无锡原装晶圆运送机械吸臂生产厂家

本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。

背景技术：

在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。

技术实现要素：

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

通用性强，能适应多种作业；工艺性好，便于维修调整。无锡原装晶圆运送机械吸臂生产厂家

工业机械臂是拟人手臂、手腕和手功能 的机械电子装置。拟人手臂、手腕和手功能的机械电子装置；它可把任一物件或工具按空间位姿（位置和姿态）的时变要求进行移动，从而完成某一工业生产的作业要求。如夹持焊钳或焊***，对汽车或摩托车车体进行了点焊或弧焊；搬运压铸或冲压成型的零件或构件；进行激光切割；喷涂；装配机械零部件等等。机械臂是“ROBOT”一词的中文译名。由于影视宣传和科幻小说的影响，人们往往把机械臂想像成外貌似人的机械和电子装置。但事实并不是这样，特别是工业机械臂，与人的外貌往往毫无相似之处。根据国家标准，工业机械臂定义为“其操作机是自动控制的，可重复编程、多用途，并可以对3个以上轴进行编程。它可以是固定式或者移动式。在工业自动化应用中使用”。操作机又定义为“是一种机器，其机构通常由一系列相互铰接或相对滑动的构件所组成。上海新款晶圆运送机械吸臂维修因此，在设计手臂时，须根据机械手抓取重量、自由度数、工作范围、运动速度及机械手的整体布局。

对于晶圆状态的检测，主要包括晶圆的存在检测、位置偏差检测和表面质量检测等。通过光电传感器或电容传感器可以快速检测晶圆是否正确放置在吸臂上，以及在搬运过程中是否发生位移。表面质量检测传感器则可以实时监测晶圆表面是否有划痕、颗粒污染等缺陷，一旦发现异常情况，及时发出警报并采取相应措施，以保证晶圆的质量不受影响。基于这些丰富的传感器数据，控制系统可以对机械吸臂进行精确的控制。控制系统采用先进的算法和控制器，如PID控制算法、模糊控制算法等，根据传感器反馈的信息实时调整吸臂的运动速度、加速度和力量，确保晶圆在搬运过程中的平稳性和准确性。同时，控制系统还具备与其他半导体制造设备的通信接口，能够实现协同工作和自动化生产流程的无缝对接。例如，在晶圆送入光刻机进行曝光工艺时，机械吸臂可以与光刻机的控制系统进行通信，按照预定的程序和时间节点将晶圆准确地放置在光刻机的工作台上，并在曝光完成后将晶圆安全取出，整个过程高度自动化且精确无误。

主体部分通常采用强度高、轻质的材料，如铝合金或碳纤维复合材料，以确保在保证结构强度的同时减轻自身重量，减少运动惯性，提高操作的灵活性和响应速度。吸臂的形状和尺寸经过精心设计，以适应不同尺寸晶圆的搬运需求。一般具有多个关节和自由度，能够实现多角度的灵活运动，类似于人类手臂的关节活动。例如，常见的多关节机械吸臂可以在三维空间内进行旋转、伸展、弯曲等动作，确保晶圆能够准确地从一个位置移动到另一个位置，无论是在光刻机、刻蚀机等设备之间的转移，还是在晶圆存储盒与加工设备之间的传送，都能精确无误。为此，手臂一般都采用刚性较好的导向杆来加大手臂的刚度.

本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。

为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节，所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。 设备配备智能控制系统，可实现自动化操作。惠州晶圆运送机械吸臂代理厂家

有时往往相互矛盾，刚性好、载重大，结构往往粗大、导向杆也多。无锡原装晶圆运送机械吸臂生产厂家

有用于输送半导体晶圆的机械手。具体地，该机械手将半导体晶圆插入到处理室（process chamber），或者将半导体晶圆从处理室中取出。传送室（transfer chamber）连结于处理室。机械手配置在该传送室内。利用机械手使半导体晶圆在传送室与处理室之间移动。传送室相当于小的无尘室。传送室防止灰尘等杂质附着于半导体晶圆。在传送室内保持空气（或者气体）清洁。另外，传送室内有时被保持为真空。要求使在传送室内工作的机械手不产生杂质的方法。无锡原装晶圆运送机械吸臂生产厂家

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