安徽高纯度真空计设备供应商

辰仪MEMS皮拉尼真空计是完全对标MKS925和MKS901P真空计而开发的MEMS皮拉尼真空计，是采用MEMS芯片及数字化软件控制技术开发的皮拉尼真空计。该真空计可用于半导体、光伏、等离子等对初中真空测量高精度要求的行业，填补了MKS对国内断供造成的影响。

辰仪MEMS皮拉尼真空计是完全对标MKS925和MKS901P真空计而开发的MEMS皮拉尼真空计，是采用MEMS芯片及数字化软件控制技术开发的皮拉尼真空计。该真空计可用于半导体、光伏、等离子等对初中真空测量高精度要求的行业，填补了MKS对国内断供造成的影响。 电容真空计有哪些优点？安徽高纯度真空计设备供应商

辰仪金属电容真空计是完全对标MKS的金属电容真空计而开发的一款金属膜片真空计，已实现全系列部件国产化，产品测量精度接近MKS金属电容真空计。辰仪金属电容真空计已中芯国际等国内FAB厂上机测试，填补了MKS对国内断供的影响。

辰仪金属电容真空计是完全对标MKS的金属电容真空计而开发的一款金属膜片真空计，已实现全系列部件国产化，产品测量精度接近MKS金属电容真空计。辰仪金属电容真空计已中芯国际等国内FAB厂上机测试，填补了MKS对国内断供的影响。 山东皮拉尼真空计生产企业如何校准电容真空计？

陶瓷薄膜真空计是一种高精度、高稳定性的真空测量仪器，它结合了陶瓷材料的优异性能和薄膜传感技术的敏感特性。以下是对陶瓷薄膜真空计的详细介绍：

基本原理：陶瓷薄膜真空计的工作原理基于电容变化的原理。它通常包含一个陶瓷基片，上面沉积有一层或多层金属薄膜作为电容的一个极板，而另一个极板则与薄膜保持一定的间隙。当外界真空度发生变化时，陶瓷薄膜会发生微小的形变，导致与另一个极板之间的电容值发生变化。通过测量这种电容变化，并经过适当的电路处理，就可以得到真空度的值。

    真空计的历史沿革1946年：，是一种***型高真空真空计。。1948年：，是典型的一类气体组分与分压强测量的真空计。1949年：、、，也是测量气体组分及分压强的一类重要的真空计。1950年：（又称热阴极超高真空电离真空计），解决了超高真空测量问题，推动了超高真空技术的发展。1951年：、、，是一种与气体种类无关的***型真空计。1953年：、，此类真空计**小可检测分压强达10^-14Pa。1957年：德国人、高压强电离真空计，尽量利用离子流的较好的线性等优点来代替热传导规的不足。1959年：，制造工艺过于复杂难以推广应用。1960年以来：相继研制成功的调制规、抑制规、弯注规、分离规和磁控式电离规等已能实现10^-11Pa左右的超高真空测量。七十年代后的二三十年：真空测量技术领域在新原理方面没有出现明显突破性的进展，较多的是在基本清晰的原理思路上的改进与补充，处于一个相对稳定的时期。 电容真空计通常适用于中低真空范围的测量，如从大气压到几千帕甚至更低。

真空计可以按照测量原理、结构特点以及使用范围等进行分类。其中，按照测量原理分类是最常见的方式。不同类型的真空计具有不同的测量范围和精度。例如：波尔登规的测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规的测量范围一般横跨4个量级，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼电阻规和热电偶规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。热阴极电离规的测量范围一般为1.0E-05Pa至0.1Pa，经改进后的热阴极电离规（如Bayard-Alpert规）可以将测量下限降低至1.0E-09Pa。冷阴极电离规的测量范围一般为1.0E-07Pa至0.1Pa。真空计选型需要注意什么？大气压真空计原厂家

真空计如何快速选型？安徽高纯度真空计设备供应商

真空计按测量原理分类

静态液位真空计测量原理：利用U型管两端液面差来测量压力。弹性元件真空计测量原理：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。但直接测量这样小的力是困难的，因此可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。压缩式真空计测量原理：在U型管的基础上应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。热传导真空计测量原理：利用低压下气体热传导与压力有关的原理制成。示例：电阻真空计、热偶真空计等。热辐射真空计测量原理：利用低压下气体热辐射与压力有关的原理。 安徽高纯度真空计设备供应商