立式氧化炉/LPCVD；SRD-V150/200是一种适用于8吋及以下晶圆片的批量氧化/镀膜设备，能够完成如氧化、退火、合金，TE...

现代立式炉普遍具备高度的自动化集成能力，能够与各类输送系统、控制系统无缝对接，适配工业化连续生产的需求。设备通常配备自动上下料...

金属加工行业中，卧式炉是各类金属部件热处理的关键装备，能够通过退火、硬化、回火等工艺优化金属材料的力学性能。在钢材退火处理中，卧式...

气氛控制系统是半导体卧式炉适配多样化工艺需求的关键支撑，其关键作用是为炉内反应提供特定的气体环境，防止半导体材料在高温下氧化或引入...

安全是卧式炉设计和运行的首要考量。在结构设计上，采用强度高的耐高温材料，确保炉体在高温、高压环境下的稳定性，防止炉体破裂引发安全事...