深圳0.5um环境监测检测标准对照表

中源绿净在半导体薄膜沉积洁净室洁净度监测中，推出了微粒 - 气体纯度联动方案。应用场景：半导体薄膜沉积洁净车间。针对 10 级沉积区，部署超高精度监测终端，同步检测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 100L/min）、沉积气体纯度（99.999%~99.9999%，精度 ±0.0001%）及腔体压差（≥20Pa）。采用激光散射法与气相色谱联用技术，气体纯度响应时间≤1 秒，微粒检测分辨率达 0.05μm。系统与沉积设备联动，当气体杂质或微粒超标时自动切断气源，使薄膜沉积缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方华创等企业应用，符合 ISO 14644-1 标准，洁净度稳定性达标率 99.95%。中源绿净在环境监测方面，为 30 + 企业提供一站式环境监测解决方案，省心省力！深圳0.5um环境监测检测标准对照表

中源绿净为光伏组件洁净车间定制的环境监测系统，强化了粉尘与静电的协同管控。应用场景：光伏组件层压洁净车间。针对 1000 级层压洁净区，部署耐温型监测终端，可耐受车间 50℃环境温度，监测参数包括 0.3μm 粉尘浓度（采样流量 28.3L/min）、静电电压（量程 - 1000~+1000V，精度 ±10V）、层压区温度（130~150℃，精度 ±1℃）及湿度。采用非接触式静电传感器和红外测温技术，数据采样间隔 3 秒 / 次，确保及时发现参数异常。通过静电消除联动控制，使组件隐裂率下降 35%，配合粉尘浓度调控，使组件转换效率提升 2%。已在隆基绿能、晶科能源等企业应用，满足 IEC 61215 光伏组件标准，环境管控达标率维持在 99.85%。无尘车间环境监测计数器校准规范中源绿净的环境监测设备，帮 55 + 温室大棚监测，作物产量提升 15%！

中源绿净为食品无菌灌装洁净室定制的环境监测系统，强化了微生物与压差的协同管控。应用场景：液态食品无菌灌装车间。针对 C 级无菌灌装区，部署防水型监测终端，同步监测沉降菌（每小时培养 1 次）、灌装区与外界压差（≥15Pa，精度 ±1Pa）、温度（18~22℃，精度 ±0.5℃）及湿度（30%~40% RH）。采用膜过滤法微生物检测技术，结果出具时间缩短至 3 小时，准确率达 99%。通过与灌装线联动控制，当微生物超标时立即停止灌装并启动环境消毒，使产品无菌合格率提升至 99.98%。已在伊利、蒙牛等企业应用，符合 GB 19304 无菌食品生产规范，环境监测数据准确率 100%。

中源绿净针对航空航天部件洁净室的环境监测方案，强化了低湿度环境下的洁净度管控。依据 AS9100 航空质量管理体系要求，在航天发动机部件装配的 8 级洁净区，部署了低湿度 监测终端，可耐受 10%~30% RH 的低湿环境，监测参数包括 0.5μm 微粒浓度、 温度（测量范围 - 60~20℃，精度 ±0.5℃）、空气洁净度等级等。采用电解法湿度传感器，在低湿环境下测量精度仍保持 ±2% RH，数据刷新周期为 30 秒 / 次。系统具备与除湿机组的联动调节功能，湿度波动控制在 ±3% 以内，使航空部件表面氧化率下降 62%。已服务于中国商飞、航天科技集团等 12 家企业，助力其部件通过航天级环境验证，环境数据合规率 100%。中源绿净环境监测系统，助力 25 + 油墨厂 VOCs 回收，利用率提升 30%！

中源绿净在光伏组件层压无尘车间环境监测中，推出了粉尘 - 温度 - 湿度多维度方案。应用场景：光伏组件层压无尘车间。针对 1000 级层压区，配置耐高温监测终端（可耐受 60℃环境），同步监测 0.3μm 粉尘浓度（检测下限 0.001mg/m³）、层压温度（130~150℃，精度 ±1℃）、相对湿度（30%~50% RH，精度 ±3%）及气压。采用 β 射线吸收法测尘技术，响应时间≤1 秒，数据采样间隔 5 秒 / 次。系统对接层压机控制系统，温湿度异常时自动调节，使光伏组件层压气泡不良率下降 38%。已在晶澳太阳能、天合光能等应用，符合 IEC 61215 光伏组件标准，环境管控达标率 99.86%。中源绿净为 35 + 档案馆做环境监测，纸张保存寿命延长 5 年，资料更安全！苏州模块化环境监测监测

中源绿净的环境监测方案，让 55 + 洗涤剂厂生产环境监测，原料稳定性提 10%！深圳0.5um环境监测检测标准对照表

中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。深圳0.5um环境监测检测标准对照表