深圳尘埃粒子在线监测系统

中源绿净满足现场数据留存需求，其在线尘埃粒子计数器支持实时打印检测报告功能，可通过内置微型打印机或外接打印机（支持 USB、蓝牙连接），实时打印检测报告，报告包含设备编号、检测时间、检测位置、洁净度等级、各粒径浓度、校准信息等关键内容，具备不可篡改特性，可直接作为现场检测凭证。产品支持自定义打印模板，可根据用户需求添加企业 LOGO、检测标准、审核人员等信息，打印纸张采用热敏纸或普通纸（可选），热敏纸打印无需油墨，维护成本，普通纸打印可长期保存。在监管部门现场检查时，实时打印的报告可快速提供合规证据；在生产批次交接时，打印报告可作为环境合格的交接凭证；在现场检测服务中，打印报告可及时交付客户，提升服务体验。适用场景包括监管检查、生产​中源绿净尘埃粒子计数器每年参与行业比对试验，检测结果均符合要求。深圳尘埃粒子在线监测系统

中源绿净深耕半导体行业检测需求，其在线尘埃粒子计数器专为半导体车间微粒监测设计，支持 0.1μm、0.2μm、0.3μm 等小粒径微粒的精度检测，采样频率可达 1 次 / 秒，可快速捕捉光刻、蚀刻等关键工艺中的微粒污染。产品采用抗静电、抗电磁干扰设计，避免半导体车间的频电磁场、静电对检测数据的影响，同时设备体积小巧（280mm×180mm×120mm），可灵活安装在光刻机、镀膜机等精密设备周边，不占用过多空间。在半导体芯片制造的光刻工序，0.1μm 的微粒即可导致芯片电路短路，产品的小粒径检测能力可提前预警污染风险；在晶圆封装车间，频采样可实时监测封装过程中的微粒产生，避免封装后的芯片因微粒导致的性能故障。适用场景包括半导体晶圆制造车间、芯片封装测试车间、半导体材料生产车间等，产品支持与半导体工厂的 FAB 管理系统对接，实现检测数据与生产设备的联动控制，当微粒浓度超标时，可自动暂停相关生产设备，减少不合格产品产生，提升生产良率。​苏州芯片半导体尘埃粒子在线监测系统中源绿净的尘埃粒子计数器，让日用化工车间洁净无异味，化工产品更安全！

中源绿净技术（深圳）有限公司在产品研发中始终关注能耗控制，其在线尘埃粒子计数器通过优化电路设计与元器件选型，实现低功耗运行，公司近三年研发投入占比均超营收的 7%，相关节能技术已应用于全系列产品，累计为客户节约用电成本超 200 万元。该产品正常运行状态下功耗为 15W，相比行业同类产品平均 25W 的功耗水平降低 40%，若设备每天 24 小时连续运行，每年可减少用电约 87.6 度。同时，设备支持自动休眠功能，当监测区域长时间无人员活动且粒子浓度稳定在设定范围内时，设备可自动进入休眠模式，功耗降至 5W 以下，待监测数据出现波动或检测到人员活动时，自动唤醒恢复正常运行。低功耗特性不能降低企业的长期用电成本，还让产品在无外接电源的场景中具备使用可能，搭配外置锂电池模块（可选配），设备可实现连续 8 小时移动监测。这一优势使其在临时洁净区域监测中表现突出，例如建筑行业的洁净手术室装修验收阶段，现场可能尚未接通稳定电源，低功耗 + 锂电池的组合可满足验收过程中的持续监测需求；在户外环境监测站，低功耗运行能减少太阳能供电系统的负载，确保设备在阴雨天也能稳定工作，扩大产品的适用场景范围。

中源绿净深耕光刻工艺检测需求，其在线尘埃粒子计数器专为光刻车间微粒浓度检测设计，支持 0.1μm 以下小粒径微粒检测（小可检测 0.05μm），采用激光增强技术与精度光学传感器，检测分辨率达 1 粒 / 升，可捕捉光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序中的微量微粒。产品具备抗光刻光源干扰设计，可耐受光刻车间的紫外光、强光照射，检测数据不受光源影响，同时设备采用无油采样泵，避免采样过程中产生油污污染光刻环境。在半导体光刻车间，光刻胶涂布后的晶圆表面若存在微粒，会导致光刻图案缺陷，产品的分辨率检测可提前预警，避免晶圆报废；在 LCD 面板光刻车间，面板基板的微粒污染会影响显示效果，设备可实时监测基板传输、光刻过程中的微粒变化，确保面板质量。适用场景包括半导体光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、光刻胶生产车间等，产品支持与光刻设备的控制系统对接，当微粒浓度超标时，可自动暂停光刻设备，减少不合格产品产生，同时设备具备远程校准功能，可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准，减少人员进入光刻车间的次数，降环境干扰。​中源绿净尘埃粒子计数器配件价格比行业低 15%，更换采样头等易损件更经济。

中源绿净针对生物安全实验室风险防控需求，其在线尘埃粒子计数器具备生物安全实验室检测适配特性，支持 BSL-1 至 BSL-4 级生物安全实验室的洁净度监测，设备外壳采用防腐蚀、防渗漏设计，可耐受实验室常用的消毒剂与化学试剂，同时具备负压环境适应能力，可在 - 50Pa 至 + 50Pa 的气压范围内稳定运行。产品采用密闭式采样设计，避免实验室内部的有害微生物通过采样口扩散，同时采样后的气流经过效过滤后排出，防止交叉污染。在 BSL-3、BSL-4 级生物安全实验室，空气中可能存在致病性微生物，产品的密闭采样与过滤设计可保障检测人员安全；在微生物培养实验室，洁净环境是避免培养物污染的关键，设备可实时监测并预警微粒与微生物载体的污染风险。适用场景包括各类生物安全实验室、微生物培养室、生物样本处理实验室等，产品支持与实验室的生物安全管理系统对接，实现检测数据与实验室安全状态的联动分析，同时设备具备故障自诊断功能，当出现采样异常、过滤失效等问题时，立即发出报警并切断采样通道，降安全风险。​中源绿净尘埃粒子计数器数据存储采用加密方式，防止洁净度数据泄露。苏州十级尘埃粒子

中源绿净尘埃粒子计数器检测精度达 0.3μm，每小时可完成 30 间电子洁净车间检测，助力企业合规。深圳尘埃粒子在线监测系统

中源绿净在线尘埃粒子计数器技术解析

中源绿净自主研发的在线尘埃粒子计数器采用激光散射原理，可实时监测0.3μm至25μm粒径范围的颗粒物，检测精度达到ISO 14644-1国际标准。设备内置温度补偿算法，确保在10℃-50℃环境温度下数据偏差小于±5%，适用于半导体晶圆厂光刻车间等温控严苛场景。通过GMP和FDA双认证的316L不锈钢采样头，可耐受酸碱气体腐蚀，在生物制药无菌灌装线中已实现连续8000小时无故障运行。

多场景适配的模块化设计优势

该产品支持壁挂、管道嵌入式、移动式三种安装模式，采样流量可调范围为28.3L/min至100L/min。独特的防震设计通过3轴加速度传感器动态修正数据，在航空航天精密零件装配车间振动环境下仍能保持稳定性。模块化结构允许用户自主更换PM2.5、PM10传感器，某液晶面板企业通过该功能将设备复用率提升60%，节省二次采购成本。 深圳尘埃粒子在线监测系统