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河北工业氢氟酸保存方法

来源: 发布时间:2023年06月30日

电子级氢氟酸的生产壁垒在于对金属离子含量的高标准。半导体中的金属离 子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性 等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分 布,导致半导体性能下降,因此氢氟酸对其中的金属离子含量有比较严格的要求, 且适用的晶圆半径越大,制程越好,对金属离子含量的要求越高。半导体用的氢 氟酸所有单项金属杂质的质量分数≤0.1μg/L,对应 SEMI 为 G4 以上等级的氢氟 酸,对应国内行业标准则是 UP-SS 及以上等级的氢氟酸。对于现在国际上主流的 12 寸晶圆,其制造过程中需要金属离子含量低于 0.0001μg/L,对应 SEMI G5 或者 UP-SSS 标准。氢氟酸是一种具有腐蚀性的酸,必须小心使用。河北工业氢氟酸保存方法

电子级氢氟酸是集成电路行业中的关键辅助材料之一,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。根据纯度和洁净度,可将其分为EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS等5个级别,其中UPSS、UPSSS是目前纯度的两个级别。英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ,可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。成都55%氢氟酸定制在使用氢氟酸时必须使用防腐蚀容器和防护措施。

国内生产的氟塑料,往往掺入碳酸钙、二氧化硅、滑石粉等材料,这些物质对氟化氢生产工艺带来新的污染。还有就是塑料表面的光滑整洁度,也影响产品的质量,这些往往是我国材料生产和加工的薄弱环节。再有,国外能够生产吨级方桶和储罐,方便储运氢氟酸,而国内只能生产几十升的容器。此外,高纯氟化氢所用的分析测试仪器往往很贵,一般生产车间难以承担。同时,制备过程中的原料质量、人为因素、膜过滤、分析测试和灌装等环节都会影响高纯氟化氢的纯度。因此要想提高我国高纯氟化氢的生产水平和质量,要求全产业链的提升,而不是每一个生产厂自己努力就能解决的问题。

我国标准中Ⅰ型产品氟硅酸含量(小于0.05%)的测定采用硅钼蓝分光光度法,Ⅱ型产品的氟硅酸含量的测定(含量大于2.5%)采用酸碱滴定法。而日本标准(包括无水氢氟酸)关于氟硅酸含量的测定规定了两种测定方法,日本标准中对于有水产品的高氟硅酸含量(含量小于0.05%)采用酸碱滴定法,对于无水产品的氟硅酸含量(小于0.01%)采用硅钼蓝分光光度法。各国标准基本也是采用加热的方法,将氟化氢蒸发至尽,剩余的不挥发酸(硫酸)用酸碱滴定法以酚酞为指标剂滴定至粉红色。日本标准和我国标准均采用酸碱滴定法,俄罗斯标准中除了酸碱滴定法外还同时规定目视比浊法测定硫酸含量。为保证测定结果的精确度,本标准中不挥发酸含量的测定采用酸碱滴定法,对于含量较低的产品(Ⅰ型产品)采用加大称样量办法提高滴定的准确度。在氢氟酸储存和使用时,必须注意防止泄漏和溢出。

氢氟酸(化学式HF)是一种无色、有刺激性气味的液体,是强酸之一,它可以溶解许多材料,包括玻璃。由于其高度的腐蚀性和毒性,氢氟酸需要被严格控制和管理。氢氟酸在工业和科研领域被普遍使用,主要用于制备氟化物和氟化有机化合物、电子器件制造等。此外,氢氟酸还被用于酸蚀处理、蚀刻和玻璃加工等行业。由于氢氟酸具有强烈的腐蚀性和毒性,使用过程中需要注意安全。氢氟酸的蒸气和溶液都对人体有毒害作用,而溶液对皮肤、眼睛和呼吸道等部位的腐蚀性极强。因此,必须采取必要的安全措施,例如佩戴适当的防护装备,操作时不得使用铁器皿、接触到皮肤后应立即用大量水冲洗等。使用氢氟酸必须严格遵守安全操作规程和应急处理程序。河北40%氢氟酸哪个品牌好

氢氟酸一般可溶于水和乙醇。河北工业氢氟酸保存方法

杂质砷是电子级氢氟酸中需要控制的一种重要杂质指标,在氢氟酸原料中砷一般以三价态形式存在,而且AsF3与氢氟酸的沸点相差不大,所以只靠精馏对其分离的效果不会十分理想。为去除杂质砷,可在精馏前,加入适量的强氧化剂(如高锰酸钾等)将三价态的砷进行氧化,使其在精馏过程中沉积于塔釜中而被除去。生产设备与工艺:生产设备全采用碳钢衬聚四氟乙烯材料,生产工艺采用常压、全封闭、连续化,采用热水低温(小于100度)精馏.蒸馏工艺,工艺参数采用DCS集散控制系统生产。高纯水制备:通过离子交换与过滤器先制得普通纯水,再经过反渗透、电渗析后进入杀细菌、超微过滤制得高纯水。河北工业氢氟酸保存方法

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