深圳激光环境监测计数器

中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。中源绿净环境监测服务，使 65 + 肥皂厂生产监测，原料混合均匀度提 15%！深圳激光环境监测计数器

中源绿净针对航空电子装配洁净室的环境监测方案，聚焦于微振动与静电的 管控。应用场景：航空机载电子设备装配洁净室。依据 AS9100 航空质量管理体系要求，在 100 级洁净装配区部署一体化监测终端，同步监测 0.3μm 微粒浓度、环境振动（频率范围 1~500Hz，测量精度 ±0.001mm/s）、静电电压（量程 - 500~+500V，精度 ±5V）及气流速度（0.2~0.3m/s）。采用压电式振动传感器和非接触式静电探头，数据采样率达 1000Hz，确保捕捉细微参数变化。通过振动源识别算法，可快速定位设备运行引发的振动超标，配合静电消除器联动控制，使电子元件静电损伤率下降 58%。已服务于霍尼韦尔航空、中航工业电子等 8 家企业，助力其通过 DO-160 航空电子环境测试，环境稳定性达标率保持在 99.93% 以上。深圳5um环境监测计数器标准操作规程中源绿净的环境监测方案，让 25 + 实验室温湿度控制更准，实验误差降 8%！

中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中，打造了超微颗粒 管控体系。应用场景：半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器， 小检测粒径达 0.05μm，检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动，当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI F21 洁净度标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。

中源绿净为精密轴承研磨洁净室定制的环境监测系统，强化了粉尘与振动的协同管控。应用场景：精密轴承研磨加工洁净车间。针对 1000 级研磨区，部署耐粉尘监测终端，同步监测 1μm 粉尘浓度（采样流量 50L/min）、研磨设备振动（频率 1~500Hz，精度 ±0.001mm/s）、温度（20~28℃）及湿度。采用激光测振技术，数据采样率达 1000Hz，可捕捉微米级振动。通过振动 - 粉尘关联分析，提前预警研磨烧伤风险，使轴承圆度精度（≤0.5μm）达标率提升 40%。已在 SKF、NSK 应用，符合 ISO 12100 标准，环境稳定性达标率 99.88%。中源绿净的环境监测方案，助力 30 + 食品加工企业符合国家标准，减少食品召回！

中源绿净为生物安全柜洁净室开发的环境监测系统，重点强化了气流与微生物的 监测。应用场景：生物安全柜操作洁净室。针对 P2 级生物安全实验室，部署 监测终端，同步采集安全柜出风口风速（0.38±0.02m/s，精度 ±0.01m/s）、下沉气流速度（0.25~0.3m/s）、浮游菌浓度（每小时采样 1 次，检测下限 1CFU/m³）及室内压差（≥10Pa）。采用热球式风速仪实现高精度气流监测，数据采样频率 10 次 / 秒，确保捕捉气流波动。系统具备与安全柜联动功能，当气流速度异常时立即声光报警并自动关闭操作窗口，使微生物泄漏风险下降 70%。已在中科院生物所、协和医院实验室应用，符合 GB 50346 实验室设计规范，环境监测数据合规率 100%。中源绿净为 45 + 烘焙店做环境监测，面团发酵更稳定，产品口感一致性提 15%！无尘室环境监测在线监测

中源绿净为 30 + 烘焙企业控制食品变质风险，面包霉变率降低，保质期延长！深圳激光环境监测计数器

中源绿净为生物制药配液洁净室开发的环境监测系统，重点强化了微生物与气压梯度的 监测。应用场景：无菌药液配液洁净车间。针对 A 级配液 区，部署每 1.2 平方米 1 个监测点，同步采集浮游菌（每 15 分钟采样 1 次，检测下限 1CFU/m³）、0.5μm 微粒浓度、配液区与缓冲间压差（≥20Pa，精度 ±1Pa）及温湿度。采用快速显色微生物检测技术，结果出具时间从 72 小时缩短至 24 小时，准确率 99.2%。系统与配液搅拌设备联动，参数异常时立即暂停作业，使药液污染风险下降 65%。已在恒瑞医药、药明康德应用，符合 GMP 附录 1 要求，环境数据审计通过率 100%。深圳激光环境监测计数器