广东真空电镀设备

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 电镀设备中的挂镀装置，通过挂具悬挂工件，适用于汽车零件等中大件，可实现镀层均匀附着。广东真空电镀设备

龙门式自动线通过龙门机械手（横跨电镀槽上方的移动框架）和悬挂系统，将工件按预设程序在不同工艺槽（如除油、电镀、水洗等）间自动转移，全程由PLC（可编程逻辑控制器）控制，实现无人化连续生产。

组成

1.龙门机械

手采用伺服电机驱动，双立柱+横梁结构，负载能力可达200-1000kg行程精度：±0.1mm（机型可达±0.05mm）移动速度：水平0.5-2m/s，升降0.2-0.5m/s

2.轨道系统

精密导轨+齿轮齿条传动，支持多工位并行作业防腐蚀设计（不锈钢或镀层保护），适应酸碱环境

3.挂具系统

定制化夹具，适配不同工件形状（如支架、吊篮）导电触点采用银/铜复合材料，接触电阻＜0.05Ω

4.控制系统

PLC+触摸屏（HMI），预设上百种工艺配方实时监控电流、温度、pH值，数据存储追溯

全自动电镀设备发展废水处理设备分类收集含铬、镍等废水，经化学沉淀、离子交换处理，确保重金属达标排放。

滚镀机的工作原理

将小工件装入带孔的滚筒（聚氯乙烯或不锈钢材质），滚筒浸入电解液后缓慢旋转（5~15 转 / 分钟），通过滚筒壁的孔洞使电解液流通，同时工件在滚筒内翻滚，确保镀层均匀附着。

优势：

高效率：单次可处理数千件小工件，产能远超挂镀（适合单件或少量）。

低成本：减少人工挂卸成本，滚筒导电杆统一通电，能耗相对较低。

均匀性：工件在滚筒内动态接触电解液，避免屏蔽效应（挂镀中工件相互遮挡导致镀层不均）。

与生产线其他环节的配合

前处理：需先通过除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮，否则影响镀层结合力（滚镀机不具备前处理功能，依赖生产线前段设备）。

后处理：滚镀完成后，工件随滚筒吊出，进入水洗槽、钝化槽或封闭槽（如镀锌后的蓝白钝化），终干燥（生产线后段设备完成）。

自动化控制：滚镀机的转速、电镀时间、电流电压等参数由生产线 PLC 系统统一控制，与传输装置（如行车）联动，实现 “上料→前处理→滚镀→后处理→下料” 全流程自动化。

全自动磷化线工作流程

1.前处理：晶圆清洗、去氧化层、活化表面。

2.装载：将晶圆固定于旋转载具，浸入镀液。

3.电镀：

施加电流，金属离子在晶圆表面还原沉积。

旋转载具确保镀液流动均匀，消除厚度差异。

4.后处理：镀层退火、清洗、干燥。

技术特点

1.高均匀性：

旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象，镀层均匀性达±5%以内。

2.精密控制：电流密度精度：±1 mA/cm²；温度波动：±0.5℃。

3.洁净度保障：设备内建HEPA过滤系统，满足Class 1000以下洁净环境。

4.高效生产：支持多片晶圆同时处理（如6片/批次），UPH（每小时产量）可达50~100片。

应用场景

1.先进封装：2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金属化（镀银、镀镍）。

3.传感器与MEMS：微结构表面镀金，提升电气性能与可靠性。 硬质阳极氧化设备集成低温制冷系统，控制电解液温度在 0-10℃，生成厚度超 100μm 的耐磨膜层。

电镀生产线的类型

1.挂镀生产线：适用于各种形状和尺寸的零件，尤其是较大型、批量较小的零件，能够保证零件的电镀质量和均匀性。

应用：汽车零部件、机械零件、五金制品等行业，如汽车轮毂、自行车车架、门把手等的电镀。

2.滚镀生产线：该生产线生产效率高，适合于大批量、小尺寸零件的电镀。

应用：常见于电子元件、紧固件、小饰品等行业，如螺丝、螺母、电子引脚、拉链等的电镀。

3.连续镀生产线：具有自动化程度高、生产速度快、镀层均匀等优点，能够实现高效、稳定的生产。

应用：用于电子、电器行业的带状材料，如电子线路板的电镀、电线电缆的镀锡等。

4.塑料电镀生产线：由于塑料本身不导电，需要先对塑料零件进行特殊的前处理，如化学镀等，使其表面形成一层导电层，然后再进行常规的电镀工艺。塑料电镀生产线需要增加专门的塑料前处理设备和工艺。

应用：在汽车内饰件、电子产品外壳、装饰品等领域，如汽车仪表盘、手机外壳、塑料纽扣等的电镀。

5.贵金属电镀生产线：用于电镀金、银、铂等贵金属，对电镀工艺和设备的要求较高，需要精确控制电镀参数，以保证贵金属镀层的质量和纯度。

应用：用于珠宝首饰、电子工业、航空航天等领域，如首饰的镀金、电子芯片的镀金丝等。 电镀电源设备提供稳定直流电流，支持恒流恒压调节，直接影响镀层厚度与质量均匀性。微型电镀设备周边设备

脉冲电镀电源设备通过周期性通断电流，减少镀层孔隙率，提升结晶细致度，适用于精密零件电镀。广东真空电镀设备

电泳生产线的主要组成部分:

1.前处理系统

对工件表面进行清洗、除油、除锈、磷化（或钝化）等处理，确保表面洁净并增强涂层附着力。

设备包括：预清洗槽、脱脂槽、酸洗槽、磷化槽、水洗槽、烘干炉等。

2.电泳槽系统

电泳主槽：容纳电泳液，工件在此进行涂装，槽体需恒温控制（通常 20~30℃）。

循环过滤系统：保持电泳液均匀，过滤杂质，防止颗粒污染涂层。

电源系统：提供直流电源，控制电压、电流参数，调节涂层厚度和质量。

超滤（UF）系统：分离电泳液中的水分和杂质，回收涂料并净化废水。

3.后处理系统

清洗工序：电泳后水洗（超滤水洗、纯水洗）去除工件表面残留的电泳液，避免杂质影响涂层质量。

烘干固化线：通过烘箱或隧道炉对湿膜进行高温固化（通常 160~200℃），形成坚硬的漆膜。

4.自动化控制系统

集成 PLC 或工业计算机，控制各工序的时间、温度、电压、液位等参数，实现全流程自动化。

配备输送系统（如悬挂链、滚床、机械手），实现工件的连续传输。 广东真空电镀设备