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4、Al-SiO2法

Al-SiO2法是目前制备氧化铝陶瓷中采用**多的方法。该方法将Al金属和SiO2粉体混合均匀后，在Ar气条件下进行反应，反应温度一般为1300～1500 ℃

，反应时间为2～4h，制备得到氧化铝陶瓷。

Al-SiO2法优点是原料价格低廉，工艺操作简单易行。缺点是：制备过程中需要通入保护气体，限制了其工业应用。

5、前驱体法

化学反应前驱体法在水热条件下进行，原料在高压釜内发生反应得到前驱体，前驱体已经具有陶瓷或是纤维状结构，为**终产物的出现提供了骨架。在水热制备氧化铝陶瓷中，勃姆石纤维为常见中间体。主要工艺过程是采用 Al（OH）3为前驱体，胶体经水热反应生成纤维状勃姆石晶粒，再经常压下煅烧，得到 α-Al2O3微粉，晶粒仍保持了纤维形状。 采用粗细均匀的颗粒，加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀.广州直销微孔陶瓷真空吸盘批发

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 全国进口微孔陶瓷真空吸盘价格在湿度大，有粘合液体的环境下也可以工作。

2、湿氢法

湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中，在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长，放入管式炉内，在湿氢气氛下加热至1400℃，保持2h，湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制，制备得到的氧化铝陶瓷。

湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长，产品品质较好。缺点是**不易控制，受环境湿度因素干扰大，且对实验设备影响很大。

3、模板法

目前，研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板，制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h，即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。

    D、加压速度和保压时间加压速度和保压时间控制不好也会造成氧化锆坯体出现分层等缺点。压模下落的速度应缓慢一些，如加压速度过快，则坯体中气体不易排出，从而导致坯体出现分层，表面致密而中间松散，以及存在气泡等现象。如保压时间过短，则压力还未传到应有的深度时，外力就已卸掉，这样坯体中气体不易排出，就难以得到较为理想的坯体，会导致坯体出现分层以及存在气泡等现象。同时保压时间应均匀一致，否则会引起产品厚薄不均，造成废品。E、脱模方式和脱模速度干压脱模时一般采用工具将坯体从模腔中顶出，脱模速度要均匀缓慢，如不注意会引起坯体开裂。实践表明脱模时脱模工具要平整，否则会引起坯体受力不均而造成开裂。总之，干压成型和上述几方面因素都有关系，要成型出理想的坯体，以上各方面都要控制好。 多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输.

（3）“钉扎”理论， 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应，从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生，晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。

二、氧化锆增韧陶瓷的种类

氧化锆增韧陶瓷主要有稳定氧化锆陶瓷、部分稳定氧化锆陶瓷、四方氧化锆多晶体陶瓷、氧化锆超塑性陶瓷。

1、稳定氧化锆陶瓷

稳定氧化锆陶瓷是在制备氧化锆粉体时添加一定数量的稳定剂使之固溶入氧化锆内，形成立方相氧化锆，在整个温度范围内不发生相变，也就没有体积变化的陶瓷材料。常用的稳定剂主要有CaO、MgO、Y2O3、CeO2等。 通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料.原装微孔陶瓷真空吸盘卖价

材料：氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅.广州直销微孔陶瓷真空吸盘批发

水热－热静压工艺

该工艺通过水作为压力传递介质制备各种孔径多孔陶瓷。其简单制备步骤为：硅凝胶和10%(质量百分数)的水混合，置于高压釜中(压力10—15MPa，温度300℃)，通过水蒸汽的挥发而制成多孔陶瓷。水热－热静压工艺中，反应时间一般为10—180 min。在25MPa下处理60min，制得的多孔陶瓷材料体积密度为0.88 g/cm，孔体积为0.59cm/g，孔尺寸分布范围为30~50nm，抗压强度高达80MPa。多孔陶瓷水热－热静压工艺具有以下优点：制得的多孔陶瓷材料抗压强度高、性能稳定、孔径分布范围广。 广州直销微孔陶瓷真空吸盘批发

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