1.前处理:晶圆清洗、去氧化层、活化表面。
2.装载:将晶圆固定于旋转载具,浸入镀液。
3.电镀:
施加电流,金属离子在晶圆表面还原沉积。
旋转载具确保镀液流动均匀,消除厚度差异。
4.后处理:镀层退火、清洗、干燥。
1.高均匀性:
旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象,镀层均匀性达±5%以内。
2.精密控制:电流密度精度:±1 mA/cm²;温度波动:±0.5℃。
3.洁净度保障:设备内建HEPA过滤系统,满足Class 1000以下洁净环境。
4.高效生产:支持多片晶圆同时处理(如6片/批次),UPH(每小时产量)可达50~100片。
1.先进封装:2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金属化(镀银、镀镍)。
3.传感器与MEMS:微结构表面镀金,提升电气性能与可靠性。 工件篮设备用于篮镀工艺,网孔大小根据工件尺寸定制,兼顾电解液流通性与防止小件掉落。湖南挂镀电镀设备

电镀设备是通过电解反应在物体表面沉积金属层的装置,用于形成保护性或功能性涂层。
其系统包括:
电解电源:提供0-24V直流电,电流可达数千安培,适配不同镀种需求;
电解槽:耐腐蚀材质(如PP/PVDF),双层防漏设计,容积0.5-10m³;
电极系统:阳极采用可溶性金属或不溶性钛篮,阴极挂具定制设计,确保接触电阻<0.1Ω;
控制系统:精细温控(±1℃)、pH监测(±0.1)及镀层厚度管理。
设备分类:
挂镀线:精密件加工,厚度均匀性±5%;
滚镀系统:小件批量处理,效率3-8㎡/h;
连续电镀线:带材/线材高速生产,产能达30㎡/h;选择性电镀:数控喷射,局部镀层精度±3%。技术前沿:脉冲电镀:纳米晶结构(晶粒<50nm),孔隙率降低60%;
复合电镀:添加纳米颗粒(SiC/Al₂O₃),硬度达HV1200;智能化:机器视觉定位(±0.1mm),大数据实时优化工艺。环保与应用:闭路水循环(回用率>90%)及重金属回收技术;汽车(耐盐雾>720h)、PCB(微孔镀铜偏差<8%)、航空航天(耐温800℃)等领域广泛应用。设备正向高精度、低能耗、智能化发展,纳米电镀等新技术持续突破工艺极限。选型需结合基材特性、镀层需求及成本综合考量。 海南电镀设备定做价格废气处理设备配套槽边吸气罩与洗涤塔,中和电镀过程中挥发的酸碱废气,符合环保排放要求。

阳极氧化线是专门用于金属表面阳极氧化处理的成套生产线,通过电化学方法在金属(如铝、铝合金、镁合金、钛合金等)表面生成一层致密、多孔的氧化膜(如Al₂O₃),以提升工件的耐腐蚀性、耐磨性、绝缘性或装饰性。它是氧化生产线中常用的类型,在于利用外加电源使金属作为阳极发生氧化反应,形成与基体结合牢固的氧化膜层。
阳极氧化线的原理(电化学氧化)原理:
将金属工件(如铝)作为阳极,浸入电解液(如硫酸、草酸、铬酸溶液)中,接通直流电源后,阳极发生氧化反应:
阳极(金属):2Al+3H2O→Al2O3+6H++6e−(以铝为例)
阴极(惰性电极,如铅板、不锈钢):6H++6e−→3H2↑
反应生成的氧化膜(Al₂O₃)紧密附着在金属表面,初始膜层多孔,可通过后续处理(如染色、封孔)赋予更多功能。
膜层特性:多孔结构(孔径约10~20nm),膜厚可控(从几微米到200μm以上),硬度高(HV300~500),绝缘性优异(电阻率达10⁹~10¹²Ω・cm)。
主要体现在某些特定的电镀工艺(如真空电镀或物相沉积)中,真空机为电镀过程提供必要的真空环境,从而提升镀层质量。以下是两者的具体关联及协同作用:
避免氧化与污染:真空环境可排除空气中的氧气、水蒸气和其他杂质,防止镀层氧化或污染,提高金属镀层的纯度。
增强附着力:在低压条件下,金属粒子动能更高,能更紧密地附着在基材表面,提升镀层的结合强度。
均匀性与致密性:真空环境减少气体分子干扰,使金属沉积更均匀,形成致密、无缺陷的镀层。
真空电镀(物相沉积,PVD):工艺过程:通过真空机将腔室抽至低压(如10⁻³至10⁻⁶ Pa),利用溅射、蒸发或离子镀等技术,将金属材料气化并沉积到工件表面。典型应用:手表、首饰、手机外壳的金属镀层,以及工具、刀具的耐磨涂层。
化学气相沉积(CVD):工艺特点:在真空或低压环境中,通过化学反应在基材表面生成固态镀层(如金刚石涂层或氮化钛),常用于半导体或精密器件。
应用领域
电子工业:半导体元件、电路板的金属化镀层。
汽车与航天:发动机部件、涡轮叶片的耐高温涂层。
消费品:眼镜框、手机中框的装饰性镀膜。 脉冲电化学抛光设备结合电镀与抛光功能,通过瞬间高电流溶解凸起部分,实现镜面级镀层表面。

是专为电感类电子元件(如线圈、磁芯、电感器等)设计的电镀加工设备,其特点是采用双滚筒结构,结合滚镀工艺,以实现小型电感元件的高效、均匀镀层处理。
双滚筒设计:两个滚筒可同时或交替运行,一桶装卸时另一桶持续工作,减少停机时间,提升产能。
滚筒优化:采用绝缘耐腐蚀材质(如PP),开孔设计促进镀液流通,防缠绕结构适配电感元件的细小特性。
滚镀工艺:元件在滚筒内翻滚,通过电流作用均匀沉积镀层(如镍、锡、银),双桶可调控转速、电流等参数。
高效连续生产:双桶交替作业支持大规模电镀,尤其适合贴片电感(SMD)、磁环等小件批量处理。
镀层均匀稳定:滚筒旋转避免元件堆积死角,结合阴极导电设计,确保复杂形状表面镀覆一致性。
低损伤高适配:柔和翻滚减少碰撞损耗,可适配防腐、可焊、导电等多种镀层工艺需求。
典型场景:贴片电感、绕线电感、磁芯等镀镍(抗氧化)、镀锡(焊接)或镀银(高导)处理。
关键注意:需匹配元件尺寸选择滚筒孔径,定期维护镀液成分及导电触点,避免漏料或镀层缺陷。 搅拌设备通过空气鼓泡或机械桨叶驱动电解液流动,避免浓度分层,提升镀层均匀性与沉积效率。海南电镀设备定做价格
电镀槽体的防腐内衬采用聚四氟乙烯(PTFE),耐受强酸碱与高温,延长设备使用寿命 30% 以上。湖南挂镀电镀设备
电镀生产线其组成部分围绕 “前处理→电镀处理→后处理→辅助控制” 具体如下:
一、工艺处理系统
1. 前处理设备
除油装置:
化学除油槽:使用碱性溶液或表面活性剂,去除工件表面油污。
电解除油槽:通过电化学作用强化除油效果,分阳极除油(适用于钢铁件)和阴极除油(适用于铝、铜等易腐蚀金属)。
酸洗 / 活化设备:
酸洗槽-活化槽-水洗槽
2.电镀处理设备
镀槽主体:
按电镀方式分类:
挂镀槽:用于中大件或精密件
滚镀机:用于小尺寸、大批量工件(如螺丝、电子元件)
连续镀设备:针对带状 / 线状工件(如钢带、铜线)
槽体材料:根据电解液性质选择
3. 后处理设备
清洗系统:多级水洗(冷水洗、热水洗),去除镀层表面残留电解液,防止腐蚀。
钝化 / 封闭装置:
钝化槽:通过铬酸盐、无铬钝化剂等形成保护膜(如镀锌后的蓝白钝化、五彩钝化),提高耐腐蚀性。
封闭槽:用于多孔镀层(如阳极氧化膜),通过热水封闭或有机涂层封闭,增强膜层致密性。
干燥设备:
热风干燥箱:适用于小件批量干燥,温度可控(50~150℃)。
离心干燥机:滚镀后工件甩干(滚筒直接接入,快速去除表面水分)。
特殊处理:如镀后抛光(机械或电解抛光)、涂油(防锈)等。 湖南挂镀电镀设备