主要的微纳米力学测量技术:1、微纳米压痕测试技术,1.1压入测试技术,压人测试技术是较初的是表征各种材料力学性能较常用的方法之一,可以追溯到 20 世纪初的定量硬度测试方法。传统的压人测试技术是利用已知几何形状的硬压头以预设的压人深度或者载荷作用到较软的样品表面,通过测量残余压痕的尺寸计算相关的硬度指数。但压入测试技术的缺陷在所能够表征的材料力学参量局限于硬度和弹性模量这2个基本的参量。1.2 微纳米压痕测试,近年来新型材料正在向低维化、功能化与复合化方向飞速发展,在微纳米尺度作用区域上开展微纳米压痕测试已被普遍用作评价材料因微观结构变化面诱发力学性能变化以及获得材料物性转变等新现象、新规律的重要工具。所能够表征的材料力学参量也不再局限于硬度和弹性模量这2个基本的参量。纳米力学测试是一种用于研究纳米尺度材料力学性质的实验方法。江西微电子纳米力学测试参考价
纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术(Depth-Sensing Indentation, DSI),是较简单的测试材料力学性质的方法之一,可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质,如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、粘弹性或蠕变行为等。纳米压痕理论,纳米压痕试验中典型的载荷-位移曲线。在加载过程中试样表面首先发生的是弹性变形,随着载荷进一步提高,塑性变形开始出现并逐步增大;卸载过程主要是弹性变形恢复的过程,而塑性变形较终使得样品表面形成了压痕。图中Pmax 为较大载荷,hmax 为较大位移,hf为卸载后的位移,S为卸载曲线初期的斜率。纳米硬度的计算仍采用传统的硬度公式H =P/A。式中,H 为硬度 (GPa);P 为较大载荷 ( μ N),即上文中的 P max ;A 为压痕面积的投影(nm2 )。 湖北金属纳米力学测试纳米力学测试对于理解纳米材料在极端条件下的力学行为具有重要意义,如高温、高压等。
纳米拉曼光谱法,纳米拉曼光谱法是一种非常有用的测试方法,可以用来研究材料的力学性质。该方法利用激光对材料进行激发,通过测量材料产生的拉曼散射光谱来获得材料的力学信息。纳米拉曼光谱法可以提供关于材料中分子振动的信息,从而揭示材料的化学成分和晶格结构。利用纳米拉曼光谱法可以研究材料的应力分布、材料的强度以及材料在纳米尺度下的变形行为等。纳米拉曼光谱法具有非接触、高灵敏度和高分辨率的特点,适用于研究纳米尺度材料力学性质的表征。
纳米力学测试仪,纳米力学测试仪是用于测量纳米尺度下材料力学性质的专属设备。纳米力学测试仪可以进行纳米级别的压痕测试、拉伸测试和扭曲测试等。它通常配备有纳米压痕仪、纳米拉曼光谱仪等附件,可以实现多种力学性质的测试。纳米力学测试仪的使用需要在纳米级别下进行精细调节,并确保测试精度和重复性。它普遍应用于纳米材料的强度研究、纳米薄膜的力学性质测试及纳米器件的力学性能等方面。综上所述,纳米尺度下材料力学性质的测试方法多种多样,每种方法都有其独特的优势和适用范围。利用大数据和人工智能技术,优化纳米力学测试结果分析,提升研究效率。
原位纳米力学测试系统(nanoindentation,instrumented-indentation testing,depth-sensing indentation,continuous-recording indentation,ultra low load indentation)是一类先进的材料表面力学性能测试仪器。该类仪器装有高分辨率的致动器和传感器,可以控制和监测压头在材料中的压入和退出,能提供高分辨率连续载荷和位移的测量。包括压痕硬度和划痕硬度两种工作模式,主要应用于测试各种薄膜(包括厚度小于100纳米的超薄膜、多层复合膜、抗磨损膜、润滑膜、高分子聚合物膜、生物膜等)、多相复合材料的基体本构和界面、金属阵列复合材料、类金刚石碳涂层(DLC)、半导体材料、MEMS、生物医学样品(包括骨、牙齿、血管等)和生物材料、等在nano水平上的力学特性,还可以进行纳米机械加工。通过探针压痕或划痕来获得材料微区的硬度、弹性模量、摩擦系数、磨损率、断裂刚度、失效、蠕变、应力释放、分层、粘附力(结合力)、存储模量、损失模量等力学数据。纳米力学测试的前沿研究方向包括多功能材料力学、纳米结构动力学等领域。江西微电子纳米力学测试参考价
在纳米尺度上,材料的力学性质往往与其宏观尺度下的性质有明显不同,因此纳米力学测试具有重要意义。江西微电子纳米力学测试参考价
当前纳米力学主要应用的测试手段是纳米压痕和基于原子力显微镜(AFM) 的力—距离曲线方法,实际上还有另外一种基于AFM 的纳米力学测试方法——扫描探针声学显微术(atomic force acoustic microscopy,AFAM)。AFAM具有分辨率高、成像速度快、相对误差低、力学性能敏感度高等优点。然而,目前AFAM 的应用还不够普遍,相关领域的学者对AFAM 了解和使用的还不多。为此,我们在前期研究的基础上,经过整理和凝练,形成了这部专著,目的是推动AFAM这种新型纳米力学测量方法在国内的普遍应用。江西微电子纳米力学测试参考价