广东陶瓷元器件镀金电镀设备

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 自动化电镀设备集成 PLC 控制系统，联动传输装置实现工序时间、电压参数准确控制，提升效率。广东陶瓷元器件镀金电镀设备

电镀废气处理抽风设备什么？

是用于将电镀过程中产生的废气收集并输送至废气处理设备的装置，常见的有以下几种：

离心风机：利用叶轮旋转产生的离心力使气体获得能量，从而实现气体的输送。

                  具有风压高、风量较大、效率较高的特点，

                  适用于输送距离较长、阻力较大的电镀废气系统。

轴流风机：气体沿着风机轴的方向流动

                 其特点是风量较大、风压低          

                 适用于对通风量要求较大但阻力较小的场合，如电镀车间内的局部抽风或简单的废气收集系统。

屋顶风机：通常安装在电镀车间的屋顶，可将车间内的废气直接排至室外。

                它具有安装方便、不占用室内空间的优点，

               适用于一些对室内空间布局要求较高的电镀企业。

防爆风机：电镀废气中含有易燃易爆气体，如某些有机溶剂挥发产生的废气，就需要使用防爆风机。

               这种风机采用特殊的防爆结构和材料，能够有效防止在运行过程中产生的电火花等引发炸掉事故，确保安全生产。 广东陶瓷元器件镀金电镀设备检测设备的涡流测厚仪非接触式快速测量镀层厚度，实时反馈数据至 PLC 系统自动调整参数。

电泳生产线是一种基于电泳涂装技术（Electrophoretic Deposition, EPD）的自动化生产线，主要用于在工件表面均匀涂覆一层涂料（通常为水性漆），形成具有防腐、装饰或功能性的涂层。

其原理:

利用电场作用，使带电的涂料粒子定向迁移并沉积在工件表面，是现代工业中常用的高效涂装工艺之一。

电泳生产线的主要应用领域

1.汽车工业

汽车车身、底盘部件、发动机零件、车轮等的底漆涂装，是汽车防腐的关键工艺（如整车电泳涂装线）。

2.家电与电子

冰箱、洗衣机、空调等金属外壳，以及电子元件、电机部件的防腐涂装。

3.五金与建材

门窗型材（铝合金电泳）、卫浴五金、工具、医疗器械等的表面处理。

4.航空航天与船舶铝合金部件的防腐涂装，海洋设备的耐盐雾涂层。

全自动龙门电镀生产线控制箱

是电镀自动化生产系统的控制单元，主要用于协调龙门机械手、电镀槽、电源系统、液位/温度传感器等设备的运行，确保电镀工艺精细执行。

特性说明:主要电器采用西门子及三菱PLC、欧姆龙、富士电器等品牌，每一台行车可自动、半自动转换，开放式自由程序选择，智能控制管理，在电脑和人机界面触摸屏对数据实时处理及进行有效监控，设计科学合理、紧凑、自动化程度高；用于ABS塑料、汽车、五金、电子、卫浴、灯饰家电等行业 环保型电镀设备的废气收集系统采用蜂窝状活性炭吸附塔，深度处理酸雾废气，确保排放达标。

全自动磷化线工作流程

1.前处理：晶圆清洗、去氧化层、活化表面。

2.装载：将晶圆固定于旋转载具，浸入镀液。

3.电镀：

施加电流，金属离子在晶圆表面还原沉积。

旋转载具确保镀液流动均匀，消除厚度差异。

4.后处理：镀层退火、清洗、干燥。

技术特点

1.高均匀性：

旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象，镀层均匀性达±5%以内。

2.精密控制：电流密度精度：±1 mA/cm²；温度波动：±0.5℃。

3.洁净度保障：设备内建HEPA过滤系统，满足Class 1000以下洁净环境。

4.高效生产：支持多片晶圆同时处理（如6片/批次），UPH（每小时产量）可达50~100片。

应用场景

1.先进封装：2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金属化（镀银、镀镍）。

3.传感器与MEMS：微结构表面镀金，提升电气性能与可靠性。 贵金属电镀设备配备高精度电源与净化系统，严格控制金、银镀层纯度，满足珠宝及电子芯片的高要求。陶瓷元器件镀金电镀设备生产线

无氰镀锌设备使用锌酸盐络合剂替代。广东陶瓷元器件镀金电镀设备

全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线，通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜，以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一种化学表面处理技术，利用磷酸盐溶液与金属（如钢铁、锌、铝等）发生反应，生成一层致密的磷酸盐晶体膜（如磷酸铁、磷酸锌）

功能：防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作，覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽：去除金属表面油污

酸洗槽：氧化皮和锈迹

水洗槽：冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽：主反应区，金属浸泡或喷淋磷化液，生成转化膜

温度与浓度控制：通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽：增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统：热风或红外烘干，避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置：传送带、机械臂或悬挂链，精细控制工件移动

PLC控制：集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控：实时记录工艺参数，支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调（调整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。

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