PVD闸阀L型转移阀

微泰，专门用闸阀应用于• Evaporation• Sputtering• Diamond growth by MW-PACVD• PECV• PVD• Coating• Etch• Diffusion（扩散）•CVD等设备上。可替代VAT闸阀。期特点是*使用维修配件工具包易于维护*将电磁阀和位置传感器连接到15针D-Sub*锁定功能*限位开关*•速度控制器&电磁阀（2Port+N2Port）用不锈钢管连接（φ6）*应用:泵隔离,产品工艺水平要求高的地方。专门用闸阀规格如下：驱动方式：气动、法兰尺寸：4英寸~ 8英寸、法兰类型：ISO, JIS, ASA, CF、连接方式：焊接波纹管、阀门密封：氟橡胶O型圈/Kalrez O型环/EPDM、阀盖密封：Viton O型圈、响应时间：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作压力范围：1.5˝ ~ 6˝ : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8˝ ~ 12˝ : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、开始时的压差：≤ 30 mbar、闸门的差动压力：4˝ ~ 6˝ : ≤ 1400 mbar / 8˝ ~ 14˝ ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次维护前可用次数：200,000次、阀体温度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤炉温度≤ 150 °C、材料：阀体(不锈钢304)/驱动器(铝6061阳极氧化)、安装位置：任意、操作压力(N2)：4 ~ 7 bar。有中国台湾Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亚半导体、日本Micron、三星半导体业绩。

真空闸阀由一个滑动门或板组成，可以移动以阻止或允许通过真空阀体，从而有效地将腔室与外部环境隔离。PVD闸阀L型转移阀

真空闸阀的选择需要考虑以下几个关键因素：1.应用环境：确定真空闸阀将用于何种真空环境，例如实验室、工业生产或特殊应用等。2.真空度要求：根据应用需求选择合适的真空度范围，确保闸阀能够满足工作环境的真空度要求。3.材料：选择闸阀的材料应考虑耐腐蚀性、耐温性以及与介质的兼容性。4.尺寸和接口：根据系统管道的尺寸和接口类型选择合适的闸阀尺寸和连接方式。5.流量要求：根据系统流量需求选择合适的闸阀，确保其能够满足最大流量要求。6.控制方式：选择手动、气动或电动等控制方式，以适应不同的操作需求。7.品牌和质量：选择信誉良好、质量可靠的制造商，确保闸阀的性能和寿命。8.维护和售后服务：考虑制造商提供的维护支持和售后服务，以确保长期使用中的问题能够得到及时解决。综合以上因素，选择适合您具体需求的真空闸阀。韩国进口闸阀蝶阀微泰，高压闸阀应用于• PECV• PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷对卷）•CVD（化学气相沉积）等设备上。

闸阀是一种常见的线性阀门类型，可在地上或地下的管道中找到。闸阀被设计用于启停流体通过管道的流动，允许用户在需要时隔离管道的一部分。它们通常被称为水闸阀或闸阀。当人们问什么是闸阀时，他们通常会有更多关于闸阀的外观、部件组成、不同类型之间的区别以及工作原理的信息需求。我们将在本指南的各个部分中涵盖所有这些方面。闸阀通常由阀体本身和用于打开和关闭阀门的手轮执行器组成，阀体本身安装在管道上的直通管道中。这种多圈转动的轮组通常延伸在管道和阀门的上方或侧面，通过一根杆与盖头组件相连。可以顺时针旋转打开阀门，逆时针旋转关闭阀门。闸阀的优点是，它们提供了完全关闭水流以进行故障排除、维护和管道清洗任务的能力。它们也可以双向使用，在上游和下游方向上阻止流动，并且在操作中不会导致重大压力损失。在某些情况下，闸阀的局限性可能是它们打开或关闭的速度不够快。此外，它们并不设计成通过部分开启或关闭来调节或控制流量。本指南旨在详细解释闸阀是什么，它们的用途是什么，它们是如何工作的，以及英国可购买的不同类型闸阀。

闸阀是各种类型阀门中应用很多的阀门。闸阀根据闸板的的构造又分为两大类：楔式闸板和平板闸板。楔式闸阀是闸阀中应用很广的闸阀，它的密封面与垂直中心线形成某个角度，即两个密封面形成楔形。密封面的倾斜角度有2度52分，5度，8度，10度等。角度的大小取决于介质温度的高低，一般工作温度越高，所取角度越大，以减少温度变化时发生楔住的可能性。楔式闸阀中，又有双闸板、单闸板和弹性闸板之分。双闸板的优点是：对密封面的角度的精度要求不高，温度变化不易引起楔住现象，密封面的磨损可以在维修时加垫片补偿。缺点是，这种结构零件较多，同时在粘性介质中容易粘结，影响密封。尤其是当上下挡板或螺栓螺母强度常年锈蚀后闸板容易脱落失效。闸阀流动阻力小。阀体内部介质通道是直通的，介质成直线流动，流动阻力小。

真空闸阀的工作原理真空闸阀的工作原理是通过旋转阀杆来驱动阀瓣的开启和关闭，从而控制流体介质的流通。在关闭状态下，阀瓣紧密贴合阀座，形成真空密封，防止气体泄漏。在开启状态下，阀瓣离开阀座，流体介质得以通过。真空闸阀的开关动作通常通过手动、电动或气动执行机构实现，以满足不同应用场景的需求。真空闸阀的应用领域真空闸阀广泛应用于各种真空系统和工艺过程中，如半导体生产、电子设备制造、科研实验、航空航天等领域。在这些领域中，真空闸阀发挥着至关重要的作用，能够确保真空系统的稳定性和可靠性，提高产品质量和生产效率。闸阀（gate valve）是一个启闭件闸板，闸板的运动方向与流体方向相垂直，闸阀只能作全开和全关。超大型真空闸阀HV GATE VALVE

真空闸阀是真空系统中用于控制气体进出真空室的机械装置。PVD闸阀L型转移阀

微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。它充当将位于工艺模块中的晶圆转移到工艺室的沟槽。此外，它极大限度地减少了由于闸板打开和关闭造成的真空压力变化，使腔室内的真空压力得以维持。负责门控半导体晶圆转移的转移阀分为两种类型:I型和L型。一、I型转移阀。I型转移阀产品由铝或不锈钢制成，用于传输晶圆小于450毫米的半导体系统和隔离工艺室。本型的特点是叶片在垂直方向上快速移动，确保完美的腔室压力维持。它采用具有LM导向系统和单连杆的内部机构，保证高耐用性和长寿命。二、L型转移阀。L型转移阀产品由铝或不锈钢制造，其特点是设计紧凑，易于维护。L型转移阀的特点是闸门在两个阶段从垂直到水平方向移动，确保完美的腔室压力维护。它的内部机构，包括一个LM导向系统和滞留弹簧和楔形营地结构，保证了高耐用性和长寿命，同时提供稳定和精确的运动。I型和L型转移阀在在闸门开启和关闭过程中极大限度地减少了振动，并且对温度变化非常稳定，确保了较长的使用寿命。此外，即使长时间使用栅极，它们产生的颗粒也很少，从而避免了晶圆缺陷或主器件的污染。微泰不断创新，在开发先进的压力控制和控制阀制造专业从事真空闸阀不懈努力。PVD闸阀L型转移阀