高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。 微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度,及吸附能力非常强等特点.梅州原装微孔陶瓷真空吸盘供应商家
种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。 茂名微孔陶瓷真空吸盘联系人应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序.
一、陶瓷的增韧方法目前,陶瓷的增韧方法主要有:相变增韧、颗粒增韧、纤维增韧、自增韧、弥散韧化、协同增韧、纳米增韧等。1、相变增韧相变增韧是指亚稳定四方相t—ZrO2在裂纹前列应力场的作用下发生一相变,形成单斜相,产生体积膨胀,从而对裂纹形成压应力,阻碍裂纹扩展,起到增韧的作用。此外,外界条件(如激光冲击、疲劳断裂韧性、低温、晶粒尺寸和含量、临界转变能量等)对氧化锆陶瓷相变增韧有很大的影响,如果相变产生大的应力和体积变化,则产品容易断裂,因此生产过程中,应避免外界因素对氧化锆陶瓷相变增韧的影响。
D、加压速度和保压时间加压速度和保压时间控制不好也会造成氧化锆坯体出现分层等缺点。压模下落的速度应缓慢一些,如加压速度过快,则坯体中气体不易排出,从而导致坯体出现分层,表面致密而中间松散,以及存在气泡等现象。如保压时间过短,则压力还未传到应有的深度时,外力就已卸掉,这样坯体中气体不易排出,就难以得到较为理想的坯体,会导致坯体出现分层以及存在气泡等现象。同时保压时间应均匀一致,否则会引起产品厚薄不均,造成废品。 旧型的真空固定板都是利用铝板和不锈钢板上的槽或孔来吸附加工物的。
组织遗传制备工艺
该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织,将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板,1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单,成本低廉,但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织,可设计性较差,同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂,之后在1200℃左右热解,冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。
采用粗细均匀的颗粒,加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀.徐汇区官方微孔陶瓷真空吸盘设计
微孔陶瓷真空吸盘的着眼点及产品特点.梅州原装微孔陶瓷真空吸盘供应商家
挤出成型多孔蜂窝陶瓷
蜂窝陶瓷的成型方法有许多种,挤出成型是**普遍采用的制造方法之一。它的工艺流程为:原料合成-混和-挤出成型-干燥-烧成制品
固相烧结工艺
固相烧结工艺利用微细颗粒易于烧结的特点,在骨料中加入相同组分的微细颗粒,在一定的温度下微细颗粒通过蒸发和迁移,在大颗粒连接部烧结,从而将大颗粒连接起来。由于每一粒骨料*在几个点上与其他颗粒发生连接,因而在烧结体中形成大量的三维贯通孔道。
凝胶注模工艺
凝胶注模工艺源于20世纪90年代,美国橡树岭国家实验室**早将传统陶瓷成型技术与高分子化学反应结合在一起,研制出这种新型陶瓷制备工艺。凝胶注模工艺过程是一个原位成型过程,主要利用有机单体或少量添加剂的化学反应原位凝固成型,获得具有良好微观均匀性和一定强度的坯体,而后烧结制得成品。 梅州原装微孔陶瓷真空吸盘供应商家
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