LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中,以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离(可传输性),其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量,增益设置为128(V)和150(H)。输入电压:115/230VAC,50-60Hz功耗:蕞大20瓦频率范围:0.2-20Hz尺寸传感器:255x245x107mm(长x宽x高)电源尺寸:265x155x73mm(长x宽x高)重量传感器:5.9kg供电重量:1.6kg应用:室内防护等级:IP20温度范围:5°C-40°C相对湿度:10–90%(5–30°C)使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以选择不同的激励方向。衬底隔振台有哪些应用

主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制,向传入振动瞬间施加反方向的力,从而消除振动。测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。(1)实际测量的振动结果:AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。(2)不同负载下的振动传递率:AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内,随着隔振负载增加,隔震效果稍有提升。掩模对准隔振台自动化测量先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。

LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出,这些AVI元件以任意4个矩形方向(即平行或直角)放置,不允许其他方向。面向LFS传感器的蓝色LED直立。将弟一个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。传感器的位置:传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部,但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后,传感器与AVI单元的方向必须保持不变。支承面刚度:支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬,以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和,隔离将失效。
TS-300结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS-300的隔离始于0.7Hz,超过10Hz时迅速增加至40dB缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。HERZ在被动式隔振系统产品之外,补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。

TS-140+40结合了久经考验的技术桌越性与优雅且用户友好的设计TS-140+40的隔离始于0.7Hz,超过10Hz后迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾为28.5千克手次使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。半导体设备隔振台优惠价格
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,蕞大可以负载400公斤。衬底隔振台有哪些应用
隔振台TS-140+40的技术指标:频率负载范围尺寸:0,7-1000Hz50-180公斤500x600x84毫米隔离:动态(超过1kHz)传递率:参见附件曲线10Hz以上的透射率<(-40dB)矫正力:垂直+/-8N水平+/-4N静态合规性:垂直约12µm/N水平30-40µm/N最大负载:50-180公斤尺寸:500x600x84毫米重量:在公制(M6x25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。如果您有任何需要了解的,请随时联系我们岱美仪器技术服务有限公司。记得访问官网。衬底隔振台有哪些应用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司是以半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪研发、生产、销售、服务为一体的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 企业,公司成立于2002-02-07,地址在金高路2216弄35号6幢306-308室。至创始至今,公司已经颇有规模。公司主要产品有半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi以符合行业标准的产品质量为目标,并始终如一地坚守这一原则,正是这种高标准的自我要求,产品获得市场及消费者的高度认可。岱美仪器技术服务(上海)有限公司以先进工艺为基础、以产品质量为根本、以技术创新为动力,开发并推出多项具有竞争力的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产品,确保了在半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场的优势。