高分辨率微光显微镜设备制造

微光显微镜无法检测不产生光子的失效（如欧姆接触、金属短路），且易受强光环境干扰；热红外显微镜则难以识别无明显温度变化的失效（如轻微漏电但功耗极低的缺陷），且温度信号可能受环境热传导影响。

实际分析中，二者常结合使用，通过 “光 - 热” 信号交叉验证，提升失效定位的准确性。致晟光电在技术创新的征程中，实现了一项突破性成果 —— 将热红外显微镜与微光显微镜集可以集成于一台设备，只需一次采购，便可以节省了重复的硬件投入。 漏电结和接触毛刺会产生亮点，这些亮点产生的光子能被微光显微镜捕捉到。高分辨率微光显微镜设备制造

我司专注于微弱信号处理技术的深度开发与场景化应用，凭借深厚的技术积累，已成功推出多系列失效分析检测设备及智能化解决方案。更懂本土半导体产业的需求，软件界面贴合工程师操作习惯，无需额外适配成本即可快速融入产线流程。

性价比优势直击痛点：相比进口设备，采购成本降低 30% 以上，且本土化售后团队实现 24 小时响应、48 小时现场维护，备件供应周期缩短至 1 周内，彻底摆脱进口设备 “维护慢、成本高” 的困境。用国产微光显微镜，为芯片质量把关，让失效分析更高效、更经济、更可控！ IC微光显微镜备件微光显微镜支持宽光谱探测模式，探测范围从紫外延伸至近红外，能满足不同材料的光子检测，适用范围更广。

定位短路故障点短路是造成芯片失效的关键诱因之一。

当芯片内部电路发生短路时，短路区域会形成异常电流通路，引发局部温度骤升，并伴随特定波长的光发射现象。EMMI（微光显微镜）凭借其超高灵敏度，能够捕捉这些由短路产生的微弱光信号，再通过对光信号的强度分布、空间位置等特征进行综合分析，可实现对短路故障点的精确定位。

以一款高性能微处理器芯片为例，其在测试中出现不明原因的功耗激增问题，技术人员初步判断为内部电路存在短路隐患。通过EMMI对芯片进行全域扫描检测，在极短时间内便在芯片的某一特定功能模块区域发现了光发射信号。结合该芯片的电路设计图纸和版图信息进行深入分析，终锁定故障点为两条相邻的铝金属布线之间因绝缘层破损而发生的短路。这一定位为后续的故障修复和工艺改进提供了直接依据。

可探测到亮点的情况

一、由缺陷导致的亮点结漏电（Junction Leakage）接触毛刺（Contact Spiking）热电子效应（Hot Electrons）闩锁效应（Latch-Up）氧化层漏电（Gate Oxide Defects / Leakage (F-N Current)）多晶硅晶须（Poly-silicon Filaments）衬底损伤（Substrate Damage）物理损伤（Mechanical Damage）等。

二、器件本身固有的亮点饱和 / 有源状态的双极晶体管（Saturated/Active Bipolar Transistors）饱和状态的 MOS 管 / 动态 CMOS（Saturated MOS/Dynamic CMOS）正向偏置二极管 / 反向偏置二极管（击穿状态）（Forward Biased Diodes / Reverse Biased Diodes (Breakdown)）等。 当金属层遮挡导致 OBIRCH 等无法侦测故障时，微光显微镜可进行补充检测。

芯片制造工艺复杂精密，从设计到量产的每一个环节都可能潜藏缺陷，而失效分析作为测试流程的重要一环，是拦截不合格产品、追溯问题根源的 “守门人”。微光显微镜凭借其高灵敏度的光子探测技术，能够捕捉到芯片内部因漏电、热失控等故障产生的微弱发光信号，定位微米级甚至纳米级的缺陷。这种检测能力，能帮助企业快速锁定问题所在 —— 无论是设计环节的逻辑漏洞，还是制造过程中的材料杂质、工艺偏差，都能被及时发现。这意味着企业可以针对性地优化生产工艺、改进设计方案，从而提升芯片良率。在当前芯片制造成本居高不下的背景下，良率的提升直接转化为生产成本的降低，让企业在价格竞争中占据更有利的位置。微光显微镜的自动瑕疵分类系统，可依据发光的强度、形状等特征进行归类，提高检测报告的生成效率。工业检测微光显微镜价格走势

其内置的图像分析软件，可测量亮点尺寸与亮度，为量化评估缺陷严重程度提供数据。高分辨率微光显微镜设备制造

致晟光电在推动产学研一体化进程中，积极开展校企合作。公司依托南京理工大学光电技术学院，专注开发基于微弱光电信号分析的产品及应用。双方联合攻克技术难题，不断优化实时瞬态锁相红外热分析系统（RTTLIT），使该系统温度灵敏度可达0.0001℃，功率检测限低至1uW，部分功能及参数优于进口设备。此外，致晟光电还与其他高校建立合作关系，搭建起学业-就业贯通式人才孵化平台。为学生提供涵盖研发设计、生产实践、项目管理全链条的育人平台，输送了大量实践能力强的专业人才，为企业持续创新注入活力。通过建立科研成果产业孵化绿色通道，高校的前沿科研成果得以快速转化为实际生产力，实现了高校科研资源与企业市场转化能力的优势互补。高分辨率微光显微镜设备制造