赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司于2021年9月由原青岛赛瑞达电子装备股份有限公司重组,引入新的投资而改制设立的。公司位于无锡市锡山经济技术开发区,注册资本6521.74万元,是一家专注于研发、生产、销售和服务的半导体工艺设备和光伏电池设备的装备制造企业。 公司主要产品有:半导体工艺设备、硅基集成电路和器件工艺设备、LED工艺设备、碳化硅、氮化镓工艺设备、纳米、磁性材料工艺设备、航空航天工艺设备等。并可根据用户需求提供定制化的设备和工艺解决方案。公司秉承“助产业发展,创美好未来”的使命,专精于半导体智能装备的研发制造,致力于成为半导体装备的重要品牌。“质量、诚信、创新、服务、共赢”是我们的重要价值观,我们将始终坚持“质量是企业的生命,诚信是立足的根本,服务是发展的保障,不断创新是赛瑞达永恒的追求”的经营理念,持续经营,为广大客户创造价值,和员工共同发展。
管式炉的结构设计精妙,每一个部件都各司其职。炉体通常采用高质量钢材制造,经过特殊工艺处理,具有良好的隔热性能,既能有效减少热量散失...
低压化学气相沉积(LPCVD)管式炉在氮化硅(Si₃N₄)薄膜制备中展现出出色的均匀性和致密性,工艺温度700℃-900℃,压力1...
管式炉在硅外延生长中通过化学气相沉积(CVD)实现单晶层的可控生长,典型工艺参数为温度1100℃-1200℃、压力100-500T...
管式炉在半导体制造流程中占据着基础且关键的位置。其基本构造包括耐高温的炉管,多由石英或刚玉等材料制成,能承受高温且化学性质稳定,为...
管式炉的工作原理蕴含着复杂的热学知识。其主要依靠热传导、辐射传热和对流传热三种方式来实现对炉内样品的加热。在低温阶段,热传导发挥着...
在半导体芯片进行封装之前,需要对芯片进行一系列精细处理,管式炉在这一过程中发挥着重要作用,能够明显提升芯片封装前处理的质量。首先,...
管式炉在半导体材料制备中占据不可替代的地位,从晶圆退火到外延生长均有深度应用。在 8 英寸晶圆的退火工艺中,设备需精确控制升温速率...
半导体制造中的扩散工艺离不开管式炉的支持。当需要对硅片进行掺杂以改变其电学性能时,管式炉可营造合适的高温环境。将含有特定杂质(如磷...
晶圆预处理是管式炉工艺成功的基础,包括清洗、干燥和表面活化。清洗步骤采用SC1(NH₄OH:H₂O₂:H₂O=1:1:5)去除颗粒...