中国台湾罗茨真空泵

生物医药冻干工艺中，罗茨真空泵承担关键的水分抽取任务。在药品冷冻干燥过程中，它需与冻干机配套使用，将腔室压力降至 1-10 Pa，使药品中的冰晶体直接升华。其稳定的抽速能确保升华速率均匀，避免药品出现萎缩、分层等问题，保障药效稳定性。用于该领域的罗茨泵需通过 GMP 认证，腔体表面经过抛光处理，便于清洁消毒，防止交叉污染。在半导体刻蚀工艺中，罗茨真空泵负责抽取反应腔体中的腐蚀性气体与副产品。为应对严苛工况，泵体腔体采用哈氏合金等耐腐蚀材质，密封件选用全氟橡胶，能抵抗氟基、氯基等腐蚀性气体侵蚀。其高抽速特性可及时排出反应产物，防止沉积物堵塞腔体，保证刻蚀图案的精度与均匀性，对 7 纳米及以下制程的芯片制造至关重要。罗茨泵转子间、转子与泵腔壁有间隙，无摩擦无需润滑，泵腔内无油。中国台湾罗茨真空泵

碳化硅陶瓷的高温烧结（1800-2200℃）需超洁净真空环境与耐腐蚀性设备，罗茨真空泵通过特种材质与系统设计满足需求。在碳化硅生坯烧结过程中，其与低温冷阱、扩散泵组成的复合真空系统，可将炉内真空度稳定在 10⁻⁵Pa 量级，抽除高温下碳化硅分解产生的硅蒸汽与杂质气体，减少单晶缺陷。针对 6-12 英寸碳化硅衬底的烧结，罗茨泵的高转速转子（6000-8000rpm）能实现秒级压力响应，在烧结温度升至 2000℃时，实时抽除衬底表面吸附的氧杂质，保障衬底电学性能（电阻率偏差≤5%）。其泵腔内壁喷涂氮化铝耐腐蚀涂层，可防止硅蒸汽附着造成的设备损伤，延长使用寿命至 8000 小时以上；配合炉体的感应加热系统，能适配 2-8℃/min 的缓慢升温速率，促进碳化硅晶粒定向生长，使衬底平整度达到≤5μm/2 英寸，满足半导体行业的加工要求。三叶罗茨真空泵厂家罗茨真空泵升级便捷，可根据需求提升性能。

某半导体芯片制造企业为提升封装测试环节的真空稳定性，引入罗茨真空泵机组。该机组由罗茨泵与高真空前级泵组成，针对芯片封装对洁净度的要求，采用无油润滑结构避免油污染，通过智能变频系统实时调节抽速，使真空度波动控制在 ±0.1Pa 以内。设备运行后，封装良率提升 3%，工艺周期缩短 15%，满足了高密度芯片的生产需求。某大型化工企业在真空蒸馏生产线改造中，选用耐腐蚀材质的罗茨真空泵。原设备因不耐腐蚀导致频繁故障，新设备采用不锈钢泵体与碳化硅密封环，耐温可达 600℃，寿命延长 5 倍。搭配冷却系统后，可处理含氯腐蚀性气体，抽速稳定在 500m³/h，蒸馏产品纯度从 98% 提升至 99.5%，设备故障率下降 80%。

罗茨真空泵又称机械增压泵，属旋转式容积真空泵，**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上，通过传动比为 1 的同步齿轮驱动，实现等速反向旋转，且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触，运转时摩擦损失小、功率消耗低，可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承，借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置，固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙，使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置，能防止油箱润滑油进入泵腔，出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷，高压力工况下推荐选用水冷结构，电动机动力经联轴器传给主动轴，再通过同步齿轮带动从动轴旋转，ZJ 系列为卧式结构，多采用联轴器与电机直联，特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品，抽气原理相同，但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时，阀自动开启，此数值为泵可靠运转的比较高压力差，使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动，但系统容积大时，旁通阀开启时间长，有效抽速小，经济性差，建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。耐腐蚀罗茨真空泵，延长在酸碱环境中的使用寿命。

罗茨真空泵停机时，先关闭前级油封机械泵气镇阀（若运转时开启），再关闭罗茨泵进气阀，随后停罗茨泵，接着停前级泵，停前级泵的同时立即向其进气口充入大气，***关闭冷却水进水阀。长时间停用或冬季为防冻裂，需放尽冷却水套内剩水，尤其北方地区。另外，罗茨真空泵的维护检查需定期进行，每日检查齿轮箱与轴承箱油位、各部位温度及电机负荷；每月检查联轴器弹性体或三角胶带张力；每季检查齿轮箱润滑油是否变质；每半年检查前盖轴承箱润滑油及机械密封状况；每年检查轴承、活塞环及衬套磨损情况，以及齿轮磨损对转子工作的影响。拆装时，未拆卸前需测量记录主从动转子各部位间隙，拆卸避免重锤敲打，零件需清洗保管并记录更换情况；重装前零件要修光毛刺并擦净，无密封垫衬的静密封平面涂“106”有机硅橡胶涂料，橡胶密封件涂真空脂，按原间隙调整转子间隙，装好后需检漏、试运转及性能测试，正常后方可投入使用。罗茨真空泵安全防护完善，保障操作人员安全。中国台湾罗茨真空泵

罗茨泵压缩比较低，对氢气等轻质气体抽气效果差，需配合其他真空泵使用以提升对特殊气体的抽除能力。中国台湾罗茨真空泵

罗茨泵转子多为双叶直齿，也有三叶斜齿，横断面外轮廓线为转子型线，工作时两转子靠传动比 1 的齿轮驱动，型线需为共轭曲线。选择转子型线需考虑泵工作性能（容积利用系数大）、几何对称性（互换性好、运转平稳）、转子强度及加工工艺性，实际型线多由圆弧线、渐开线和摆线组合而成，分理论型线（保证转子啮合）和实际型线（预留间隙）。罗茨泵主要尺寸由实际抽速确定，需结合容积效率 ηv、转子长度系数 kl、转子圆周速度 u2、断面系数 k0 等参数，通过相关公式计算转子半径 R 等尺寸。圆周速度 u2 选择与转子材料相关，不同材料有不同取值范围，中心距需符合标准规定。为降低间隙流导，可对转子头部型线特殊加工或开设沟槽，但需注意可能导致的容积变化及对抽速的影响。中国台湾罗茨真空泵

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