滚镀电镀设备供应商

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 连续镀生产线的导电辊镀覆耐磨碳钨涂层，降低钢带传输摩擦，避免划伤与镀层缺陷。滚镀电镀设备供应商

滚镀机的应用场景：

滚镀机决定生产线的适用工件类型滚

1.镀机适用的工件特征

尺寸：直径通常＜50mm，如螺丝、螺母、弹簧、电子连接器、小五金件。

形状：规则或轻微不规则（避免卡孔或缠绕，影响滚筒旋转）。

批量：适合万件级以上的大批量生产（如标准件电镀），小批量生产时滚镀机效率优势下降。

2.对电镀生产线的适配性

若生产线以滚镀机为镀槽设备，则整体设计围绕 “小件批量处理” 优化：

前处理槽体深度、宽度适配滚筒尺寸；

传输装置采用适合滚筒吊装的悬挂链或龙门架；

电源功率匹配滚筒内工件总表面积（电流需均匀分布）。

反之，若生产线以挂镀为主（如汽车配件、装饰件），则镀槽、传输系统设计完全不同，体现 “定制化生产线” 特性。 真空电镀设备配件在线监测设备搭载 AI 算法，实时分析镀层缺陷（如麻点、漏镀），自动调整电流参数提升良品率。

阳极氧化线是专门用于金属表面阳极氧化处理的成套生产线，通过电化学方法在金属（如铝、铝合金、镁合金、钛合金等）表面生成一层致密、多孔的氧化膜（如Al₂O₃），以提升工件的耐腐蚀性、耐磨性、绝缘性或装饰性。它是氧化生产线中常用的类型，在于利用外加电源使金属作为阳极发生氧化反应，形成与基体结合牢固的氧化膜层。

阳极氧化线的原理（电化学氧化）原理：

将金属工件（如铝）作为阳极，浸入电解液（如硫酸、草酸、铬酸溶液）中，接通直流电源后，阳极发生氧化反应：

阳极（金属）：2Al+3H2O→Al2O3+6H++6e−（以铝为例）

阴极（惰性电极，如铅板、不锈钢）：6H++6e−→3H2↑

反应生成的氧化膜（Al₂O₃）紧密附着在金属表面，初始膜层多孔，可通过后续处理（如染色、封孔）赋予更多功能。

膜层特性：多孔结构（孔径约10~20nm），膜厚可控（从几微米到200μm以上），硬度高（HV300~500），绝缘性优异（电阻率达10⁹~10¹²Ω・cm）。

阳极氧化线的主要组成部分

1. 前处理系统

目的：表面油污、氧化皮和杂质，确保氧化膜与基体结合牢固。

工序：

除油-碱蚀 / 酸洗-多级水洗

2. 阳极氧化处理系统

氧化槽：

材质：耐酸碱的 PP、PVC 或玻璃钢，内置阴极板（铅板、不锈钢）和导电装置。

控制装置：

电源--温控系统--搅拌系统

电解液类型：

硫酸：常用，成本低，膜透明度高，适合装饰性氧化（如铝型材染色）。

草酸：膜硬度高、耐磨性强，用于硬质氧化（如航空零件）。

铬酸：膜层柔软、孔隙少，适合复杂工件或疲劳敏感零件（如汽车部件）。

3.后处理系统（功能拓展）

染色（可选）：利用氧化膜的多孔性吸附有机染料或金属盐，实现颜色定制。

封孔（关键工序）：

热水封孔：使氧化膜水合生成 Al₂O₃・nH₂O，堵塞孔隙，提升耐腐蚀性。

蒸汽封孔：高温蒸汽加速水合，适合厚膜（如硬质氧化）。

化学封孔：镍盐 / 钴盐溶液，形成氢氧化物沉淀封孔

干燥：热风循环或烘箱去除水分，防止封孔后白斑。

4.自动化控制系统

输送设备：悬挂式链条、龙门行车或机械手，实现工件在各槽间的自动传输。

参数监控：PLC 或工业电脑实时监测电压、电流、电解液浓度、温度、pH 值，自动补加药剂或调整工艺参数。 安全防护设备包括防腐内衬、漏电保护装置及应急冲洗设施，降低药液泄漏与触电风险。

电镀设备是通过电解反应在物体表面沉积金属层的装置，用于形成保护性或功能性涂层。

其系统包括：

电解电源：提供0-24V直流电，电流可达数千安培，适配不同镀种需求；

电解槽：耐腐蚀材质（如PP/PVDF），双层防漏设计，容积0.5-10m³；

电极系统：阳极采用可溶性金属或不溶性钛篮，阴极挂具定制设计，确保接触电阻＜0.1Ω；

控制系统：精细温控（±1℃）、pH监测（±0.1）及镀层厚度管理。

设备分类：

挂镀线：精密件加工，厚度均匀性±5%；

滚镀系统：小件批量处理，效率3-8㎡/h；

连续电镀线：带材/线材高速生产，产能达30㎡/h；

选择性电镀：数控喷射，局部镀层精度±3%。 电镀废水的重金属回收设备采用离子交换树脂，高效吸附镍、铜离子，实现资源循环利用。贵金属电镀设备产业

后处理电镀设备包含钝化槽与干燥箱，前者增强镀层耐腐蚀性，后者快速去除水分防止白斑。滚镀电镀设备供应商

龙门自动线的特点

高精度定位

伺服系统+光栅尺反馈，确保工件浸镀位置误差＜1mm适用于精密电子接插件、汽车精密部件等对镀层均匀性要求高的场景（厚度偏差±3-5%）。

多工艺兼容性

可集成除油、酸洗、电镀、钝化、烘干等20+工序支持挂镀、滚镀（通过可切换挂具）混合生产

柔性化生产

通过编程快速切换工件类型（换型时间＜30分钟）支持小批量多品种（如同时处理10种不同规格螺栓）

稳定性强

故障率＜0.5%（关键部件如电机、传感器采用工业级防护）连续运行寿命＞10万小时

典型应用

行业                                        应用案例                                          工艺要求                                            汽车制造                  发动机支架镀锌、轮毂镀铬                     耐盐雾＞720小时，厚度10-15μm

电子行业                  手机接口镀金、PCB接插件镀镍 镀层         孔隙率＜5个/cm²                                          五金                   卫浴镀铜镍铬三镀层                        表面粗糙度Ra＜0.2μm 滚镀电镀设备供应商