浙江真空等离子清洗机常用知识

什么是等离子体？等离子体（plasma）是由自由电子和带电离子为主要成分的物资状态。被称为物资的第四态。如何产生等离子体？通常我们接触到的等离子有三种方式：高温（燃烧）、高压（闪电）或者高频、高压源（等离子电源）下产生。等离子体在处理固体物质的时候，会有固体物质发生两种发应：物理反应、化学反应。物理反应：活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面被带走。化学反应：大气中的氧气等离子的活性基团可以和处理物表面的有机物反应产生二氧化碳和水，达到深度清洁作用。等离子清洗机用于汽车、芯片制造、显示等行业。浙江真空等离子清洗机常用知识

等离子清洗机应用领域1.汽车行业：点火线圈骨架表面活化、汽车门窗密封件的处理、控制面板在粘合前处理、内饰皮革包裹、内饰植绒前处理等等；2.医疗行业：培养皿表面活化、医疗导管粘接前处理、输液器粘接前的处理、酶标板的表面活化等等；3.新能源行业：新能源电池电芯的表面处理、电池蓝膜的表面处理、电池表面粘接前的处理等等；4.电子行业：芯片表面处理、封装前的预处理、各类电子器件粘接前处理、支架及基板的表面处理等等；等离子清洗机设计的行业非常的大，在用户遇到，表面粘接力、亲水性、印刷困难、涂覆不均匀等等问题，都可以尝试等离子清洗机的表面处理，通过表面活化、改性的方式解决问题。江西在线式等离子清洗机产品介绍等离子清洗是一种环保工艺，由于采用电能催化反应，同时利用低温等离子体的特性。

等离子清洗机在IC封装中的应用：塑封固化前:IC封装的注环氧树脂过程中，污染物的存在还会导致气泡的形成，气泡会使芯片容易在温度变化中损坏，降低芯片的使用寿命。所以，避免塑封过程中形成气泡同样是需解决的问题。芯片与基板在等离子清洗后会更加紧密地和胶体相结合，气泡的形成将减少，同时也可以显著提高元件的特性，引线键合前:芯片在引线框架基板上粘贴后，要经过高温固化，如果这时上面存在污染物，这些氧化物会使引线与芯片及基板之间焊接效果不完全或黏附性差，影响键合强度。等离子清洗运用在引线键合前，会显著提高其表面活性，从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性。在IC封装工艺过程中，芯片表面的氧化物及颗粒污染物会降低产品质量，如果在封装工艺过程中的装片前引线键合前及塑封固化前进行等离子清洗，则可有效去除这些污染物。

等离子清洗机(plasmacleaner)是高科技的一款表面处理设备，通过等离子体来达到表面处理的作用；获得清洗、活化、刻蚀、涂层等多方向的应用，解决各种行业的表面处理难题。1、等离子清洗机原理密闭的反应腔体（真空室、真空腔体）被真空泵不断抽气，从1个标准大气压下降到设定的压力值并维持真空度；通入氩、氢、氮气等工艺气体，启动等离子发生器，让反应腔体内电极之间产生高压交变电场，使得自由电子能量加速，去激发工艺气体分子形成等离子体，具有高反应活性或高能量的等离子体，会与有机污染物及微颗粒污染物反应、碰撞形成各种挥发性物质，这些挥发性物质伴随工艺气流由真空泵抽取出去，从而达到被处理对象表面清洁、活化等目的。等离子体表面处理机也叫等离子清洗机、等离子表面处理机、plasma清洗机。

等离子体密度：一般来说，射频电源的频率越高，电场变化越快，气体分子在高频电场的作用下更容易电离，从而产生更多的等离子体。高密度的等离子体意味着更多的活性粒子参与清洗过程，有助于提高清洗效率。等离子体均匀性：频率的选择还会影响等离子体的分布均匀性。在适当的频率下，电场能够均匀地分布在真空腔体内，使得等离子体在整个清洗区域内均匀生成。这种均匀性对于保证清洗效果的一致性至关重要。电子温度与能量：射频电源的频率还决定了等离子体中电子的温度和能量。高频电场能够加速电子的运动，使其获得更高的能量。高能量的电子更容易与材料表面发生碰撞，促进化学反应和物理溅射过程，从而增强清洗效果。在使用等离子清洗机的时候，我们也需要注意一些事项，以确保其正常运行和使用效果。江苏等离子清洗机品牌

等离子体处理可以解决TPE喷漆附着困难的问题。浙江真空等离子清洗机常用知识

光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。浙江真空等离子清洗机常用知识