微米级超精密晶圆卡盘

微泰，生产各种用于 MLCC 和半导体的精密真空板。工业真空盘由于其吸气孔较大，会对被吸物造成伤害，因此精密真空板的需求越来越大。 薄膜等薄片型产品，如果孔较大，可能会造成产品损伤或压花。因此市场需求超精密多微孔真空板。微泰生产并为工业领域提供高精度真空板，这些板由 Φ0.1 到Φ0.03 的微孔组成。半导体行业普遍使用陶瓷真空板，但由于其颗粒大，很难控制平面度及均匀的压力。客户对真空板的重要性日益凸显。 其尺寸各不相同，均匀压力管理有所不同。但根据客户的需求，我们生产并提供了质量优、性能优的真空板，并提供平面度0.001um和Φ0.03um的真空板（吸膜板，吸附板）。微泰产品应用于半导体用真空卡盘、薄膜吸膜板，吸附板，倒装芯片键合真空块、MLCC 堆叠Vacuum Plate、MLCC印刷吸膜板。超精密激光加工钻孔也可以在电子产品表面，也可用于手机扬声器、麦克风及其他玻璃上的钻孔。微米级超精密晶圆卡盘

一般来说，抛光是指使用陶瓷浆料的机械抛光，以及主要用于工业领域和蓝宝石抛光。激光抛光技术在技术上经常被提及，但并未应用于工业领域。 这使我们的微泰感到抛光技术的需求，以便在精细磨削后对精细的平面进行校正。我们与国际的研究机构合作，开发了激光抛光设备并将其应用于工业领域。 激光抛光技术是微泰的一项自主技术，它被广泛应用于大面积抛光和磨削后精细校正以及图案化技术。激光抛光特点是可以抛光异形件，复杂的图案，大面积均衡抛光，局部选择性抛光，抛光机动灵活，抛光时间短等特点。激光抛光原理和方法：1.扫描测量被加工表面台阶; 2.测量结果转化制作等高线数据 ; 3.按高度剖切曲面 ,进行打磨抛光； 4.每个表面的激光抛光不同条件下MAX限度地减少因间隙和齐平造成的加工错误。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率，利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有，清洗效果；抛光效果超快激光超精密液体流量阀激光超精密加工的对象范围很宽，包括几乎所有的金属材料和非金属材料，适于材料的打孔、焊接、表面改性等。

现有物理切削技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油,加工后需要清洗纳秒激光加工有以下问题：细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形，表面物性发生变化，周围会产生多个颗粒飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题-热影响极小，可以局部加工-不需要切削油和化学药剂-细微裂纹极少化表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻画低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果）抛光后，[AOI（自动光学检查）]对孔不良进行检测（手动或自动）（光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。加工部件激光光学系统位移传感器、光学相机、防撞传感器滑门及外盖实用程序系统控制系统该激光加工设备环保，有利于工艺自动化，本公司通过各工序的联动及生产自动化，推进智能工厂化，成为超精密激光加工系统领域全球企业，上海安宇泰环保科技有限公司

微泰，采用先进的飞秒激光的高速螺旋钻削自主技术，进行产业所需的各种形状的微孔加工，MIN可做到5微米的微孔，公差可做到±2微米，孔距可做到0.3微米。还可以进行MAX10度角的倒锥孔和各种几何形状的微孔，飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。微泰，利用飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。四百四十毫米平面方板，平坦度可以做到5微米以下，表面粗糙度RA达0.1微米以下，可以钻5微米的孔，圆度可以达到95%以上，可以加工不同形状和尺寸的微孔。可以加工多种材料，包括 PCD、 PCBN、陶瓷、硬质合金、不锈钢、热处理钢、钼，我们专注于生产需要高难度、高公叉和高几何公叉的产品，并以 30 年的磨削技术、成型技术、钻孔技术和激光技术为后盾，解决客户的难题，力求客户满意。有问题请联系超精密激光切割的切缝小、变形小、切割面光滑、平整、美观，无须后序处理。

先进的螺旋钻孔系统是用于加工各种机械零件的高精度微孔的设备，是基于飞秒激光的高速扫描仪系统。在利用现有的纳秒激光加工微孔时，由于长激光脉冲产生的热量积累，会在孔周围生成颗粒。出现了表面物性值变形等各种问题。飞秒激光利用相对较短的激光脉冲，热损伤很小，加工对象没有物性变形层，表面平整，实现超精密微孔加工。本系统的利用先进的螺旋钻孔技术，采用高速螺旋钻削技术。应用扫描仪，您可以在任何位置自由调整聚焦点，还可以调节激光束的入射角，从而实现锥度、直锥度可以进行倒锥度等，所需的微孔和几何加工。本系统通过调整入射角和焦距，可以进行产业所需的各种形状的加工，可以进行30um到200um的精密孔加工。此外，还可以进行MAX10度角的倒锥孔和三维加工。微孔检测系统，激光加工完成后，将载入相应的坐标信息。通过视觉扫描，确认每个微孔的大小和位置信息，并将其识别合格还是不合格。收集完成后，按下返工按钮即可进行再加工。本技术适用于，需要超精密加工的半导体制造设备零件、医疗领域设备及器材配件，各种传感器相关配件，适用于光学相关设备和零件的精密加工领域。超精密激光加工系统领域全球企业，上海安宇泰环保科技有限公司

航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。高精度超精密超精细

超精密加工中的微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术。微米级超精密晶圆卡盘

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油, 加工后需要清洗，异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题：产生细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形， 表面物性发生变化， 周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题 -热影响极小，可以局部打磨，异形件打磨，不需要化学药剂  -细微裂纹极少化  表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。 高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起  中等功率，利用中等功率激光可以刻画  低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果） 抛光后，[A O I（自动光学检查）]  对孔不良进行检测（手动或自动） （光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。微米级超精密晶圆卡盘