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十级洁净室颗粒物在线监测

来源: 发布时间:2025年12月28日

中源绿净践行节能理念,其 FFU 与洁净度联动系统采用低功耗设计,联动控制器待机功耗低至 5W,正常运行功耗 18W,配合 FFU 无级调速联动策略,相比传统固定风速运行模式,可降低整体能耗 35% 以上。系统支持智能休眠功能,在洁净度长期稳定达标时,自动将 FFU 调整至低风速休眠状态(0.25-0.3m/s),同时保持监测功能,当洁净度出现波动时,立即唤醒并调整风速。在 24 小时运行的电子车间,低功耗设计可减少电费开支;在偏远地区依赖太阳能供电的洁净室,低功耗可延长供电时间,保障联动监测连续性;在注重绿色生产的企业,系统可助力实现节能目标。适用场景包括节能要求高的企业、24 小时运行车间、偏远地区洁净室、绿色工厂等,系统采用高效电源管理模块,具备过压、过流、防反接保护功能,确保用电安全,低功耗运行不会影响联动响应速度与检测精度,数据传输与处理效率保持行业同等水平,同时系统散热少,不会对洁净室恒温环境造成干扰。​中源绿净的模块化洁净室,验收通过率 100%,已为 30 + 企业一次性通过第三方检测!十级洁净室颗粒物在线监测

十级洁净室颗粒物在线监测,洁净室

中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。模块化洁净室测试国家标准中源绿净为 25 + 制药企业打造模块化洁净室,通过 GMP 认证率 100%,运行能耗降低 25%!

十级洁净室颗粒物在线监测,洁净室

中源绿净优化区域管控效率,其 FFU 与洁净度联动系统支持 FFU 分组联动,可根据洁净室功能分区、洁净等级、生产工序将 FFU 划分为多个联动组,每个组响应区域内的洁净度变化,组内 FFU 协同调节,组间互不干扰,实现管控。系统支持组内 FFU 参数统一配置与单独调整,可根据各组需求设定差异化的联动阈值、风速范围、响应速度,平台可直观展示各组联动状态与洁净度数据。在大型电子制造车间,可按晶圆制造、封装测试、仓储等环节分组,生产组采用高频联动,辅助组采用节能联动;在综合性医院洁净区,可按手术室、ICU、实验室分组,不同组适配不同的联动策略。适用场景包括大型洁净室、多功能分区车间、复杂生产​

中源绿净智能洁净室物联网平台,可接入手术部空调系统、新风系统、照明系统等设备的能耗数据,结合洁净度监测数据(粒子浓度、浮游菌浓度、温湿度),生成 “洁净度 - 能耗” 关联分析报告,平台能耗数据采集精度达 ±1%,数据更新间隔为 15 分钟。医院手术部为维持高洁净度,空调、新风系统需 24 小时运行,能耗占医院总能耗的 30% 以上,若关注洁净度而忽视能耗,将增加医院运营成本。该平台通过分析洁净度与能耗的关联性,识别能耗优化空间,例如当某 I 级手术间温湿度维持在 23℃、45%(符合规范要求)时,平台数据显示空调系统当前能耗高于同类型手术间 15%,进一步分析发现是空调风机转速设置过高,在不影响洁净度的前提下,将转速降低 10%,每月可节省能耗费用约 1200 元。中源绿净模块化洁净室,噪音控制在 55dB 以下,为 30 + 实验室改善工作环境!

十级洁净室颗粒物在线监测,洁净室

中源绿净的洁净室环境监测系统,适用场景包括关注能耗成本的洁净室企业,如电子半导体、制药、食品、医疗,尤其适用于大型洁净园区。在电子半导体企业中,能耗统计帮助优化 FFU 与空调运行参数;在制药企业中,分析帮助平衡能耗与洁净度达标;在食品企业中,能耗统计降低洁净加工的生产成本;在大型医疗园区中,汇总分析各洁净区域能耗,实现整体节能。能耗统计分析功能让系统从 “环境监测” 拓展至 “能耗管控”,为用户提供经济、高效的洁净管理方案。中源绿净模块化洁净室,空调系统响应时间≤3 分钟,为 45 + 企业快速调整环境参数!苏州万级洁净室测试国家标准

中源绿净为 45 + 半导体车间建模块化洁净室,防静电指数达标率 100%,减少芯片损坏率!十级洁净室颗粒物在线监测

中源绿净智能洁净室物联网平台,可根据药厂特殊生产工艺(如生物制药、无菌制剂、中药提取)的洁净度要求,提供定制化监测方案,平台可灵活增加特殊监测参数(如生物活性粒子浓度、挥发性有机化合物浓度)、调整监测频率(可达 1 次 / 10 秒)、定制专属数据报告模板,定制方案部署周期≤15 个工作日。药厂不同生产工艺对洁净环境的要求存在差异,通用监测方案可能无法满足特殊需求 —— 某生物制药厂生产疫苗时,需监测洁净区生物活性粒子浓度(要求≤1 CFU/m³),原通用监测系统无法监测该参数,导致生产过程存在质量隐患。该平台为其定制的方案中,新增生物活性粒子采样器(与系统无缝对接),实时监测生物活性粒子浓度,当浓度达到 0.8 CFU/m³ 时,自动触发声光报警,并联动紫外线消毒系统启动;同时,针对疫苗生产的批次性特点,定制 “批次 - 洁净度” 关联报告,包含每个疫苗批次生产期间的所有监测参数(粒子浓度、生物活性粒子浓度、温湿度、压差),便于质量负责人(QA)对每批次产品进行环境追溯。十级洁净室颗粒物在线监测