山东精密电镀设备

志成达研发的真空机，在电镀设备中的作用？

主要体现在某些特定的电镀工艺（如真空电镀或物相沉积）中，真空机为电镀过程提供必要的真空环境，从而提升镀层质量。以下是两者的具体关联及协同作用：

1. 真空环境在电镀中的作用

避免氧化与污染：真空环境可排除空气中的氧气、水蒸气和其他杂质，防止镀层氧化或污染，提高金属镀层的纯度。

增强附着力：在低压条件下，金属粒子动能更高，能更紧密地附着在基材表面，提升镀层的结合强度。

均匀性与致密性：真空环境减少气体分子干扰，使金属沉积更均匀，形成致密、无缺陷的镀层。

2. 主要应用工艺

真空电镀（物相沉积，PVD）：工艺过程：通过真空机将腔室抽至低压（如10⁻³至10⁻⁶ Pa），利用溅射、蒸发或离子镀等技术，将金属材料气化并沉积到工件表面。典型应用：手表、首饰、手机外壳的金属镀层，以及工具、刀具的耐磨涂层。

化学气相沉积（CVD）：工艺特点：在真空或低压环境中，通过化学反应在基材表面生成固态镀层（如金刚石涂层或氮化钛），常用于半导体或精密器件。

应用领域

电子工业：半导体元件、电路板的金属化镀层。

汽车与航天：发动机部件、涡轮叶片的耐高温涂层。

消费品：眼镜框、手机中框的装饰性镀膜。 在线监测设备搭载 AI 算法，实时分析镀层缺陷（如麻点、漏镀），自动调整电流参数提升良品率。山东精密电镀设备

如何选择适合的电镀周边设备？

需结合工艺需求、生产规模、预算及环保要求，以下建议：

一、明确需求

1.工艺类型根据镀层种类选择设备，例如镀铬需耐高温镀槽，镀金需高精度整流器。前处理/后处理流程决定是否需要超声波清洗机、甩干机等配。

2.生产规模中小批量：优先选择模块化设备（如可扩展的镀槽、单机过滤机），降低初期投入。大规模量产：考虑自动化生产线（如机器人上下料、PLC集中控制系统），提升效率。

3.镀层质量要求高精度产品（如电子元件）：需配备在线检测设备（如X射线测厚仪）、恒温恒湿控制系统。普通五金件：可选基础检测设备（如磁性测厚仪）。

二、关键设备选型要点

1.镀槽材质：酸性选聚丙烯（PP），高温强碱选聚四氟乙烯（PTFE）。尺寸：根据工件大小和产能计算槽体容积，预留10%-20%余量避免溢出。

2.整流器优先选择高频开关电源（节能30%以上），输出电流需覆盖最大负载的120%。复杂工艺（如脉冲电镀）需配置可编程整流器。

3.过滤系统精密电镀（如PCB）：采用多级过滤（滤芯+超滤膜），精度≤1μm。常规电镀：选用袋式过滤机，精度5-25μm即可。

4.环保设备废气处理：酸雾量大时选喷淋塔+活性炭吸附废水处理：重金属废水需配备离子交换或反渗透（RO）系统 四川电镀设备滚镀后的离心甩干设备内置防滑衬垫，高速旋转时固定工件，避免碰撞损伤并加速脱水。

电镀设备的组成

1.电解电源系统

提供稳定直流电，通常采用高频开关电源或硅整流器，电压范围0-24V，电流可调至数千安培，满足不同镀种需求。

2.电解槽体结构

耐腐蚀材质槽体（如PP/CPVC/PVDF），尺寸设计依据生产需求，典型容积0.5-10m³，配置防渗漏双层结构。

3.电极系统

阳极组件：可溶性金属（如镍板）或不溶性阳极（钛篮+金属球），配置阳极袋防止杂质扩散

阴极挂具：定制化设计，确保工件均匀受镀，接触电阻＜0.1Ω

4.工艺控制系统

温控精度±1℃，流量控制误差＜5%

在线pH监测（±0.1精度）

安培小时计控制镀层厚度

设备分类与技术参数

类型                    适用场景                  产能(㎡/h)              厚度均匀性                 典型配置

挂镀线                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龙门架，PLC控制        滚镀系统            小件批量处理                  3-8                      ±15%                    六角滚筒，变频驱动          连续电镀线           带材/线材                     10-30                     ±8%                    张力控制+多槽串联          选择性电镀             局部强化                   0.1-0.5                   ±3%                   数控喷射装置，微区控制

滚镀机的工作原理

将小工件装入带孔的滚筒（聚氯乙烯或不锈钢材质），滚筒浸入电解液后缓慢旋转（5~15 转 / 分钟），通过滚筒壁的孔洞使电解液流通，同时工件在滚筒内翻滚，确保镀层均匀附着。

优势：

高效率：单次可处理数千件小工件，产能远超挂镀（适合单件或少量）。

低成本：减少人工挂卸成本，滚筒导电杆统一通电，能耗相对较低。

均匀性：工件在滚筒内动态接触电解液，避免屏蔽效应（挂镀中工件相互遮挡导致镀层不均）。

与生产线其他环节的配合

前处理：需先通过除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮，否则影响镀层结合力（滚镀机不具备前处理功能，依赖生产线前段设备）。

后处理：滚镀完成后，工件随滚筒吊出，进入水洗槽、钝化槽或封闭槽（如镀锌后的蓝白钝化），终干燥（生产线后段设备完成）。

自动化控制：滚镀机的转速、电镀时间、电流电压等参数由生产线 PLC 系统统一控制，与传输装置（如行车）联动，实现 “上料→前处理→滚镀→后处理→下料” 全流程自动化。 脉冲电化学抛光设备结合电镀与抛光功能，通过瞬间高电流溶解凸起部分，实现镜面级镀层表面。

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 搅拌设备通过空气鼓泡或机械桨叶驱动电解液流动，避免浓度分层，提升镀层均匀性与沉积效率。山东精密电镀设备

连续镀生产线的导电辊镀覆耐磨碳钨涂层，降低钢带传输摩擦，避免划伤与镀层缺陷。山东精密电镀设备

电镀废气处理抽风设备分类：

按工作原理及结构分类：

离心风机：风压高、风量较大，适用于需要克服较大阻力

轴流风机：具有风量大、风压低的特点。适合在对通风量需求大、阻力较小的环境

屋顶风机：安装于电镀车间屋顶，可直接将车间内废气排至室外。其优点是不占室内空间，安装简便

防爆风机：针对电镀废气含易燃易爆气体（如有机溶剂挥发气）的情况设计，采用特殊防爆结构与材料，防止运行中产生电火花引发炸掉，保障生产安全

按材质及防腐特性分类

玻璃钢风机：处理电镀过程中产生的强腐蚀性酸碱废气，且质量较轻、强度较高、使用寿命长

不锈钢风机：用于对耐腐蚀有一定要求且废气中颗粒物磨损性较强的电镀废气抽取

防腐涂层或特殊防腐工艺处理的普通金属风机：抽风设备搭配集气罩、通风管道等部件，组成完整的抽风系统，将电镀废气高效收集并输送至后续处理设备，如酸雾净化塔、活性炭吸附装置等。

电镀废气处理抽风设备的组成：

自动线线外连接抽风系统

PP抽风管连接，抽风连接口采用方形变通连接室外抽风系统

可根据不同种类废气和不同排放量以及现场情形适当设计制，并负责安装调试，抽风效果好

适用于氧化、电镀、涂装、印刷等行业多种碱性、有毒气体抽排（退挂、除锈等）

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