165℃之间,过氧化物及树脂等非硫磺硫化体系,硫化温度适合选择170-180℃.3.橡胶制品的结构橡胶属于热的不良导体,受热升温较慢。对于夹织物的橡胶制品,通常硫化温度不高于140℃.而发泡橡胶,需要按照发泡剂和发泡助剂的分解温度选择适宜的硫化温度。丽水噪音小真空烘箱适用范围
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