锁相热红外显微镜平台

致晟光电热红外显微镜（Thermal EMMI）系列中的 RTTLIT P20 实时瞬态锁相热分析系统，采用锁相热成像（Lock-inThermography）技术，通过调制电信号提升特征分辨率与灵敏度，并结合软件算法优化信噪比，实现显微成像下超高灵敏度的热信号测量。RTTLIT P20搭载100Hz高频深制冷型超高灵敏度显微热红外成像探测器，测温灵敏度达0.1mK，显微分辨率低至2μm，具备良好的检测灵敏度与测试效能。该系统重点应用于对测温精度和显微分辨率要求严苛的场景，包括半导体器件、晶圆、集成电路、IGBT、功率模块、第三代半导体、LED及microLED等的失效分析，是电子集成电路与半导体器件失效分析及缺陷定位领域的关键工具。热红外显微镜通过 AI 辅助分析，一键生成热谱图，大幅提升科研与检测效率。锁相热红外显微镜平台

非制冷热红外显微镜基于微测辐射热计，无需低温制冷装置，具有功耗低、维护成本低等特点，适合长时间动态监测。其通过锁相热成像等技术优化后，虽灵敏度（通常 0.01-0.1℃）和分辨率（普遍 5-20μm）略逊于制冷型，但性价比更高，。与制冷型对比，非制冷型无需制冷耗材，适合 PCB、PCBA 等常规电子元件失效分析；而制冷型（如 RTTLIT P20）灵敏度达 0.1mK、分辨率低至 2μm，价格高，多用于半导体晶圆等检测。非制冷热红外显微镜在中低端工业检测领域应用较多。自销热红外显微镜按需定制快速锁定 PCB 板上因线路搭接、元件损坏导致的热点，尤其是隐藏在多层板内部的短路点。

致晟光电热红外显微镜的软件算法优化，信号处理逻辑也是其竞争力之一。

其搭载的自适应降噪算法，能通过多帧信号累积与特征学习，精细识别背景噪声的频谱特征 —— 无论是环境温度波动产生的低频干扰，还是电子元件的随机噪声，都能被针对性滤除，使信噪比提升 2-3 个数量级。

针对微弱热信号提取，算法内置动态阈值调节机制，结合热信号的时域相关性与空间分布特征，可从噪声中剥离 0.05mK 级的微小温度变化，即使纳米尺度结构的隐性感热信号也能被清晰捕捉。同时，软件支持热分布三维建模、温度梯度曲线分析、多区域热演化对比等多元功能，通过直观的可视化界面呈现数据 —— 从热点定位的微米级标记到热传导路径的动态模拟，为用户提供从信号提取到深度分析的全流程支持，大幅提升微观热分析效率。

车规级芯片作为汽车电子系统的重心，其可靠性直接关系到汽车的安全运行，失效分析是对提升芯片质量、保障行车安全意义重大。在车规级芯片失效分析中，热红外显微镜发挥着关键作用。芯片失效常伴随异常发热，通过热红外显微镜分析其温度分布，能定位失效相关的热点区域。比如，芯片内部电路短路、元器件老化等故障，会导致局部温度骤升形成明显热点。从而快速定位潜在的故障点，为功率模块的失效分析提供了强有力的工具。可以更好的帮助车企优化芯片良率与安全性。热红外显微镜通过纳秒级瞬态热捕捉，揭示高速芯片开关过程的瞬态热失效机理。

热点区域对应高温部位，可能是发热源或故障点；等温线连接温度相同点，能直观呈现温度梯度与热量传导规律。目前市面上多数设备受红外波长及探测器性能限制，普遍存在热点分散、噪点多的问题，导致发热区域定位不准，图像对比度和清晰度下降，影响温度分布判断的准确性。

而我方设备优势是设备抗干扰能力强，可有效减少外界环境及内部器件噪声影响，保障图像稳定可靠；等温线明显，能清晰展现温度相同区域，便于快速掌握温度梯度与热传导情况，提升热特性分析精度；成像效果大幅提升，具备更高的空间分辨率、温度分辨率及对比度，可清晰呈现细微细节，为分析提供高质量的图像支持。 国产热红外显微镜凭借自主研发软件，具备时域重构等功能，提升检测效率。锁相热红外显微镜24小时服务

热红外显微技术可透过硅片或封装材料，实现非接触式热斑定位。锁相热红外显微镜平台

热红外是红外光谱中波长介于 3–18 微米的谱段，其能量主要来自物体自身的热辐射，而非对外界光源的反射。该波段可细分为中红外（3–8 μm）、长波红外（8–15 μm）和超远红外（15–18 μm），其热感应本质源于分子热振动产生的电磁波辐射，辐射强度与物体温度正相关。在应用上，热红外利用大气窗口（3–5 μm、8–14 μm）实现高精度的地表遥感监测，并广泛应用于热成像、气体探测等领域。现代设备如 TIRS-2 和 O-PTIR 等，已将热红外技术的空间分辨率提升至纳米级水平。

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