基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。下面结合...

改为先经过干燥筒b，对干燥筒b内的吸附填料进行干燥，再经过干燥筒a，干燥筒a对气体进行干燥，能实现无损再生。所述第二换热器、...

质量流量控制器(缩写为mfc)，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置，不但具有质量流量计的功能，并能够自动...

对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本...

而杂质气体从干燥器的顶部的气体排放管路排出，用以纯化并收集氘气，节约了资源，提供了重复利用率。所述干燥单元包括无损再生干燥装...