分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵的返流率:泵的返流率 单位是g/cm2.s。干泵供应商
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,比较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用。真空泵油的耐热安定性:表示油品的耐高温才能,也就是光滑油对热合成的抵御才能,即热合成温度。一些苛刻的真空运用环境都会对真空油品提出热安定性的请求。自然矿物油均有其不可防止的缺陷,耐热性能要比合成油差,泵油的成份随热氧化合成极易劣化,极限压力稳定性差,抽速也随运用时间降落。普通纯矿物油氧化实验法D943为几百小时左右,而合成油的D943可延长到3000小时以上。可见其运用寿命得到延长。单双级旋片式真空泵哪里买智选德迈克真空泵,耐用高效,为精密制造保驾护航。
气体捕集泵,这种泵是一种是气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,有以下几种型式:吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。吸气剂泵:它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种形式。吸气剂离子泵:它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。
真空泵机械选择:真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施;了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等;真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。真空泵常用名称:①主泵、②前级泵、②前级泵。
真空泵油的抗泡性:真空泵在运转过程中,由于有空气存在,常会产生泡沫,特别是当油品中含有具有外表活性的添加剂时,则更容易产生泡沫,而且泡沫还不易消逝。光滑油运用中产生泡沫会使油膜毁坏,不只使摩擦面发作烧结或增加磨损,并促进光滑油氧化蜕变。运转中的真空系统内气领会经过密封的真空泵油层不时排出,排出的气领会在油层外表产生大量的气泡,并从泵的排气孔中溢出,形成油品损失和设备污染。加防抗泡剂的泵油,在抗泡效果上有明显进步。螺杆真空泵它应用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,两螺杆经精密动均衡校正,由轴承支撑,装置在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因而泵工作时,互相之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需光滑油,因而,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场所,极限真空更高,耗费功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。从精密实验室到大型生产线,德迈克节能真空泵提供多方位的节能解决方案,满足不同行业的特定需求。罗茨真空泵代理企业
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气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出的工具,他是借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型,分别是变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵:利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种:(1)往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。(2)旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。干泵供应商