韩国加工超精密半导体卡盘

超精密加工为了提升工艺的精细度，超精密加工会使用到高精度位置感测器(displacementsensor)、高阶CNC(computernumericalcontrol)控制器等进阶设备。由于精度高的缘故，常应用在光学元件，如：雷射干涉系统、光碟机的读取透镜、影印机与印表机用的fq镜面、数位相机或手机相机的光学镜头等；也会应用在机械工业如：电脑硬碟、光纤固定与连接装置、高精度射出或模造用模具…等。此外，航空及航海工业中导航仪器上特殊精密零件、雷射仪、光学仪器等也会运用超精密加工的技术。激光超精密加工的切割面光滑：激光切割的切割面无毛刺。韩国加工超精密半导体卡盘

激光钻孔是一种非接触式孔加工工艺，使用高度集中的光束在从金属到非金属和聚合物等各种材料上钻孔。利用高功率激光脉冲或摆动钻孔技术，激光钻孔可以穿透较薄或较厚的材料。激光钻孔系统既能进行点射钻孔，也能进行即时钻孔，以减少对系统运动的干扰。激光钻孔具有高度精确性和可重复性，几乎能钻出任何形状和尺寸的孔，直径小至几微米，分辨率较高。作为一种非接触式工艺，激光钻孔是制造深度直径比超过10:1的低锥度、高剖面比孔的方法之一。根据材料特性，激光钻孔每秒可钻数百甚至数千个孔。半导体超精密真空卡盘超快激光采用的超短脉冲激光是利用场效应进行加工，不仅可以达到更高的精度，并且不会对材料表面造成损伤。

微泰利用激光制造和供应精密切割产品。在MLCC印刷过程中，如果需要对精密面罩板或复杂形状的产品进行精确的切割，则通常的激光切割供应商会遇到难以处理的难题。然而，微泰拥有激光加工技术，能够进行精密切割加工，并生产和提供高质量的激光切割产品，满足客户的需求。应用于MLCC掩模板阵列遮罩板，测包机分度盘。各种MLCC设备精密零件。掩蔽夹具：在MLCC制造过程中进行溅射涂层；在凹槽宽度公差(+0.01)范围内进行加工、去毛刺同时需要平面度；微泰使用超精密激光设备，超高速加工MLCC掩模板阵列遮罩板

精密加工听起来很遥远，其实与我们生活中非常贴近！像是前文有提到的航太、能源、医疗、半导体等产业都是因为有高精度的加工才能稳定成长。接下来也将跟你分享我们过去如何透过精密加工技术来成就这4个领域。 防卫产业侦查、爆破还是防御系统，都是不可或缺的领域，而这些都必须要有高质量的精密加工，才能稳定成就安全保卫的环节。像是侦查系统，就有光学感测、红外线感测、雷达、无线电传感器、声学等技术支援，且需要在极端气候如：沙漠、深海、极地地区保持良好的准确性，才能在紧要关头时侦测到敌方的一举一动。 能源产业不管是过往的天然气、火力发电，到近年来盛行的绿色能源都与精密加工密不可分！比如说太阳能、风电设备等，就非常需要耐用和可靠的零件和产品，才能稳定排放出废料，维持良好的电力输出。 半导体产业半导体产业在零件的要求不仅精度高，且还需大规模生产，才能创造出具有高创造性、竞争力的晶圆。半导体产业会运用精密加工的五轴CNC机床及车铣设备加工，到热处理、化学表面处理技术，任一工法缺一不可，才能拥有精密模组及零件也可以支援研发端在技术上有所突破，提升产品的竞争力！超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技术，它可以减少工业废物，同时将有害物质的排放量降低。

在过去相当长一段时期，由于受到西方国家的禁运限制，我国进口国外超精密机床严重受限。但当1998年我国自己的数控超精密机床研制成功后，西方国家马上对我国开禁，我国现在已经进口了多台超精密机床。我国北京机床研究所、航空精密机械研究所（航空303）、哈尔滨工业大学、科技大学等单位现在已能生产若干种超精密数控金刚石机床。北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达0.025μm的精密轴承、JCS—027超精密车床、JCS—031超精密铣床、JCS—035超精密车床、超精密车床数控系统、复印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、超精密振动－位移测微仪等，达到了国际先进水平。透过超精密加工产生出来的零件精细度高，不仅能提升产品的品质与耐用度，还能达到客制化的效果。半导体超精密精密喷嘴

通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。韩国加工超精密半导体卡盘

精密加工小知识：IT是加工精度的衡量单位，主要为衡量生产产品的精度、品质、加工误差。IT后面的数值愈大，表示精度越低、误差越大，如IT9就比IT5来的粗糙；公差等级从IT01，IT0，IT1，IT2，IT3至IT18一共有20个。精密加工技术特色介绍随着时代变化，工业能力的不断进步，有可能现在的精密加工也会变成明天的粗加工。常见工艺过程有：车削、铣削、钻孔、插齿、珩磨、磨削等；若有特殊需求，在车床加工完后还会多一道热处理的方式，包括：渗碳，淬火，回火等，提升硬度、机械规格。目前精密加工技术能应用在「所有的」金属材料、塑料、木材、石磨与玻璃上，但由于不同材质的表面都有所差异，所以切割与研磨等数值都需在CAD（计算机辅助设计）或CAM（计算机辅助制造）程序上架构好，并严格遵守才能确保产品品质、降低误差。由于材料范围广且精度高，精度加工技术普遍会应用在航太业、医疗器材、太阳能板零件等。此外，当精密加工已无法达到更好的形状精度(formaccuracy)、表面粗糙度(surfaceroughness)与尺寸精度时，就会需要使用到超精密加工的技术。韩国加工超精密半导体卡盘