同步齿轮在运行过程中,将主动螺杆的旋转运动精确地传递给从动螺杆,使两根螺杆能够按照预定的速比进行反向旋转。这种精确的同步传动对于螺杆真空泵的正常运行至关重要。如果同步齿轮出现磨损、损坏或安装不当,可能...
罗茨真空泵是一种容积式真空泵,通过两个叶轮的相对旋转,实现气体的吸入、压缩和排出。其特点在于结构简单、运行稳定、抽速范围宽,且能够在较宽的真空度范围内保持较高的抽气效率。然而,罗茨真空泵对气体的物理和...
吸气口和排气口:吸气口和排气口分别位于泵壳的适当位置,用于实现气体的吸入和排出。吸气口通常与需要抽真空的容器相连,而排气口则通常与大气或排气系统相连。水环真空泵的工作过程可以分为吸气、压缩和排气三个阶...
在维护方面,应定期对泵进行检查和保养,包括清洗内部部件、更换磨损件、检查密封性能等。此外,还需要注意泵的润滑和冷却问题,以确保泵的正常运行。随着科技的进步和环保要求的提高,防腐型罗茨真空泵将朝着更高效...
机械泵是利用机械压缩原理实现气体抽取的典型设备。以旋片式真空泵为例,其内部有一个或多个转子,在泵体内旋转时形成一个低压区域。当转子旋转时,吸气腔容积增大,真空度降低,容器内的气体被吸入泵腔;在排气过程...
中真空抽气机组的排气量适中,能够满足大多数中真空应用的需求。在处理一些含有粉尘或水蒸气的气体时,中真空机组可以通过合理的结构设计和配置相应的过滤装置,有效地排出气体,同时减少对泵体的损害。双级罗茨泵加...
在整个吸气阶段,螺杆真空泵的吸气量与螺杆的转速、齿间容积大小以及吸气压力差等因素密切相关。较高的螺杆转速和较大的齿间容积能够增加吸气量,而较大的吸气压力差则能促进气体更快速地流入泵腔。吸气过程结束后,...
气体吸入与排出过程:在往复真空泵的工作过程中,气体的吸入和排出会产生噪音。当吸气阀开启时,外界气体快速流入泵腔,气体的流速变化和压力波动会产生气流噪音;同样,在排气阶段,压缩后的气体高速排出泵腔,与排...
高抽速稳定性:真空镀膜过程中,蒸发源持续释放气体,需泵组在高真空度下保持恒定抽速,确保膜层均匀性;耐腐蚀性与可靠性:某些工艺(如刻蚀)会产生腐蚀性气体(如CF₄、Cl₂),要求真空泵具备抗腐蚀能力。传...
一般来说,轴承与轴采用过盈配合,与轴承座采用间隙配合,以保证轴承能够可靠地固定在轴上,同时又能在轴承座内自由转动。轴承的润滑通常采用润滑油或润滑脂进行润滑。润滑油具有良好的流动性和散热性能,能够有效地...
维护简便:罗茨泵的结构相对简单,拆卸和组装方便,使得泵的维护变得相对容易。此外,罗茨泵无需润滑油,减少了因润滑问题导致的故障和维护成本。罗茨式真空泵的应用领域,罗茨式真空泵因其独特的工作原理和优越的性...
低真空抽气机组的工作压力范围通常界定为1330 Pa至100 Pa,这一区间决定了其在真空技术体系中的定位。相较于高真空与超高真空机组,低真空机组更侧重于快速建立中等真空环境,满足工业生产中对真空度的...
不同类型、不同规格的往复真空泵,在理想工况和规范使用维护条件下,具有不同的理论使用寿命预期。一般来说,质量可靠的常规型往复真空泵,其设计使用寿命在8-15年左右。然而在实际生产中,受各种复杂因素影响,...
电网的短路容量、线路阻抗等自身条件也会影响往复真空泵启动时对电网的冲击程度。短路容量反映了电网的供电能力和抗干扰能力,短路容量越大,电网承受大电流冲击的能力越强,启动时引起的电压波动相对较小。反之,若...
干气密封,干气密封是一种利用气体动力学原理实现密封的方式。它通过在密封面上形成一层稳定的气体薄膜,阻止气体泄漏。干气密封具有摩擦功耗低、无需润滑和冷却的优点,但对气体质量要求较高,且需要精确的控制系统...
水环真空泵的结构紧凑,设计简单,具有以下特点:紧凑的结构:水环真空泵的结构紧凑,泵的转速较高,一般可与电动机直联,无需减速装置。因此,使用较小的结构尺寸即可获得较大的排气量,占地面积小。无金属摩擦表面...
首先,可以通过在泵的入口安装过滤器或除尘器,有效去除气体中的大颗粒尘埃。其次,优化泵的内部结构,如增加密封性能、改善润滑系统等,以减少尘埃对泵的影响。此外,定期对泵进行维护和清洁,及时去除积累的尘埃,...
2SK型水环式真空泵:2SK型水环式真空泵是SK型水环式真空泵的改进型,具有更高的效率和更好的性能。适用于需要较高真空度和较大抽气量的场合。SZ型水环真空泵:SZ型水环真空泵是一种特殊类型的水环真空泵...
为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨真空泵为容积式泵的一种,它是利用一对转子在泵腔内作同步、反向等速旋转运动,产生吸气和排气作用,达到抽真空的目的。罗茨真空泵的特点有:在较宽的压强范围内有...
水环真空泵,又称为液环真空泵,是一种广阔应用于各种工业领域的真空设备。其工作原理基于离心力和液环的活塞作用,通过泵腔容积的周期性变化来实现吸气、压缩和排气过程。水环真空泵的工作原理主要依赖于泵内旋转的...
内置式气冷是指通过在泵的重点发热部件(如转子、泵腔内壁)内部设置气体通道,将冷却气体直接引入发热区域的冷却方式。其重点设计包括:转子内置冷却通道:在罗茨转子(通常为8字形或渐开线齿形)内部沿轴向或径向...
极限真空度是指真空泵在无负载(即不抽除任何气体)时,所能达到的较低压力状态,是衡量真空泵性能的重点指标之一。在工业领域,极限真空度通常以“帕斯卡(Pa)”为单位(1Pa=1N/m²),也常用“托(To...
超高真空抽气机组作为现代科技和工业领域中至关重要的设备,在半导体制造、材料科学、表面分析、航空航天等众多领域发挥着不可替代的作用。其重点功能是创造并维持超高真空环境,为各类精密实验和优良制造提供必要条...
普通罗茨真空泵因依赖前级泵和水冷系统,整体能耗较高。例如,传统罗茨-水环机组的功率通常为110kW以上,且水冷系统需额外消耗约15%的总能耗。气冷罗茨真空泵通过取消前级泵和简化冷却系统,能耗大幅降低。...
水环真空泵的主要组件包括叶轮、泵壳、水环、吸气口和排气口等。叶轮是水环真空泵的重点部件,通常由叶片和轮毂组成。叶片的数量和形状对泵的性能有重要影响。叶轮在泵壳内偏心安装,当叶轮旋转时,其上的叶片会推动...
安装与维护,罗茨真空泵的安装与维护也是选择过程中需要考虑的因素。所选泵型应便于安装、调试和维护,以降低安装成本和提高设备的可靠性。此外,还应考虑设备的售后服务和配件供应情况,以确保设备的长期稳定运行。...
液环真空泵的工作原理是利用旋转的液环与固定的泵壳之间的空间变化来抽吸气体。液环通常由水或其他液体形成,它随着泵轴的旋转而运动,形成一系列密封的空间。当这些空间通过进气口时,它们会吸入气体,并在通过排气...
合理的气体压缩比则能使气体在泵腔内充分压缩排出,同样有助于达到更高的真空度。二、不同类型往复真空泵的极限真空度表现(一)卧式往复真空泵卧式往复真空泵是较为常见的类型,其结构特点决定了它在工业生产中的广...
真空机组作为现代工业技术的重要组成部分,广阔应用于冶金、化工、食品、电子等多个领域,为这些行业的生产过程提供了必要的真空环境。随着科技的不断进步和工业需求的日益增长,真空机组的技术水平也在不断提升,其...
水环真空泵在维护方面相对简单且成本较低。由于其结构简单且没有复杂的内部部件,因此维修起来更加容易。此外,水环真空泵还具有较高的可靠性,能够在恶劣的工况下稳定运行。这使得水环真空泵在一些对设备可靠性要求...