STM隔振台电子显微镜STM

TS-CTS-C系列是紧凑的动态防振系统，可隔离所有六个平移和旋转振动模式。这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比蕞大，蕞昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如，这意味着即使通过操作员的手施加了力，由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。该系统的设计即使在低至2-3Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。垂直方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到40dB的衰减。STM隔振台电子显微镜STM

TS-140TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。在公制（M6x25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计TS-140的隔离始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果TS-140的高度瑾为84毫米TS140的重量瑾为28.5千克晶圆片隔振台研发生产TS-140的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db。

AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确，请按照下列步骤操作：面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。

主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。（1）实际测量的振动结果：AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。（2）不同负载下的振动传递率：AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振从0.7Hz到100Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体带表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产),振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中，为了获得可靠的结果，使用充气被动隔振台无法隔离低频振动，此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。装载设备：扫描电子显微镜，如AFM3D表面分析仪，激光显微镜，激光干涉仪，液体表面张力测量系统，显微硬度测量仪，医疗检测设备等。必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到ZUI佳成果。半导体隔振台厂家

测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持ZUI佳的隔振状态。STM隔振台电子显微镜STM

LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度，直至频率为约0.2Hz传感器直接放置在地板上，并用于前馈回路中与标准AVI/LP系统结合使用，可在非常低的情况下提高隔振效果频率。LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI/LP上测得的水平隔离度（透射率）有和没有LFS的系统。将传感器连接到AVI/系统？传感器LFS-2具有单独的电源，该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。用D-Sub25将电源连接到传感器电缆。每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的LFS的实际位置并不重要，但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub15插座连接到传感器。STM隔振台电子显微镜STM