安徽高效异质结设备

异质结电池生产流程与常规晶硅工艺的区别。常规晶硅工艺：1、清洗制绒。通过腐蚀去除表面损伤层，并且在表面进行制绒，以形成绒面结构达到陷光效果，减少反射损失；2、扩散制结。通过热扩散等方法在硅片上形成不同导电类型的扩散层，以形成p-n结；3、刻蚀去边。去除扩散后硅片周边的边缘结；4、去磷硅玻璃。扩散过程中，在硅片表面会形成一层含磷的氧化硅，称为磷硅玻璃（PSG），需要用氢氟酸腐蚀去掉；5、镀减反射膜。为进行一步提高对光的吸收，在硅片表面覆盖一层减反射膜。常用PECVD进行SiNx薄膜沉积，同时起到钝化的作用；6、栅线电极。在电池正面用丝网印刷进行栅线电极制作，在背面印刷背场(BSF)和背电极，并且进行干燥和烧结；7、电池测试及分选。釜川高效异质结电池湿法制绒设备全线采用臭氧工艺，降低了运营材料成本。安徽高效异质结设备

异质结电池整线生产设备，l在扩散的过程中，pn结p区一侧出现负电荷区，n区一侧出现正电荷区，其形成空间电荷区，在空间内部形成内建电场，载流子做漂移运动，阻碍电子与空穴的扩散，达到平衡，能带停止相对移动，p区能带相对于n区上移，n区能带相对于p区下移，pn结的费米能级处处相等，即载流子的扩散电流和漂移电流相互抵消；pn结势垒区存在较强的内建电场（自n区指向p区），则p区的电子进入n区，n区的空穴进入p区，使p端电势升高，n端电势降低，在pn结两端产生光生电动势，即为PN结的光生伏特效应。同理，由于光照在PN结两端产生光生电动势，即在PN结两端加上正向偏压V，则产生正向电流IF，在PN结开路时，光生电流等于正向电流，PN结两端建立起稳定的电势差VOC，即光电池的开路电压，这就是光电池的基本原理。南京太阳能异质结异质结电池提升了太阳能电池的转换效率、良率和产能，并极大降低了生产成本。

异质结电池的优势有，优势一：工艺流程短HJT电池主工艺有4道：制绒、非晶硅沉积、TCO沉积、丝网印刷；远少于PERC（10个）和TOPCON（12-13个）；其中，非晶硅沉积主要使用PECVD方法。TCO薄膜主要有两种方法：RPD(反应等离子沉积)和PVD。优势二：转换效率高得益于N型硅衬底以及非晶硅对基底表面缺陷的双重钝化作用。目前量产效率普遍已在25%以上；更高的转化效率需要在前后表面使用掺杂纳米晶硅、掺杂微晶硅、掺杂微晶氧化硅、掺杂微晶碳化硅取代现有的掺杂。HJT效率潜力超28%，远高PERC电池。优势三：无LID&PID，低衰减无LID与PID：由于HJT电池衬底通常为N型单晶硅，而N型单晶硅为磷掺杂，不存在P型晶硅中的硼氧复合、硼铁复合等，所以HJT电池对于LID效应是免疫的。HJT电池的表面沉积有TCO薄膜，无绝缘层，因此无表面层带电的机会，从结构上避免PID发生。低衰减：HJT电池首年衰减1-2%，此后每年衰减0.25%，远低于PERC电池掺镓片的衰减情况（首年衰减2%，此后每年衰减0.45%)，因此HJT电池全生命周期每W发电量高出双面PERC电池约1.9%-2.9%。

异质结（Heterojunction with Intrinsic Thin-layer，HJT）电池为对称的双面结构，主要由 N 型单晶硅片衬底、正面和背面的本征/掺杂非晶硅薄膜层（包括 N 型非晶硅薄膜 n-a-Si:H、本征非晶硅薄膜 i-a-Si:H 和 P 型非晶硅薄膜 p-a-Si:H）、双面的透明导电氧化薄膜(TCO) 层和金属电极构成。其中，本征非晶硅层起到表面钝化作用，P型掺杂非晶硅层为发射层，N 型掺杂非晶硅层起到背场作用。HJT是很有潜力优势的技术，在将来HJT电池与钙钛矿技术进行复合叠层，突破转换效率30%成为可能。光伏异质结的结构简单，由非晶硅层和晶体硅层组成，具有制造工艺简单、快速和低成本的优势。

光伏异质结的制造工艺主要包括以下几个步骤：1.基片制备：选择合适的基片材料，如硅、镓砷化镓等，进行表面处理和清洗，以保证后续工艺的顺利进行。2.沉积薄膜：利用化学气相沉积、物理的气相沉积等技术，在基片表面沉积一层或多层薄膜，如n型或p型掺杂层、金属电极等。3.制造异质结：通过掺杂、扩散、离子注入等方法，在基片表面形成n型和p型半导体材料的异质结。4.退火处理：将制造好的异质结进行高温退火处理，以提高其电学性能和稳定性。5.制造封装：将制造好的光伏异质结进行封装，以保护其免受外界环境的影响，并方便其在实际应用中的使用。以上是光伏异质结的制造工艺的基本步骤，不同的制造工艺可能会有所不同，但总体上都是在这些基本步骤的基础上进行的。光伏异质结是一种高效太阳能电池，具有高转换效率和长寿命的优点。四川钙钛矿异质结CVD

光伏异质结技术可以与其他先进技术相结合，如微晶硅钝化、选择性发射极等，进一步优化电池性能。安徽高效异质结设备

釜川自主研发的“零界”高效异质结电池整线制造解决方案已实现设备国产化，该解决方案叠加了双面微晶、无银或低银金属化工艺，提升了太阳能电池的转换效率、良率和产能，并极大降低了生产成本。釜川以半导体生产设备、太阳能电池生产设备为主要产品，打造光伏设备一体化服务。拥有强大的科研团队，凭借技术竞争力，在清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、电镀铜设备等方面的有独特优势；以高效加工制造、快速终端交付的能力，为客户提供优质的整线工艺设备的交付服务。安徽高效异质结设备