传统的半导体激光器,工作原理都是依靠半导体材料中导带的电子和价带中的空穴复合而激发光子,其激射波长由半导体材料的禁带宽度所决定,由于受禁带宽度的限制,使得半导体激光器难以发出中远红外以及太赫兹波段的激光。自然界不多的对应能出射中远红外的半导体材料-铅盐系材料,其只能在低温下工作(低于77K),且输出功率极低,为微瓦级别。为了使半导体激光器也能激射中远红外以及太赫兹波段的光,科研人员跳出了基于半导体材料p-n结发光的理论,提出了量子级联激光器的构想。量子级联激光器的工作原理为电子在半导体材料导带的子带间跃迁和声子共振辅助隧穿从而产生光放大,其出射波长由导带的子带间的能量差所决定,和半导体材料的禁带宽度无关,因此可以通过设计量子阱层的厚度来实现波长的控制。如图1.(A)传统半导体激光器其发光原理(B)QCL发光原理。 TDLAS利用半导体激光器的波长调谐特性,可获得待测气体特征吸收峰的吸收光谱,对气体定量的分析。福建NH3QCL激光器型号
1994年4月,贝尔实验室在《科学》上报道了***个子带间量子级联激光器。带间级联和量子级联激光器的研究都源于早期对于半导体超晶格的研究以及通过子带间跃迁实现激光器的探索。在带间级联激光器提出的2~3年内,空穴注入区就已经提出并加入到了带间级联激光器的结构中。同时,W型二类量子阱的概念也被提出,并取代了原先的单边型的二类量子阱。空穴注入区和W型有源区的设计直到***也一直被采用。1997年,由休斯顿大学和桑迪亚国家实验室合作完成的***台可达170K低温工作的带间级联激光器被报道出来,此后,对于二类量子阱的研究也取得了一定进展,而带间级联激光器也在1998~2000年工作温度逐渐提升至250~286K,微分量子效率超过了传统极限的100%,从而证实了级联过程。里程碑式的突破是在2002年,研究人员Yang等实现了***台室温脉冲激射的带间级联激光器,由18个周期构成。 海南N2OQCL激光器公司QCL由二次谐波从而对污染气体进行定性或者定量分析,具有高分辨率、高灵敏度以及响应时间快等特点。
量子级联激光器是基于多个量子阱异质结中掩埋次能级跃迁的单极半导体注入激光器,它们是通过能带工程并通过分子束外延生长方法得到的。QCL激光器的输出波长依赖于量子阱和作用区掩埋层的厚度而不是激光材料的能级。由于QCL输出波长不受带隙宽度的限制,因而能够被制成在中红外波长区较宽范围里输出。QCL的输出波长区可以从µm到60µm,激光输出功率可以达到几个mW。QCL在脉冲工作方式下可以工作在室温下,并且已经被用于痕量气体的光谱检测,但由于脉冲激光固有特点使其线宽相对较宽。虽然单模连续输出DFB-QCL已早有报道,但到目前为止,还没有痕量气体检测的报道。鉴于目前中红外光谱区传统激光技术存在的需要低温制冷等限制,利用技术成熟的近红外激光光源的参量频率转换实现室温下连续波中红外相干光源输出是一个有效的补充。在中红外光谱相干光输出的参量过程主要有光参量振荡(OPO)和差频变换(DFG)。
作为半导体激光技术发展的里程碑,量子级联激光器(QCL)使中远红外波段高可靠、高功率和高特征温度半导体激光器的实现成为可能,为气体分析等中红外应用提供了新型光源,因此QCL日益受到关注。尤其是近10年,越来越多的科研人员开始研究QCL在气体检测方面的应用,使得它的优势和潜力被更多的认识和挖掘。中远红外量子级联激光器(QCL)众所周知,QCL属于新一代半导体激光器,它的特性不同于传统半导体激光器。用中科院半导体所刘峰奇研究员的“两层含义”解释,应该更加形象。首先是量子含义,是指激光器由纳米级厚度的半导体异质结超薄层构成,利用量子限制效应,通过调节每层材料的厚度和子带间距,从而调节波长;其次是级联含义,它的有源区由多级耦合量子阱串接组成,可实现单电子注入的倍增光子输出,可望获得大功率,而普通的半导体激光器是利用电子空穴对的复合发射光子,这是普通激光器不具备的一个性能。 提供从QCL光源、MCT探测器等模块组件,再到激光气体分析系统的全套解决方案。
激光器的发展里程碑如下:1960年发明的固态激光器和气体激光器,1962年发明的双极型半导体激光器和1994年发明的单极型量子级联激光器(QCL)是激光领域的三个重大性里程碑。量子级联激光器的工作原理与通常的半导体激光器截然不同,它打破了传统p-n结型半导体激光器的电子-空穴复合受激辐射机制,其发光波长由半导体能隙来决定,填补了半导体中红外激光器的空白。QCL受激辐射过程只有电子参与,其激射方案是利用在半导体异质结薄层内由量子限制效应引起的分离电子态之间产生粒子数反转,从而实现单电子注入的多光子输出,并且可以轻松得通过改变量子阱层的厚度来改变发光波长。量子级联激光器比其它激光器的优势在于它的级联过程,电子从高能级跳跃到低能级过程中,不但没有损失,还可以注入到下一个过程再次发光。这个级联过程使这些电子"循环"起来,从而造就了一种令人惊叹的激光器。因此,量子级联激光器的发明被视为半导体激光理论的一次和里程碑。 中红外QCL-TDLAS在气体检测中具有高灵敏度、高分辨率及快速响应等优点。福建NH3QCL激光器型号
中红外QCL-TDLAS激光气体检测技术有 ppb 级超高灵敏度、超大检测范围、高选择性、实用性强,易于维护等优势。福建NH3QCL激光器型号
TDLAS(TunableDiodeLaserAbsorptionSpectroscopy)技术利用可调谐半导体激光器的特性,通过调制激光器的波长,使其扫描被测气体分子的吸收峰,从而实现对气体分子浓度的测量。该技术通过红外吸收来测量激光通过被测气体时被吸收的数量,具有高精度和无接触的特点。调谐半导体吸收光谱(TDLAS)技术是激光吸收光谱(LAS)技术的一种。根据激光器的不同驱动形式,激光吸收光谱(LAS)技术可以分为:直接吸收法和调制吸收法。这两种技术各有优缺点:直接吸收法:需要锁定激光器驱动电流,不需加载2f谐波信号,结构简单,成本低,但容易受干扰,尤其是低频干扰,所以灵敏度相对低些。调制吸收法:需要给到激光器锯齿波驱动电流信号,同时需要加载2f谐波信号到驱动电流上,结构会相对复杂一些,成本要比直接吸收法高一些,但是灵敏度高,能够避开低频干扰。其中又进一步分为波长调制类和频率调制类,波长调制类需要更大的调谐范围,频率调制类需要很高的扫描频率和调制频率,技术复杂,灵敏度更高。 福建NH3QCL激光器型号
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